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    下載一種大尺寸鉬鈮靶材的制備方法的技術資料

    文檔序號:11376906

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    本發明公開了一種大尺寸鉬鈮靶材的制備方法,采用獨特的球磨工藝,球磨機內襯材料與磨球均為鉬或鈮為母體的合金,引入的雜質很少,可保證靶材的高純度;經球磨、真空燒結使粉末粒度均勻,燒結組織均勻,包套處理防止了鉬鈮靶材氧化或者氫化而生成脆性相,保證...
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