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本發明提出一種檢查填充工藝中空隙的方法，對待測晶圓進行多次酸槽清洗處理，并在酸槽清洗后分別目檢，檢查所述待測晶圓表面是否存在空洞；若存在空洞，則對空洞進行分析，從而優化填充工藝，若多次目檢之后均不存在空洞則無需對填充工藝進行優化；目檢能夠檢...
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