一種卷繞式ITO結(jié)晶設(shè)備，包括放膜輥，第一組夾緊輥，高溫輥，第二組夾緊輥，收膜輥，第一速度檢測傳感器，薄膜，第二速度檢測傳感器；其中：放膜輥與第一組夾緊輥平行布置在框架上，第一組夾緊輥和高溫輥平行布置在框架上；高溫輥和第二組夾緊輥平行布置在框架上，第二組夾緊輥和收膜輥平行布置在框架上；第一速度檢測傳感器布置在第二組夾緊輥的下后方；第二速度檢測傳感器布置在第一組夾緊輥的下前方；薄膜繞在放膜輥上，順次通過第一組夾緊輥、高溫輥、第二組夾緊輥和收膜輥上。本發(fā)明專利技術(shù)的優(yōu)點：加熱輥能與零張力的薄膜完整貼合，且能保證每一點都能受熱均勻，可以有效解決薄膜寬度的限制，可制備大尺寸ITO結(jié)晶膜。
【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
【專利摘要】一種卷繞式ITO結(jié)晶設(shè)備，包括放膜輥，第一組夾緊輥，高溫輥，第二組夾緊輥，收膜輥，第一速度檢測傳感器，薄膜，第二速度檢測傳感器；其中：放膜輥與第一組夾緊輥平行布置在框架上，第一組夾緊輥和高溫輥平行布置在框架上；高溫輥和第二組夾緊輥平行布置在框架上，第二組夾緊輥和收膜輥平行布置在框架上；第一速度檢測傳感器布置在第二組夾緊輥的下后方；第二速度檢測傳感器布置在第一組夾緊輥的下前方；薄膜繞在放膜輥上，順次通過第一組夾緊輥、高溫輥、第二組夾緊輥和收膜輥上。本專利技術(shù)的優(yōu)點：加熱輥能與零張力的薄膜完整貼合，且能保證每一點都能受熱均勻，可以有效解決薄膜寬度的限制，可制備大尺寸ITO結(jié)晶膜。【專利說明】一種卷繞式I TO結(jié)晶設(shè)備
本專利技術(shù)涉及Ι--結(jié)晶膜生產(chǎn)設(shè)備，特別涉及了一種卷繞式ΙΤ0結(jié)晶設(shè)備。
技術(shù)介紹
現(xiàn)在對于薄膜ΙΤ0結(jié)晶來說，薄膜主要的承載方式為平面式承載，即在0張力情 況下薄膜依附于平面板上，放置于加熱真空腔室內(nèi)。這種方式的缺點，薄膜寬度不能大于 500_，因為寬度過大，會造成四周與中心受熱不均勻，影響結(jié)晶效果。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本專利技術(shù)的目的是為了能夠有效解決薄膜寬度的限制，制備大尺寸ΙΤ0結(jié)晶膜，特 提供了一種卷繞式ΙΤ0結(jié)晶設(shè)備。 本專利技術(shù)提供了一種卷繞式ΙΤ0結(jié)晶設(shè)備，其特征在于：所述的卷繞式ΙΤ0結(jié)晶設(shè) 備，包括放膜輥1，第一組夾緊輥2,高溫輥4,第二組夾緊輥5,收膜輥6,第一速度檢測傳感 器7,薄膜8,第二速度檢測傳感器9 ; 其中：放膜輥1與第一組夾緊輥2平行布置在框架上，第一組夾緊輥2和高溫輥4 平行布置在框架上； 高溫輥4和第二組夾緊輥5平行布置在框架上，第二組夾緊輥5和收膜輥6平行 布置在框架上； 第一速度檢測傳感器7布置在第二組夾緊輥5的下后方；第二速度檢測傳感器9 布置在第一組夾緊輥2的下前方； 薄膜8繞在放膜輥1上，順次通過第一組夾緊輥2、高溫輥4、第二組夾緊輥5和收 膜輥6上。 所述的卷繞式ΙΤ0結(jié)晶設(shè)備，還包括一個能抽真空環(huán)境的封閉箱體3 ; 放膜輥1、第一組夾緊輥2、高溫輥4、第二組夾緊輥5、收膜輥6、第一速度檢測傳感 器7、薄膜8和第二速度檢測傳感器9均布置在能抽真空環(huán)境的封閉箱體3內(nèi)。 