液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器制造技術

本實用新型專利技術涉及一種液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器，其應用于金屬有機化學氣相沉積（MOCVD）制程，其包含瓶體、進氣管、出氣管及加料口。瓶體具有預定容積的容置空間，進氣管密閉的穿設于瓶體的頂部，進氣管的一端顯露于瓶體外，進氣管的另一端位于容置空間內，且位于容置空間的底部。出氣管密閉的穿設于瓶體的頂部，出氣管的一端顯露于瓶體外，進氣管的另一端固定于瓶體的壁面上。加料口設置于瓶體的頂部，且位于進氣管及出氣管之間。本實用新型專利技術可有效延長三甲基鎵的使用時間，減少更換次數，從而提高MOCVD機臺的量產能力，提高三甲基鎵的利用率，降低使用成本。同時，還可降低液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的制造和包裝成本。（*該技術在2024年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】
液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器
本技術是有關于一種應用于有機金屬化學氣相沉積技術(MOCVD)的容器，特別是指一種因有機金屬化學氣相沉積技術的制程設備大型化而改進的液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器。
技術介紹
高純三甲基鎵是金屬有機化學氣相沉積技術(MOCVD)過程中生長光電子材料的重要原料，三甲基鎵廣泛地應用于生長氮化鎵(GaN)、砷化鎵(GaAs)、磷化鋁鎵銦(AlGaInP)等化合物半導體薄膜材料，其優異的電學、光學和磁學等性能，可將半導體和集成電路推向更高的頻率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。因此，MO源已被大量用于LED、太陽能電池、航空航天技術等多個領域，是一項高新材料生產技術。純凈的三甲基鎵在室溫下為液體，具有很高的化學活性，遇空氣自燃，遇水則發生爆炸，用于金屬有機化學氣相沉積技術時需要將其封裝在特制的鋼瓶內，然后通過控制鋼瓶溫度，再通過持續流動的載氣將所述溫度下的三甲基鎵飽和蒸氣壓帶入光電子材料生長系統。然而，隨著金屬有機化學氣相沉積技術的的日益成熟與發展，應用于金屬有機化學氣相沉積技術的生產設備也逐漸大型化。現行的三甲基鎵封裝容器大多為4kg以下的規格，此類規格封裝容器在使用時存在一些問題，主要有:1、此類封裝容器容積相對較小，單位容積的加工成本較高，從而造成MO源制造商的三甲基鎵包裝成本居高不下；2、此類封裝容器可裝入高純三甲基鎵的量較少，應用于大型設備時(如Veeco的Max Bright),單瓶使用周期只有20天左右，因此需要較頻繁的更換MO源封裝容器，更換MO源封裝容器會造成數小時的停機時間，降低MOCVD設備的量產能力，增加更換MO源時由于人員誤操作導致的事故發生的幾率；3、由于每只封裝容器都會有少量昂貴的MO源殘留而不能被完全使用，對于大型設備MO源消耗量大，此情況尤為突出。因此，所屬領域中一直期待著可針對設備大型化而量身定制的液體高純金屬有機化合物封裝容器的出現。綜觀前所述，本技術的創作人思索并設計一種液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器，經多年苦心潛心研究，以針對現有技術的缺失加以改善，進而增進產業上的實施利用。
技術實現思路
本技術的目的是提供一種液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器，以解決使用MO源時需經常更換造成成本較高和制造MO源時包裝成本較高的問題。本技術的技術方案是:一種液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器，其應用于金屬有機化學氣相沉積制程的大型設備，其包含了一瓶體、一進氣管、一出氣管及一加料口。瓶體具有一容置空間，且容置空間的容積為13?15升。進氣管密閉的穿設于瓶體的頂部，進氣管的一端顯露于瓶體外，進氣管的另一端位于容置空間內，且位于鄰近容置空間的底部。出氣管密閉的穿設于瓶體的頂部，出氣管的一端顯露于瓶體外，進氣管的另一端固定于瓶體的壁面上。加料口設置于瓶體的頂部，且位于進氣管及出氣管的間。較佳地，容置空間的總容積可為15升，三甲基鎵的填裝量為12升，為容置空間的總容積的百分之八十。較佳地，瓶體的外徑可為250~270_。較佳地，瓶體的外徑可為260mm。較佳地,瓶體的高度可為345~365mm。較佳地,瓶體的高度可為355mm。較佳地，還包含一底座，其設置于瓶體的底部。較佳地，還可包含一提把模塊，其設置于瓶體的頂部。較佳地，提把模塊可包含復數個連接桿及一弧狀提把，連接桿的一端固設于瓶體的頂部，連接桿的另一端固設于弧狀提把。較佳地，各連接桿的中心與瓶體的中心可連成一假想線，且各假想線的夾角可為120 度。 較佳地，弧狀提把可為C字型結構。較佳地，進氣管的管路上更設有一進氣閥，出氣管的管路上更設有一出氣閥。較佳地，液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器供容置純度大于或等于99.9999%的三甲基鎵。較佳地，進氣管的一端、出氣管的一端及加料口可分別設置有一 VCR接頭。本技術的有益效果是:本技術的液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器藉由針對金屬有機化學氣相沉積技術(MOCVD)的制程設備逐漸的大型化，以設定配置對應的預定容積的瓶體結構，故有效的降低了制造MO源的單位包裝成本，延長了金屬有機化學氣相沉積技術(MOCVD)的大型化制程設備的三甲基鎵的使用時間，藉此，可有效減少生產線上更換三甲基鎵封裝容器所消耗的時間，提高三甲基鎵的使用效率，從而有效地減少資源的浪費。【【附圖說明】】圖1為本技術的液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器的剖視圖。圖2為本技術的液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器的俯視圖。其中:1:液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器；10:瓶體；11:容置空間；12:瓶體的頂部；13:瓶體的底部；20:進氣管；21:進氣管的一端；22:進氣管的另一端；23:進氣閥；30:出氣管；31:出氣管的一端；32:出氣管的另一端；33:出氣閥；40:加料口；50:底座；60:提把模塊；61:連接桿；62:弧狀提把。【【具體實施方式】】為利貴審查員了解本技術的技術特征、內容與優點及其所能達成的功效，茲將本技術配合附圖，并以實施例的表達形式詳細說明如下，而其中所使用的圖式，其主旨僅為示意及輔助說明之用，未必為本技術實施后的真實比例與精準配置，故不應就所附的圖式的比例與配置關系解讀、局限本技術于實際實施上的權利范圍，合先敘明。以下將參照相關圖式，說明依本技術液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器的實施例，為使便于理解，下述實施例中的相同元件以相同的符號標示來說明。請一并參閱圖1及圖2，其為本技術的液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器的剖視圖及俯視圖。如圖所示，本實 用新型揭示一種液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器，其為針對金屬有機化學氣相沉積制程的設備的逐漸大型化而量身定制。液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器I包含了一瓶體10、一進氣管20、一出氣管30及一加料口 40。其中瓶體IO具有一容置空間11，且容置空間11具有一總容積，其為13~15公升(L )，而瓶體10的罐裝量為其總容積的百分之八十。較佳地，瓶體10的罐裝量(即容置空間11的總容積)可為15公升，而此時，瓶體10的罐裝量即為12公升。進氣管20密閉的穿設于瓶體10的頂部12，進氣管20的一端21顯露于瓶體10外，而進氣管20的另一端22則位于容置空間11內，且較佳地，進氣管20的另一端22位于鄰近容置空間11的底部。出氣管30同樣地密閉的穿設于瓶體10的頂部12，出氣管30的一端31同樣地顯露于瓶體10外，而進氣管30的另一端則固定于瓶體10的頂部12的壁面上。加料口 40設置于瓶體10的頂部12，且位于進氣管20及出氣管30之間，而當俯視觀之本技術的液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器I時，進氣管20、出氣管30及加料口 40三者可連成一假想三角形形狀，如圖2所示。其中特別需要說明的是，進氣管20的一端21、出氣管30的一端31及加料口 40上可設置有一接頭，即如圖所繪示，且其較佳為VCR接頭。藉此，可使進氣管20的一端21、出氣管30的一端31利于與金屬有機化學氣相沉積制程所使用的載氣氣路進行連接，而加料口 40亦利于與添加液體高純金屬有機本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器，其應用于金屬有機化學氣相沉積制程的大型設備，其特征在于，所述的封裝容器包含：瓶體，其具有容置空間，且所述容置空間的總容積為13～15升；進氣管，密閉的穿設于所述瓶體的頂部，所述進氣管的一端顯露于所述瓶體外，所述進氣管的另一端位于所述容置空間內，且位于鄰近所述容置空間的底部；出氣管，密閉的穿設于所述瓶體的頂部，所述出氣管的一端顯露于所述瓶體外，所述進氣管的另一端固定于所述瓶體的壁面上；以及加料口，設置于所述瓶體的頂部，且位于所述進氣管及所述出氣管之間。

