SPM系統的自動加液機構技術方案

本實用新型專利技術涉及一種SPM系統的自動加液機構，儲液瓶在瓶口內安裝有管接頭連接件，所述的管接頭連接件上具有進液孔和出液孔，設置在儲液瓶內部的內進液管和外部的外進液管連接在管接頭連接件的進液孔上，設置在儲液瓶內部的內出液管和外部的外出液管連接在管接頭連接件的出液孔上，外進液管上安裝有液閥，儲液瓶外壁在上部設有上感應器、中下部設有下感應器，上感應器的輸出端和下感應器的輸出端分別與控制器連接，用于控制液閥啟閉的控制器與液閥連接。本實用新型專利技術具有結構簡單，能實現自動加藥液，操作安全的特點。（*該技術在2024年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】
SPM系統的自動加液機構
本技術涉及一種SPM系統的自動加液機構，屬于集成電路工藝清洗
。
技術介紹
在半導體器、集成電路以及光伏等電子產品的制造過程中，經常需要通過光刻方法，將光掩模板上的電路圖案大批量印刷到硅晶圓上。在光掩模板經過曝光、顯影之后，需要去除表面的光刻膠。而SPM工藝主要用于清洗電子器件基板的有機殘留物，硫酸與過氧化氫的混合藥液是普遍使用的清洗藥液。目前較先進的清洗方法是通過噴淋清洗的方法，現場將加熱至規定溫度的硫酸與過氧化氫溶液在經過混合閥內按比例進行混合，以形成強氧化的硫酸過氧化氫溶液并噴在旋轉的工件上進行去膠，由于藥液直接排掉不再循環使用，不會造成交叉污染，去膠效果相對穩定。而在線配置清洗藥劑，需要將不同的藥劑分別儲存在各自指定的容器內，通過輸入管道上液泵將容器內的藥液送到混合閥內。目前容對藥液的補充，是采用人工方式進行補充，一方面所使用的藥液都是腐蝕性液體，稍操作不慎，就會造成對操作人員及設備的傷害，另一方面，也會對藥液造成污染，而影響清洗效果。
技術實現思路
本技術的目的是提供一種結構簡單，能實現自動加液的SPM系統的自動加液機構本技術為達到上述目的的技術方案是:一種SPM系統的自動加液機構，包括儲液瓶，其特征在于:所述儲液瓶在瓶口內安裝有管接頭連接件，所述的管接頭連接件上具有進液孔和出液孔，設置在儲液瓶內部的內進液管和外部的外進液管連接在管接頭連接件的進液孔上，設置在儲液瓶內部的內出液管和外部的外出液管連接在管接頭連接件的出液孔上，外進液管上安裝有液閥，儲液瓶外壁在上部設有上感應器、中下部設有下感應器，上感應器的輸出端和下感應器的輸出端分別與控制器連接，用于控制液閥啟閉的控制器與液閥連接。本技術在儲液瓶的瓶口的管接頭連接件安裝有內、外進液管和內、外出液管，在儲液瓶外壁在上部和中下部分別設有上、下兩個感應器，通過上、下感應器來檢測儲液瓶內藥液存儲的下限量和上限量，上、下感應器將分別檢測的信號輸至控制器內，通過控制器使安裝在外進液管上的液閥啟閉，自動對儲液瓶內自動加注藥液。本技術通過管接頭連接件將進液管和出液管安裝在儲液瓶上，并通過安裝在儲液瓶上的上下感應器檢測瓶內藥液量，結構簡單，加藥液時為非接觸式，不會對藥劑產生污染，也提高了操作的安全性。【附圖說明】下面結合附圖對本技術的實施例作進一步的詳細描述。圖1是本技術的SPM系統的自動加液機構的結構示意圖。其中:1 一儲液瓶，2—管接頭連接件，2-1—進氣孔，2-2—排氣孔，2-3—出液孔，2-4—進液孔，3—瓶蓋，4一單向閥，5—進氣管，6—排氣管，7—外出液管，8—外進液管，9一液閥，10—液泵，11—錐形密封套，12—鎖緊螺母，13—上感應器，14 一控制器，15—下感應器，16—內進液管，17—內出液管。【具體實施方式】見圖1所示，本技術SPM系統的自動加液機構，包括儲液瓶1，儲液瓶I在瓶口內安裝有管接頭連接件2，該管接頭連接件2可旋接在儲液瓶I內或壓接進入儲液瓶I內，瓶蓋3安裝在儲液瓶I上以防止管接頭連接件2脫落，管接頭連接件2上具有進液孔2-4和出液孔2-3，設置在儲液瓶I內部的內進液管16和外部的外進液管8連接在管接頭連接件2的進液孔2-4上，設置在儲液瓶I內部的內出液管17和外部的外出液管7連接在管接頭連接件2的出液孔2-3上，外進液管8上安裝有液閥9，本技術的液閥9可采用常規的截止閥或碟閥等，通過控制器14液閥9的啟閉實現自動加藥的功能，而外出液管7上安裝有液泵10，通過液泵10將儲液瓶I內的藥液送入混合閥內，實現清洗藥液的配制。見圖1所示，本技術儲液瓶I外壁在上部設有上感應器13、中下部設有下感應器15，上感應器13的輸出端和下感應器15的輸出端分別與控制器14連接，該控制器14可采用現有的微處理器，用于控制液閥9啟閉的控制器14與液閥9連接，通過控制器14控制液閥9動作，而實現自動加藥液。本技術的上感應器13和下感應器15可采用感應式接近開關，當儲液瓶I中的藥液液面下降到下感應器15的位置時，下感應器15會對儲液瓶I內藥液的感應而發出信號，通過控制器14使液閥9打開而加藥液；如果藥劑瓶中的藥液液面上升到上感應器13的位置，上感應器13會感應到液體的存在而發出信號停止加藥液，通過上感應器13和下感應器15檢測瓶內藥液液面信號傳至控制器14，通過控制器14控制液閥9啟閉。見圖1所示，本技術外進液管8通過其接頭旋接或插接在管接頭連接件2的進液孔2-4上，內進液管16上部穿過鎖緊螺母12和錐形密封套11，外進液管8和內進進液管為分體結構，鎖緊螺母12旋接在進液孔2-4上，錐形密封套11的外錐面頂在進液孔2-4的臺階面處將內進液管16夾緊并與進液孔2-4密封，能方便將進液管安裝在管接頭連接管上。本技術外進液管8和內進液管16還可為一體的進液管,進液管穿過鎖緊螺母12和錐形密封套11，鎖緊螺母12旋接在管接頭連接件2的進液孔2-4上，錐形密封套11的外錐面頂在進液孔2-4的臺階面處將進液管夾緊并與進液孔2-4密封，當鎖緊螺母12旋接在進液孔2-4上時，可使錐形密封套11軸向移動，使錐形密封套11上的外錐面頂在進液孔2-4的臺階處，能將鎖緊螺母12作用在錐形密封套11上的軸向力轉為徑向力，由于錐形密封套11的變形，從而消除錐形密封套11與進液孔2-4和進液管之間的縫隙，實現密封并防滲漏。見圖1所示，本技術外出液管7通過其接頭旋接或插接在管接頭連接件2的出液孔2-3上，內出液管17上部穿過鎖緊螺母12和錐形密封套11，通過分體式結構的出液管，方便出液管安裝在儲液瓶I內的管接頭連接件2的出液孔2-3內，鎖緊螺母12旋接在出液孔2-3上，錐形密封套11的外錐面頂在出液孔2-3的臺階面處將內出液管17夾緊并與出液孔2-3密封。本技術的外出液管7和內出液管17還可為一體的出液管，出液管穿過鎖緊螺母12和錐形密封套11，鎖緊螺母12旋接在管接頭連接件2的出液孔2-3上，錐形密封套11的外錐面頂在出液孔2-3的臺階面處將出液管夾緊并與出液孔2-3密封，當鎖緊螺母12旋接在出液孔2-3上時，可使錐形密封套11軸向移動，使錐形密封套11上的外錐面頂在出液孔2-3的臺階處，能將鎖緊螺母12作用在錐形密封套11上的軸向力轉為徑向力，由于錐形密封套11的變形，從而消除錐形密封套11與出液孔2-3和出液管之間的縫隙，實現密封并防滲漏。見圖1所示，本技術管接頭連接件2上還設有進氣孔2-1和排氣孔2-2，進氣管5和排氣管6分別安裝在對應的進氣孔2-1和排氣孔2-2上，且管接頭連接件2上的進氣孔2-1和排氣孔2-2上還安裝有方向相反的單向閥4，通過進氣管5和排氣管6將保護氣體如氮氣充入或排出儲液瓶1，實現對藥液的保護。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種SPM系統的自動加液機構，包括儲液瓶（1），其特征在于：所述儲液瓶（1）在瓶口內安裝有管接頭連接件（2），所述的管接頭連接件（2）上具有進液孔（2?4）和出液孔（2?3），設置在儲液瓶（1）內部的內進液管（16）和外部的外進液管（8）連接在管接頭連接件（2）的進液孔（2?4）上，設置在儲液瓶（1）內部的內出液管（17）和外部的外出液管（7）連接在管接頭連接件（2）的出液孔（2?3）上，外進液管（8）上安裝有液閥（9），儲液瓶（1）外壁在上部設有上感應器（13）、中下部設有下感應器（15），上感應器（13）的輸出端和下感應器（15）的輸出端分別與控制器（14）連接，用于控制液閥（9）啟閉的控制器（14）與液閥（9）連接。