所述的卷繞式Ι--結(jié)晶設(shè)備，還包括控制單元，控制單元為PC。 所述的卷繞式ΙΤ0結(jié)晶設(shè)備，還包括電機驅(qū)動裝置，電機驅(qū)動裝置分別連接放膜 輥1、高溫輥4和收膜輥6。 工作原理： 通過放膜輥的薄膜，經(jīng)過第一組夾緊輥，使其自然下垂，通過重力自然吸附在高溫 輥上，薄膜貼合著高溫輥來進行運動，來實現(xiàn)ΙΤ0的結(jié)晶。 當(dāng)機構(gòu)運轉(zhuǎn)時，放膜輥、加熱輥和收膜輥同方向旋轉(zhuǎn)；加熱輥的鍍膜速度由人工調(diào) 節(jié)；放膜輥的速度由第二速度檢測傳感器進行反饋，反饋給PC，由PC進行調(diào)速。如果放膜 輥部分膜下垂量不足，則放膜輥加速，相反則減速。收膜輥的收膜速度由第一速度檢測傳感 器進行調(diào)節(jié)，如果收卷部分膜下垂量不足，則收膜輥減速，反之則加速。 本專利技術(shù)的優(yōu)點： 本專利技術(shù)所述的卷繞式ΙΤ0結(jié)晶設(shè)備，加熱輥能與零張力的薄膜完整貼合，且能保 證每一點都能受熱均勻，可以有效解決薄膜寬度的限制，可制備大尺寸ΙΤ0結(jié)晶膜。 【專利附圖】【附圖說明】 下面結(jié)合附圖及實施方式對本專利技術(shù)作進一步詳細的說明： 圖1為卷繞式ΙΤ0結(jié)晶設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖。 【具體實施方式】 實施例1 本實施例提供了一種卷繞式ΙΤ0結(jié)晶設(shè)備，其特征在于：所述的卷繞式ΙΤ0結(jié)晶設(shè) 備，包括放膜輥1，第一組夾緊輥2,高溫輥4,第二組夾緊輥5,收膜輥6,第一速度檢測傳感 器7,薄膜8,第二速度檢測傳感器9 ; 其中：放膜輥1與第一組夾緊輥2平行布置在框架上，第一組夾緊輥2和高溫輥4 平行布置在框架上； 高溫輥4和第二組夾緊輥5平行布置在框架上，第二組夾緊輥5和收膜輥6平行 布置在框架上； 第一速度檢測傳感器7布置在第二組夾緊輥5的下后方；第二速度檢測傳感器9 布置在第一組夾緊輥2的下前方； 薄膜8繞在放膜輥1上，順次通過第一組夾緊輥2、高溫輥4、第二組夾緊輥5和收 膜輥6上。 所述的卷繞式ΙΤ0結(jié)晶設(shè)備，還包括一個能抽真空環(huán)境的封閉箱體3 ; 放膜輥1、第一組夾緊輥2、高溫輥4、第二組夾緊輥5、收膜輥6、第一速度檢測傳感 器7、薄膜8和第二速度檢測傳感器9均布置在能抽真空環(huán)境的封閉箱體3內(nèi)。 所述的卷繞式ΙΤ0結(jié)晶設(shè)備，還包括控制單元，控制單元為PC。 所述的卷繞式ΙΤ0結(jié)晶設(shè)備，還包括電機驅(qū)動裝置，電機驅(qū)動裝置分別連接放膜 輥1、高溫輥4和收膜輥6。 工作原理： 通過放膜輥的薄膜，經(jīng)過第一組夾緊輥，使其自然下垂，通過重力自然吸附在高溫 輥上，薄膜貼合著高溫輥來進行運動，來實現(xiàn)ΙΤ0的結(jié)晶。 當(dāng)機構(gòu)運轉(zhuǎn)時，放膜輥、加熱輥和收膜輥同方向旋轉(zhuǎn)；加熱輥的鍍膜速度由人工調(diào) 節(jié)；放膜輥的速度由第二速度檢測傳感器進行反饋，反饋給PC，由PC進行調(diào)速。如果放膜 輥部分膜下垂量不足，則放膜輥加速，相反則減速。收膜輥的收膜速度由第一速度檢測傳感 器進行調(diào)節(jié)，如果收卷部分膜下垂量不足，則收膜輥減速，反之則加速。【權(quán)利要求】1. 