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本發明是一種快速循環氣冷真空爐，包括快速循環氣冷真空爐及其快速循環氣冷系統，本快速循環氣冷真空爐應用于材料、機械領域。本發明通過將羅茨泵、變頻電機和水冷系統與真空爐串聯成循環氣路，利用羅茨泵在低壓下的高壓縮比，使得稀薄氣體可以在任意尺寸、形...
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