為了使等離子處理裝置的處理的效率提升，具備：金屬制的基材，其配置于等離子處理裝置的樣品臺的內(nèi)部，具有圓筒形或圓板形；電介質(zhì)膜，其配置于該基材的上表面，含有電介質(zhì)材料，構(gòu)成載置晶片的載置面；膜狀的加熱器，其配置于該電介質(zhì)膜的內(nèi)部；冷媒流路...

本發(fā)明提供載臺裝置，在磁懸浮型的載臺裝置中能有效地抑制伴隨著驅(qū)動的振動的同時進行高速的定位、且泄露磁場小。載臺裝置具備支承進行定位的對象物的支承載臺、和通過磁使該支承載臺懸浮并定位的懸浮機構(gòu)，該載臺裝置具有：產(chǎn)生所述懸浮機構(gòu)的第1方向的...

本發(fā)明提供能夠與檢體的彩度、透過度無關(guān)地檢測檢體的液面位置的自動分析裝置和液面檢測方法。本發(fā)明的自動分析裝置具有：架輸送路(141)，其移送收納有放入了檢體(4)的檢體容器(3)的檢體架(2)；照相機(5)，其被設(shè)置在架輸送路(141)...

為了提供自動取樣器的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)得以簡化的電泳裝置，本發(fā)明的電泳裝置利用電泳來分離試料并進行分析，其包括：將收納所述試料、緩沖液的收納容器傳送到目標位置的傳送部；在所述傳送部移動到所述目標位置時，搭載于所述傳送部的夾具或所述傳送部的一部分所...

在含鉬膜或含釕膜的等離子體蝕刻中，提供垂直的圖案。等離子體處理方法在利用使用氧氣與鹵素氣體生成的等離子體向鉬或釕膜照射而形成圖案的第一工序之后，將第二工序至第四工序反復(fù)進行直到規(guī)定的深度，第二工序利用使用包含碳的氣體的等離子體在圖案側(cè)壁...

提供一種通過將電場圓度控制為最佳值，能夠進行均勻的等離子處理的技術(shù)。提供如下技術(shù)，具備：波導(dǎo)管，與真空容器連結(jié)，傳播等離子生成用的電場；矩形波導(dǎo)管，構(gòu)成所述波導(dǎo)管，以最低階的模進行動作；圓形波導(dǎo)管，構(gòu)成所述波導(dǎo)管，以最低階的模進行動作；...

本發(fā)明提供一種將分注異常的發(fā)生抑制于未然的分注裝置。分注裝置具有：分注機構(gòu)(101)，其具備對液體進行分注的探針(101p)；檢測部(102)，其具備對探針的前端與基準電位面之間的靜電電容進行測定并輸出靜電電容信號的液面?zhèn)鞲衅鳎恍盘柼幚?..

是判定通過處理裝置進行樣品的處理而得到的處理結(jié)果有無異常的異常檢測裝置，具有：加工形狀預(yù)測部(41)，使用處理結(jié)果預(yù)測模型來預(yù)測處理裝置的處理的評價值，其中，該處理結(jié)果預(yù)測模型將處理裝置的控制參數(shù)值以及在處理裝置的處理中觀測處理裝置內(nèi)產(chǎn)...

一種自動分析裝置，其使用包含第一消耗品和第二消耗品的多個種類的消耗品來進行分析處理，該自動分析裝置具備：多個讀取裝置，其包括能夠讀取消耗品的識別信息的第一讀取裝置和第二讀取裝置；以及控制部，其控制自動分析裝置的動作，控制部具有：第一讀取...

具備自發(fā)光的條形碼讀取器(102A、102B、102C、102D、102E、102F)，配置為從條形碼讀取器(102A、102B、102C、102D、102E、102F)發(fā)出的照射光覆蓋設(shè)有條形碼(107)的面的整體，并且照射光的光軸(...

