功能元件、電子設備及移動體制造技術

本發明專利技術提供一種功能元件、電子設備及移動體，其能夠準確地檢測物理量。本發明專利技術所涉及的功能元件包括：第一電極部、第二電極部、與所述第一電極部相連接的第一配線和與所述第二電極部連接的第二配線，所述第一配線具備與所述第二配線以外的配線交叉的第一交叉部，所述第二配線具備與所述第一配線以外的配線交叉的第二交叉部，所述第一交叉部的個數與所述第二交叉部的個數之差相對于所述第一交叉部的個數與所述第二交叉部的個數中的較多的一方的個數,而滿足在其50％以下。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及一種功能元件、電子設備以及移動體。
技術介紹
近年來，利用一種例如??圭 MEMS (Micro Electro Mechanical System:微型機電系統)技術來開發一種對加速度等的物理量進行檢測的物理量傳感器(功能元件)。例如在專利文獻1中記載有一種物理量傳感器，其中，包括:可動體，其被設置于基板的上方；可動電極部，其從可動體延伸；第一固定電極部，其被設置于可動電極部的一偵;第二固定電極部，其被設置于可動電極部的一側；所述物理量傳感器分別對可動電極部與第一固定電極部之間的靜電電容、和可動電極部與第二固定電極部之間的靜電電容進行測定，并根據這些測定結果(利用所謂的差動檢測方式)而對物理量進行檢測。在這種物理量傳感器中，利用通過第一配線而與第一固定電極部連接的第一襯墊、和通過第二配線而與第二固定電極部連接的第二襯墊，對固定電極部與可動電極部之間的靜電電容進行檢測。但是，在專利文獻1的物理量傳感器中，第一配線的與第二固定電極部交叉的部分數、和第二配線的與第一固定電極部交叉的部分數有較大不同。因此，在專利文獻1的物理量傳感器中，第一配線與第二配線間電特性(阻抗和寄生電容)的差異較大。因此，在可動電極部與第一固定電極部之間的靜電電容、和可動電極部與第二固定電極部之間的靜電電容上，將附加有不同的寄生電容，從而存在降低物理量的檢測精度的可能性。專利文獻1:日本特開2012-98208號公報
技術實現思路
本專利技術的幾個方式所涉及的目的之一在于，提供一種能夠抑制物理量的檢測精度降低的功能元件。另外，本專利技術的幾個方式所涉及的目的之一在于，提供一種包括上述功能元件的電子設備以及移動體。本專利技術是為了解決上述課題的一部分分而完成的，能夠作為以下的方式或應用例來實現。應用例1本應用例所涉及的功能元件包括:第一電極部；第二電極部；第一配線，其與所述第一電極部相連接；第二配線，其與所述第二電極部相連接；所述第一配線具備與所述第二配線以外的配線交叉的第一交叉部，所述第二配線具備與所述第一配線以外的配線交叉的第二交叉部，所述第一交叉部的個數與所述第二交叉部的個數之差相對于所述第一交叉部的個數或所述第二交叉部的個數中的較多的一方的個數，而滿足在其50%以下。在這種功能元件中，能夠降低功能元件的配線之間的寄生電容的誤差。例如，在作為功能元件而用于電容檢測型的物理量傳感器中的情況下，將降低第一配線與第二配線之間產生的靜電電容的付加量的差。因此，在這種物理量傳感器中，利用所謂的差動檢測方式，能夠抵消第一配線以及第二配線的寄生電容的大部分，從而能夠更加準確地檢測物理量。應用例2在本應用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，在俯視觀察時，所述第一交叉部的交叉面積的總和與所述第二交叉部的交叉面積的總和之差，相對于所述第一交叉部的交叉面積的總和與所述第二交叉部的交叉面積的總和之中較大的一方的面積，而滿足在其50%以下。在這種功能元件中，能夠降低功能元件的配線之間的寄生電容的誤差。例如在作為能夠元件而用于電容檢測型的物理量傳感器中的情況下，將減低第一配線與第二配線之間產生的靜電電容的付加量的差。因此，在這種物理量傳感器中，利用所謂的差動檢測方式，能夠抵消第一配線以及第二配線的寄生電容的大部分，從而能夠更加準確地檢測物理量。應用例3 在本應用例所涉及的功能元件中，可以使所述第一交叉部的個數與所述第二交叉部的個數相等。在這種功能元件中，能夠降低功能元件的配線之間的寄生電容的誤差。尤其作為電容檢測型的物理量傳感器，能夠更加正確地檢測物理量。