【技術實現步驟摘要】
【專利摘要】本技術公開了一種高效率蒸發舟,包括帶有蒸發槽的導電陶瓷舟體,導電陶瓷舟體的橫截面呈工形,由中心段與設置在中心段兩端的連接段組成,蒸發槽開設于導電陶瓷舟體的中心段,導電陶瓷舟體兩端的連接段上均連接有作導電電極用金屬夾具,導電陶瓷舟體的中心段的兩端面與連接段的兩端面之間為距離設置,導電陶瓷舟體的中心段的底面與連接段的底面為距離設置。本技術的優點是:增加了蒸發槽處的電阻,提高了蒸發效率,降低了兩端的溫度。有效的降低了蒸發舟與金屬夾具的接觸電阻,防止蒸發舟因接觸電阻過大而在接觸處產生極端高溫。【專利說明】高效率蒸發舟
本技術涉及一種壽命長且蒸鍍效率高的蒸發舟,屬于真空鍍膜
。
技術介紹
現在所使用的導電陶瓷蒸發舟均是在導電陶瓷上開一個蒸發槽,然后再蒸發時將待蒸發的工件置于蒸發槽中進行蒸發,但蒸發時需要的功率較高,而且導電陶瓷很脆,高溫下作業時釋放的熱應力很容易引起斷裂,所以現有的蒸發舟壽命短,且蒸發效率低。
技術實現思路
本技術目的是提供一種壽命長且蒸發效率高的蒸發舟。 本技術的技術方案是: 高效率蒸發舟,包括帶有蒸發槽的導電陶瓷舟體,所述導電陶瓷舟體的橫截面呈工形,由中心段與設置在中心段兩端的連接段組成,所述蒸發槽開設于導電陶瓷舟體的中心段,所述導電陶瓷舟體兩端的連接段上均連接有作導電電極用金屬夾具,所述導電陶瓷舟體的中心段的兩端面與連接段的兩端面之間為距離設置,所述導電陶瓷舟體的中心段的底面與連接段的底面為距離設置。 優選地,所述導電陶瓷舟體的連接段與金屬夾具為插接連接。 本技術的優點是:增加了蒸發槽處的電 ...
【技術保護點】
高效率蒸發舟,包括帶有蒸發槽的導電陶瓷舟體,其特征在于:所述導電陶瓷舟體的橫截面呈工形,由中心段與設置在中心段兩端的連接段組成,所述蒸發槽開設于導電陶瓷舟體的中心段,所述導電陶瓷舟體兩端的連接段上均連接有作導電電極用金屬夾具,所述導電陶瓷舟體的中心段的兩端面與連接段的兩端面之間為距離設置,所述導電陶瓷舟體的中心段的底面與連接段的底面為距離設置。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員:丁磊,徐杰,楊玲,馮亞青,馮敏強,廖良生,
申請(專利權)人:蘇州方昇光電裝備技術有限公司,
類型:新型
國別省市:江蘇;32
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