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本發明一般涉及加熱裝置及使用該加熱裝置的方法。在一些實施例中，加熱裝置包含具有中空圓柱形加熱腔的壓力殼、設置于該中空圓柱形加熱腔中的環狀遮熱板、及至少一設置于該環狀遮熱板的內部容積中的加熱組件。在另一實施例中，一種制備三氯硅烷的方法，包括以...
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