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本發明涉及一種兩自由度高速并聯掃描平臺及垂直度誤差校準方法，包括機殼和安裝于機殼內的直線驅動機構、反射鏡軸機構、反射鏡活動框架和PSD位置傳感器。本發明實施例提供的一種兩自由度高速并聯掃描平臺采用單反射鏡結構，只需一次反射即可完成掃描工作，...該專利屬于廣州中國科學院先進技術研究所所有，僅供學習研究參考，未經過廣州中國科學院先進技術研究所授權不得商用。
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本發明涉及一種兩自由度高速并聯掃描平臺及垂直度誤差校準方法，包括機殼和安裝于機殼內的直線驅動機構、反射鏡軸機構、反射鏡活動框架和PSD位置傳感器。本發明實施例提供的一種兩自由度高速并聯掃描平臺采用單反射鏡結構，只需一次反射即可完成掃描工作，...