應用例4 本應用例所涉及的功能元件包括:第一電極部；第二電極部；第一配線，其與所述第一電極部相連接；第二配線，其與所述第二電極部相連接；所述第一配線具備與所述第二配線以外的配線交叉的第一交叉部，所述第二配線具備與所述第一配線以外的配線交叉的第二交叉部，在俯視觀察時，所述第一交叉部的交叉面積的總和與所述第二交叉部的交叉面積的總和之差，相對于所述第一交叉部的交叉面積的總和與所述第二交叉部的交叉面積的總和之中較大一方的面積，而滿足在其50%以下。在這種功能元件中能夠降低功能元件的配線之間的寄生電容的誤差。例如在作為功能元件而用于電容檢測型的物理量傳感器中的情況下，將降低第一配線與第二配線之間產生的靜電電容的付加量的差。因此，在這種物理量傳感器中，利用所謂的差動檢測方式，能夠抵消第一配線以及第二配線的寄生電容的大部分，從而能夠更加準確地檢測物理量。應用例5在本應用例所涉及的功能元件中，可以使所述第一交叉部的交叉面積的總和與所述第二交叉部的交叉面積的總和相等。在這種功能元件中，能夠降低功能元件的配線之間的寄生電容的誤差。尤其作為電容檢測型的物理量傳感器，能夠更加準確地檢測物理量。應用例6在本應用例所涉及的功能元件中，可以使所述第一交叉部與所述第二交叉部的個數相等。在這種功能元件中，能夠降低功能元件的配線之間的寄生電容的誤差。尤其作為電容檢測型的物理量傳感器，能夠更加準確地檢測物理量。應用例7在本應用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，包括:可動體，其能夠沿第一軸進行移位；第一可動電極部，其從所述可動體延伸；固定電極部，其包括作為被配置于所述第一可動電極部的一側的第一電極部的第一固定電極部、和作為被配置于另一側的第二電極部的第二固定電極部。在這種功能元件中，能夠作為電容檢測型的物理量傳感器使其發揮功能。應用例8在本應用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，包括與所述第一可動電極部相連接的第三配線，所述第三配線與所述第一配線以及所述第二配線中的至少一方的配線交叉。在這種功能元件中，由于能夠使例如連接于固定電極部的配線與連接于可動電極部的配線交叉，因此提高了配線設計的自由度。應用例9在本應用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，包括電浮置的第四配線，所述第四配線與所述第一配線以及所述第二配線中的至少一方的配線交叉。在這種功能元件中，由于通過準備作為虛設配線的第四配線，并使其與第一配線以及第二配線中的至少一方的配線交叉，從而能夠使第一配線和第二配線上的交叉點數相等，因此能夠更加準確地檢測物理量。應用例10在本應用例所涉及的功能元件中，也可以采用如下方式，S卩，包括向與所述第一可動電極部相反的一側延伸的第二可動電極部，所述固定電極部包括被配置于所述第二可動電極部的一側的第三固定電極部、和被配置于另一側的第四固定電極部，所述第一配線經過第一分支部而連接于所述第一固定電極部和所述第三固定電極部，所述第二配線經過第二分支部而連接于所述第二固定電極部和所述第四固定電極部。在這種功能元件中，在為了提高靈敏度而使可動電極部向可動體的兩側延伸的類型的物理量傳感器中，通過在第一配線和第二配線的各個配線上設置分支部，從而能夠對稱地配置配線，從而能夠降低因第一配線與第二配線的配線長度的差異而引起的電特性的不一致的影響。應用例11在本應用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，所述可動體、所述可動電極部、所述固定電極部、所述第一配線以及所述第二配線被配置于基板上，在所述第一交叉部以及所述第二交叉部中的至少一方的交叉部中，交叉中的一方的配線被設置于所述基板上所設置的槽的內部。在這種功能本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種功能元件，其特征在于，包括：第一電極部；第二電極部；第一配線，其與所述第一電極部相連接；第二配線，其與所述第二電極部相連接；所述第一配線具備與所述第二配線以外的配線交叉的第一交叉部，所述第二配線具備與所述第一配線以外的配線交叉的第二交叉部，所述第一交叉部的個數與所述第二交叉部的個數之差相對于所述第一交叉部的個數或所述第二交叉部的個數中的較多的一方的個數，而滿足在其50％以下。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：田中悟，
申請(專利權)人：精工愛普生株式會社，
類型：發明
國別省市：日本;JP