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    下載具有流量計的微型泵以及用于生產該微型泵的方法的技術資料

    文檔序號:9798045

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    本發明涉及一種具有可變形的膜片的微型泵,包括:第一室(15),所述第一室(15)的一個壁包括第一可變形的膜片部分和用于驅動所述第一膜片部分的裝置(72,81,83);第二室(11),所述第二室(11)設置有第二可變形的膜片部分(11');以...
    該專利屬于原子能和替代能源委員會所有,僅供學習研究參考,未經過原子能和替代能源委員會授權不得商用。

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