【技術特征摘要】
1.一種液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器，其應用于金屬有機化學氣相沉積制程的大型設備，其特征在于，所述的封裝容器包含: 瓶體，其具有容置空間，且所述容置空間的總容積為13?15升； 進氣管，密閉的穿設于所述瓶體的頂部，所述進氣管的一端顯露于所述瓶體外，所述進氣管的另一端位于所述容置空間內，且位于鄰近所述容置空間的底部； 出氣管，密閉的穿設于所述瓶體的頂部，所述出氣管的一端顯露于所述瓶體外，所述進氣管的另一端固定于所述瓶體的壁面上；以及 加料口，設置于所述瓶體的頂部，且位于所述進氣管及所述出氣管之間。2.根據權利要求1所述的液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器，其特征在于，所述容置空間的總容積為15升，三甲基鎵的填裝量為12升，為所述容置空間的總容積的百分之八十。3.根據權利要求1所述的液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器，其特征在于，所述瓶體的外徑為250?270mm。4.根據權利要求2所述的液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器，其特征在于，所述瓶體的外徑為260mm。5.根據權利要求3所述的液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器，其特征在于，所述瓶體的高度為345?365mm。6.根據權利要求4所述的液體高純金屬有機化合物三甲基鎵的封裝容器，其特征在于，所述瓶體的高度為355mm。7.根據權利...

【專利技術屬性】
技術研發人員：呂寶源，沈斌，韋錦昊，單一菁，陸平，王萍，高磊，
申請(專利權)人：江蘇南大光電材料股份有限公司，
類型：新型
國別省市：江蘇;32