溫馨提示:您尚未登錄,請點 登陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。
本實用新型涉及一種SPM系統的自動加液機構,儲液瓶在瓶口內安裝有管接頭連接件,所述的管接頭連接件上具有進液孔和出液孔,設置在儲液瓶內部的內進液管和外部的外進液管連接在管接頭連接件的進液孔上,設置在儲液瓶內部的內出液管和外部的外出液管連接在管...該專利屬于常州瑞擇微電子科技有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過常州瑞擇微電子科技有限公司授權不得商用。
溫馨提示:您尚未登錄,請點 登陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。
本實用新型涉及一種SPM系統的自動加液機構,儲液瓶在瓶口內安裝有管接頭連接件,所述的管接頭連接件上具有進液孔和出液孔,設置在儲液瓶內部的內進液管和外部的外進液管連接在管接頭連接件的進液孔上,設置在儲液瓶內部的內出液管和外部的外出液管連接在管...