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本發(fā)明涉及一種高性能MEMS熱電堆紅外探測器結(jié)構(gòu)及其制備方法，其包括襯底；襯底的上表面設(shè)置介質(zhì)支撐膜，襯底內(nèi)形成熱隔離腔體；熱隔離腔體的正上方設(shè)有吸收材料支撐膜，吸收材料支撐膜上設(shè)納米纖維體；吸收材料支撐膜的外側(cè)設(shè)有若干熱電堆，且吸收材料支...該專利屬于江蘇物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過江蘇物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心授權(quán)不得商用。