一種卷繞式ITO結(jié)晶設(shè)備，其特征在于：所述的卷繞式ITO結(jié)晶設(shè)備，包括放膜輥 (1)，第一組夾緊輥（2)，高溫輥（4)，第二組夾緊輥（5)，收膜輥（6)，第一速度檢測傳感器 (7)，薄膜（8)，第二速度檢測傳感器（9); 其中：放膜輥（1)與第一組夾緊輥（2)平行布置在框架上，第一組夾緊輥（2)和高溫輥 (4) 平行布置在框架上； 高溫輥（4)和第二組夾緊輥（5)平行布置在框架上，第二組夾緊輥（5)和收膜輥（6) 平行布置在框架上； 第一速度檢測傳感器（7)布置在第二組夾緊輥（5)的下后方；第二速度檢測傳感器 (9)布置在第一組夾緊輥（2)的下前方； 薄膜（8)繞在放膜輥（1)上，順次通過第一組夾緊輥（2)、高溫輥（4)、第二組夾緊輥 (5) 和收膜棍（6)上。2. 按照權(quán)利要求1所述的卷繞式ΙΤ0結(jié)晶設(shè)備，其特征在于：所述的卷繞式ΙΤ0結(jié)晶 設(shè)備，還包括一個能抽真空環(huán)境的封閉箱體（3); 放膜輥（1)、第一組夾緊輥（2)、高溫輥（4)、第二組夾緊輥（5)、收膜輥（6)、第一速度檢 測傳感器（7)、薄膜（8)和第二速度檢測傳感器（9)均布置在能抽真空環(huán)境的封閉箱體（3) 內(nèi)。3. 按照權(quán)利要求1所述的卷繞式ΙΤ0結(jié)晶設(shè)備，其特征在于：所述的卷繞式ΙΤ0結(jié)晶 設(shè)備，還包括控制單元，控制單元為PC。4. 按照權(quán)利要求1所述的卷繞式ITO結(jié)晶設(shè)備，其特征在于：所述的卷繞式ITO結(jié)晶 設(shè)備，還包括電機驅(qū)動裝置，電機驅(qū)動裝置分別連接放膜輥（1)、高溫輥（4)和收膜輥（6)。【文檔編號】C01G15/00GK104192891SQ201410367386【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年7月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月30日 【專利技術(shù)者】王宇 申請人:沈陽鐠和真空電子設(shè)備有限公司本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護點】
一種卷繞式ITO結(jié)晶設(shè)備，其特征在于：所述的卷繞式ITO結(jié)晶設(shè)備，包括放膜輥(1)，第一組夾緊輥(2)，高溫輥(4)，第二組夾緊輥(5)，收膜輥(6)，第一速度檢測傳感器(7)，薄膜(8)，第二速度檢測傳感器(9)；其中：放膜輥(1)與第一組夾緊輥(2)平行布置在框架上，第一組夾緊輥(2)和高溫輥(4)平行布置在框架上；高溫輥(4)和第二組夾緊輥(5)平行布置在框架上，第二組夾緊輥(5)和收膜輥(6)平行布置在框架上；第一速度檢測傳感器(7)布置在第二組夾緊輥(5)的下后方；第二速度檢測傳感器(9)布置在第一組夾緊輥(2)的下前方；薄膜(8)繞在放膜輥(1)上，順次通過第一組夾緊輥(2)、高溫輥(4)、第二組夾緊輥(5)和收膜輥(6)上。
【技術(shù)特征摘要】
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：王宇，
申請(專利權(quán))人：沈陽鐠和真空電子設(shè)備有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：遼寧;21
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