溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發(fā)明涉及一種后放大數(shù)字全息顯微表面微小疵病測量方法及裝置。本發(fā)明采用短相干光源，通過斜入射的方式，獲得光學元件表面微小疵病的散射光信息，并與參考光束發(fā)生干涉；然后通過后放大的方式放大干涉圖像信息并通過CCD相機接收，最終通過數(shù)字全息原理計...該專利屬于上海大學所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過上海大學授權不得商用。
溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發(fā)明涉及一種后放大數(shù)字全息顯微表面微小疵病測量方法及裝置。本發(fā)明采用短相干光源，通過斜入射的方式，獲得光學元件表面微小疵病的散射光信息，并與參考光束發(fā)生干涉；然后通過后放大的方式放大干涉圖像信息并通過CCD相機接收，最終通過數(shù)字全息原理計...