提供耐沖擊性優異且可抑制振動泄漏的產生的振動片、振子、電子器件、電子設備以及移動體。作為振動片的音叉型振動片（1）包含：形成在包含第1軸和與其垂直的第2軸的平面上的基部（14）；從基部（14）起沿第1軸方向以比基部（14）的厚度薄的厚度延伸設置的連接部（20）；從連接部（20）的端部（20a）起沿第1軸方向以與連接部（20）的厚度相同的厚度延伸設置的振動臂（11、12、13），振動臂（11、12、13）沿著與所述平面垂直的方向進行彎曲振動，連接部（20）被設置成連接部（20）在第1軸方向上的長度L2與振動臂（11、12、13）在第1軸方向上的長度L1之間的關系處于L1/15≤L2≤L1的范圍內。
【技術實現步驟摘要】
振動片、振子、電子器件、電子設備以及移動體
本專利技術涉及振動片以及搭載有該振動片的振子、電子器件、電子設備、移動體。
技術介紹
伴隨振動器件的小型化，為了在維持與以往同等特性的同時實現小型化，采用如下的振動片。具體而言，是如下的振動片:采用具有從基部朝相同方向延伸出的3個振動臂的構造，在各振動臂的一面上層疊電極膜和壓電體膜而形成壓電體元件(例如參照專利文獻1、專利文獻2)。但是，在專利文獻I所示的振動片中，振動片的振動特性有時會由于振動臂的振動傳播到支撐振動臂的基部的所謂振動泄漏而劣化。與此相對，在專利文獻2所示的振動片中，通過在振動臂與基部之間設置寬度比基部窄的細寬度的緩沖部，抑制了振動泄漏。【專利文獻I】日本特開2012-34093號公報【專利文獻2】日本特開2008-224628號公報但是，在上述專利文獻2所示的振動片中，由于在基部與振動臂之間設置了細寬度的緩沖部，因此，在向振動片施加例如下落等沖擊的情況下，沖擊的應力集中到細寬度的緩沖部，從而在緩沖部的位置處振動片可能被損壞。在本專利技術中，提供耐沖擊性優異且可抑制振動泄漏的產生的 振動片。
技術實現思路
本專利技術正是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，其可以作為以下的方式或應用例來實現。[應用例I]本應用例的振動片的特征在于，該振動片包含:基部，其設置在包含第I軸和垂直于所述第I軸的第2軸的平面上；連接部，其從所述基部起沿著所述第I軸以比所述基部的厚度薄的厚度延伸設置；以及振動臂，其從所述連接部的一端起沿著所述第I軸延伸設置，所述振動臂沿著與所述平面垂直的方向進行彎曲振動，所述連接部被設置成所述連接部在所述第I軸的方向上的長度L2與所述振動臂在所述第I軸的方向上的長度LI之間的關系處于L1/15SL2SL1的范圍內。根據本應用例，從基部起沿著所述第I軸設置有連接部，被設置成連接部在第I軸的方向上的長度L2與振動臂在第I軸的方向上的長度LI之間的關系處于Ll/15 ^ L2 ^ LI的范圍內。通過設為這種結構，能夠得到如下的振動片，該振動片可防止耐沖擊性的劣化，同時抑制振動臂的振動在連接部衰減而引起的向基部傳播振動(振動泄漏)。[應用例2]在上述應用例所述的振動片中，其特征在于，所述振動臂具有并行設置的第I振動臂和第2振動臂，所述第I振動臂與所述第2振動臂相互朝相反方向進行彎曲振動。根據本應用例，能夠得到如下的振動片，該振動片可防止耐沖擊性的劣化，同時抑制相互朝相反方向進行彎曲振動的振動臂的振動在連接部抵消而引起的向基部傳播振動(振動泄漏)。[應用例3]在上述應用例所述的振動片中，其特征在于，所述振動臂的厚度與所述連接部相同。根據本應用例，能夠通過將振動臂的厚度與連接部的厚度設為相同，減少在振動臂進行彎曲振動時應力集中于振動臂的根部。[應用例4]在上述應用例所述的振動片中，其特征在于，所述基部、所述連接部以及所述振動臂由石英構成。根據本應用例，能夠通過使用石英而抑制伴隨小型化的溫度特性(頻率溫度特性等具有溫度依存性的特性)的降低。[應用例5]在上述應用例所述的振動片中，其特征在于，所述基部、所述連接部以及所述振動臂由半導體構成。根據本應用例，使用光刻等的外形加工比較容易，并且蝕刻速度恒定，因此，形成的外形形狀均勻，能夠得到穩定的特性。[應用例6]本應用例的振子的特征在于，該振子具有:上述應用例中的任意一例所述的振動片；以及收納有所述振動片的容器。根據本應用例，由于使用了上述振動片，因此能夠提供如下的振子，所述振子可通過抑制振動泄漏而維持穩定的振動，同時提高耐沖擊性。[應用例7]本應用例的電子器件的特征在于，該電子器件具有:上述應用例中的任意一例所述的振動片；以及驅動所述振動片的電路元件。根據本應用例，由于使用了上述振動片，因此能夠提供如下的電子器件，所述電子器件可通過抑制振動泄漏而維持穩定的振動，同時提高耐沖擊性。[應用例8]本應用例的電子設備的特征在于，該電子設備具有上述應用例中的任意一例所述的振動片。