提供一種自動分析裝置，其特征在于，包括：用于使樣本和試劑混合反應(yīng)的反應(yīng)單元；將試劑分注至所述反應(yīng)單元的第1試劑分注機構(gòu)；配置于所述第1試劑分注機構(gòu)的軌道上的第1試劑容器；用于使樣本和試劑混合反應(yīng)的反應(yīng)容器；從所述反應(yīng)單元吸引試劑，并向所...

在本發(fā)明中，以推定由多個分散裝置構(gòu)成的分散系統(tǒng)中的不良情況的產(chǎn)生要因為課題。在由能夠進行經(jīng)由通信路徑的通信的多個分散裝置構(gòu)成的分散系統(tǒng)中，所述分散裝置分別具有：通信端口，其受理來自其他分散裝置的通信信號；存儲部，其存儲表示所述分散系統(tǒng)的...

本發(fā)明實現(xiàn)一種對于外徑不同的多種液體容器能夠抑制液體容器的傾斜的液體容器握持機構(gòu)。液體容器握持機構(gòu)(400)包括：握持液體容器(103)的第一握持構(gòu)件(405)；以液體容器(103)為間隔配置在與第一握持構(gòu)件(405)相對的一側(cè)，且與第...

本發(fā)明是一種使用掩模對被蝕刻膜進行等離子蝕刻的等離子處理方法，其特征在于，具有：沉積工序，對載置有成膜了所述被蝕刻膜的試料的試料臺提供高頻電力，并且使含有硼元素的沉積膜沉積到所述掩模；以及蝕刻工序，在所述沉積工序之后，使用等離子對所述被...

本發(fā)明提供一種能夠更容易地確定干擾離子的種類或濃度的電解質(zhì)分析裝置。其為具有離子選擇性電極且采用電位測量的電解質(zhì)分析裝置，具有存儲部，該存儲部存儲有經(jīng)時性電位變化相對于干擾離子的關(guān)系，并且所述電解質(zhì)分析裝置具有干擾離子解析部，該干擾離子...

本發(fā)明的目的是提供一種自動分析裝置，即使存在無法計算凝固時間的制備檢體的情況下，也能夠通過交叉混合測試來進行判定。本發(fā)明的自動分析裝置包括：檢體分注機構(gòu)；試劑分注機構(gòu)；測量部；分析動作控制部，其用于控制所述檢體分注機構(gòu)、所述試劑分注機構(gòu)...

本發(fā)明提供一種在進行測定數(shù)據(jù)從回歸線的背離判別等的情況下，能夠提高精度等，能夠進行異常檢測的技術(shù)。數(shù)據(jù)解析方法具有：第一步驟，計算機系統(tǒng)從多個自動分析系統(tǒng)的每一個取得包含裝置信息、試劑信息及測定數(shù)據(jù)的反應(yīng)過程數(shù)據(jù)作為參考數(shù)據(jù)；第二步驟，...

本發(fā)明提供一種電泳裝置，即使在毛細管的外徑可能變化的情況下，也不需要重新調(diào)整激勵光的光軸和毛細管陣列的位置，為此，包括：試料的電泳所使用的毛細管排列成平面狀的毛細管陣列；沿著所述毛細管的排列方向照射激勵光的激勵光源；測定由所述毛細管陣列...

本發(fā)明提供一種能夠抑制按順序吸引了空氣和液體的分注探頭上升時的漏液的自動分析裝置及其控制方法。分析檢體的自動分析裝置具備：分注部，其分注所述檢體和/或試劑；以及控制部，其控制所述分注部，所述控制部在所述分注部所具有的分注探頭按順序吸引了...

本發(fā)明提供一種自動分析裝置，其能不受裝置的規(guī)模影響地獲得充分的反應(yīng)過程數(shù)據(jù)且能確保裝置結(jié)構(gòu)的自由度。自動分析裝置(100)具備：反應(yīng)盤(1)，其圓周狀地存放多個反應(yīng)容器(2)；向反應(yīng)容器(2)分注試樣的試樣分注機構(gòu)(11)；向反應(yīng)容器(...