溫馨提示:您尚未登錄,請點 登陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發明提供一種同心圓掩膜版,包括:一光刻板,所述光刻板上具有同心圓陣列,每個所述同心圓由內向外依次具有內圓、中間環和外圓環,每個所述同心圓的內圓和外圓環對應的部分不透光。本發明還提供一種利用所述的同心圓掩膜版制造的圖形化襯底,所述圖形化襯底...該專利屬于西安神光安瑞光電科技有限公司;西安神光皓瑞光電科技有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過西安神光安瑞光電科技有限公司;西安神光皓瑞光電科技有限公司授權不得商用。