【技術特征摘要】
1.一種SPM系統的自動加液機構，包括儲液瓶(1)，其特征在于:所述儲液瓶(I)在瓶口內安裝有管接頭連接件(2)，所述的管接頭連接件(2)上具有進液孔(2-4)和出液孔(2-3)，設置在儲液瓶(I)內部的內進液管(16)和外部的外進液管(8)連接在管接頭連接件(2 )的進液孔(2-4)上，設置在儲液瓶(I)內部的內出液管(17 )和外部的外出液管(7 )連接在管接頭連接件(2 )的出液孔(2-3 )上，外進液管(8 )上安裝有液閥(9 )，儲液瓶(I)外壁在上部設有上感應器(13)、中下部設有下感應器(15)，上感應器(13)的輸出端和下感應器(15)的輸出端分別與控制器(14)連接，用于控制液閥(9)啟閉的控制器(14)與液閥(9)連接。2.根據權利要求1所述的SPM系統的自動加液機構，其特征在于:所述外進液管(8)通過其接頭旋接或插接在管接頭連接件(2)的進液孔(2-4)上，內進液管(16)上部穿過鎖緊螺母(12)和錐形密封套(11)，鎖緊螺母(12)旋接在進液孔(2-4)上，錐形密封套(11)的外錐面頂在進液孔(2-4 )的臺階面處將內進液管(16 )夾緊并與進液孔(2-4 )密封。3.根據權利要求1所述的SPM系統的自動加液機構，其特征在于:所述外進液管(8)和內進液管(16)為一體的進液管，進液管穿過鎖緊螺母(12)和錐形密封套(11 )，鎖緊螺母(12)旋接在管接頭連...

【專利技術屬性】
技術研發人員：鄔治國，金輝，
申請(專利權)人：常州瑞擇微電子科技有限公司，
類型：新型
國別省市：江蘇;32