一種大尺寸鉬鈮靶材的制備方法技術

本發(fā)明專利技術公開了一種大尺寸鉬鈮靶材的制備方法，采用獨特的球磨工藝，球磨機內(nèi)襯材料與磨球均為鉬或鈮為母體的合金，引入的雜質(zhì)很少，可保證靶材的高純度；經(jīng)球磨、真空燒結使粉末粒度均勻，燒結組織均勻，包套處理防止了鉬鈮靶材氧化或者氫化而生成脆性相，保證了鉬鈮合金的可塑性，解決了低成本大尺寸鉬鈮靶材的難題。本發(fā)明專利技術的效果和益處是在制造成本、產(chǎn)品性能、規(guī)模化生產(chǎn)和環(huán)境友好等方面都展現(xiàn)出顯著的競爭優(yōu)勢和利潤空間。

【技術實現(xiàn)步驟摘要】

【技術保護點】
一種大尺寸鉬鈮靶材的制備方法，其特征在于，按照下述步驟完成：1）把鉬粉和鈮粉按照重量比1:2~2:1加入球磨機中球磨混合；所述球磨機內(nèi)襯及磨球采用鈮碳硬質(zhì)合金；2）繼續(xù)添加鉬粉，使鉬粉和鈮粉的重量比達到9:1，然后在V型混料機中進行混合；3）將混合好的鉬粉和鈮粉冷等靜壓成型，得鉬鈮坯；4）將鉬鈮坯進行高溫燒結；5）燒結后的鉬鈮坯包裹不銹鋼包套，抽氣體密封處理，加熱至1300℃~1400℃進行軋制，然后900℃真空熱處理3h，最后機加工為鉬鈮靶材產(chǎn)品；所采用的鉬粉平均粒度為1μm~5μm，所采用的鈮粉平均粒度為30μm?~100μm。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：侯慶龍，邱春霞，豆帆，朱洪維，劉海燕，
申請(專利權)人：煙臺希爾德新材料有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：山東;37