根據本應用例，由于使用了上述振動片，因此，能夠得到穩定的振動特性和耐沖擊性，因此可提供特性穩定的電子設備。[應用例9]本應用例的移動體的特征在于，該移動體具有上述應用例中的任意一例所述的振動片。根據本應用例，由于使用了上述振動片，因此，能夠得到穩定的振動特性和耐沖擊性，因此可提供特性穩定的移動體。【附圖說明】圖1示出作為振動片的音叉型振動片的概略，Ca)是示出實施方式的音叉型振動片的概略的立體圖，(b)是示出另一方式的音叉型振動片的概略的立體圖。圖2示出實施方式的音叉型振動片的概略，Ca)是音叉型振動片的俯視圖，(b)是主視圖，(C)是右側視圖。圖3是示出音叉型振動片的位移分布的仿真結果的部分立體圖。圖4是示出連接部的長度L2與音叉型振動片的Q值之間的相關性的圖。圖5是示出使用了本專利技術的振動片的振子的正剖視圖。圖6是示出作為使用了本專利技術的振動片的電子器件的振蕩器的正剖視圖。圖7是示出作為電子設備的一例的移動型個人計算機的結構的立體圖。圖8是示出作為電子設備的一例的移動電話的結構的立體圖。圖9是示出作為電子設備的一例的數字靜態照相機的結構的立體圖。圖10是示出作為移動體的一例的汽車的結構的立體圖。標號說明1:作為振動片的音叉型振動片；5:振子；6:作為電子器件的振蕩器；11、12、13:振動臂;lla、12a、13a:第I面；14:基部;15、16、17:壓電體元件;15a、16a、17a:下部電極膜；15b、16b、17b:作為絕緣層的壓電體膜；15c、16c、17c:上部電極膜；18:連接布線；19、2U22:布線；20:連接部；20a:連接部的端部；20b:連接部的端；23:內底面；24、26:電極焊盤；27、28:外部端子；29:接合部件；30:粘接劑；31:金屬線；34:內部端子；36:外底面；40:作為振蕩電路的IC芯片；41:金屬線；50:封裝；51:封裝基座；52:蓋；106:作為移動體的汽車；1100:作為電子設備的個人計算機；1200:作為電子設備的移動電話；1300:作為電子設備的數字靜態照相機；L1:振動臂的長度尺寸；L2:連接部的長度尺寸。【具體實施方式】以下，參照附圖來說明本專利技術的實施方式。圖1示出作為本專利技術的振動片的音叉型振動片的概略，Ca)是示出本專利技術振動片的實施方式的音叉型振動片的概略的立體圖，(b)是示出另一方式的音叉型振動片的概略的立體圖。圖2示出本專利技術振動片的實施方式的音叉型振動片的概略，Ca)是音叉型振動片的俯視圖，(b)是(a)的主視圖，(C)是(a)的右側視圖。另外，在本說明中使用的附圖中，為了圖示方便，有時以不同的尺寸比對各結構部位進行記載。(振動片的實施方式)圖1的(a)和圖2的(a)、(b)、(C)所示的本實施方式的音叉型振動片I構成為包含:作為第I振動臂的振動臂11、13 ;作為第2振動臂的振動臂12 ;連接這3個振動臂11、12、13各自的一端的連接部20 ;與連接部20連接的基部14 ；以及壓電體元件15、16、17。振動臂11具有朝向第I方向(圖中的Z方向)配置的第I面11a。同樣，振動臂12具有朝向第I方向配置的第I面12a，振動臂13具有朝向第I方向配置的第I面13a本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種振動片，其特征在于，該振動片具有：基部，其包含平面，該平面包含第1軸和垂直于所述第1軸的第2軸；連接部，其厚度比所述基部小，從所述基部起沿著所述第1軸延伸設置；以及振動臂，其從所述連接部的一端起沿著所述第1軸延伸設置，所述振動臂在與所述平面相交的方向上進行彎曲振動，所述連接部在所述第1軸的方向上的長度L2與所述振動臂在所述第1軸的方向上的長度L1處于下式的范圍內：L1/15≤L2≤L1。
【技術特征摘要】
2013.02.22 JP 2013-0329341.一種振動片，其特征在于，該振動片具有: 基部，其包含平面，該平面包含第I軸和垂直于所述第I軸的第2軸； 連接部，其厚度比所述基部小，從所述基部起沿著所述第I軸延伸設置；以及 振動臂，其從所述連接部的一端起沿著所述第I軸延伸設置， 所述振動臂在與所述平面相交的方向上進行彎曲振動， 所述連接部在所述第I軸的方向上的長度L2與所述振動臂在所述第I軸的方向上的長度LI處于下式的范圍內:L1/15 ≤ L2 ≤ LI。2.根據權利要求1所述的振動片，其特征在于， 所述振動臂具有第I振動臂和與所述第I振動臂并列的第2振動臂， 所述第I振動臂與所述...
【專利技術屬性】
技術研發人員：山崎隆，
申請(專利權)人：精工愛普生株式會社，
類型：發明
國別省市：日本;JP
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