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本發明涉及一種硅片傳送裝置，其特征在于：它包括水平驅動機構，垂直驅動機構、旋轉驅動機構、機械手叉、預對準機構和控制系統；旋轉驅動機構和機械手叉在垂直驅動機構的帶動下沿豎直方向移動；機械手叉在旋轉驅動機構的帶動下旋轉取片；預對準機構前部設置有...
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