本發(fā)明專利技術(shù)涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種磁控濺射裝置，該磁控濺射裝置包括磁懸浮軌道和可沿磁懸浮軌道的延伸方向懸浮移動地安裝于磁懸浮軌道的載板，載板設(shè)有用于與磁懸浮軌道之間產(chǎn)生懸浮磁力的磁軌，磁軌通過多個墊塊安裝于載板；其中，每一個墊塊包括位于磁軌與載板之間的第一絕緣板塊和第二絕緣板塊，第二絕緣板塊位于第一絕緣板塊與載板之間；且，第一絕緣板塊與磁軌之間通過第一固定件固定連接，第二絕緣板塊與載板之間通過第二固定件固定連接，第二固定件與第一固定件不接觸；第一絕緣板塊與第二絕緣板塊之間通過第三固定件固定連接，第三固定件與磁軌和載板都不接觸。上述磁控濺射裝置在工作過程中不易產(chǎn)生異常放電的現(xiàn)象。
【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及真空鍍膜
，尤其是涉及一種磁控濺射裝置。
技術(shù)介紹
目前，在鍍膜領(lǐng)域，真空磁控濺射技術(shù)應(yīng)用非常廣泛。現(xiàn)有的一種磁控濺射裝置，其中設(shè)有用于使載板懸浮運動的磁懸浮軌道，載板為承載待加工物體的金屬板，一般為鋁板，載板的邊緣位置設(shè)有用于與上述磁懸浮軌道之間產(chǎn)生懸浮磁力的磁軌，該磁軌與腔體相連，且該磁軌通過絕緣墊塊安裝于載板上。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的一種用于將磁軌安裝于載板上的絕緣墊塊的結(jié)構(gòu)示意圖；如圖1所示，絕緣墊塊30先通過內(nèi)部螺絲40實現(xiàn)與載板10相連，然后再通過螺絲50實現(xiàn)與磁軌20相連，進而實現(xiàn)磁軌20與載板10之間的安裝；如圖1所示，螺絲50的安裝操作可以在載板上的開口 60處完成。磁控濺射裝置在對載板上的物體進行鍍膜的過程中，位于載板邊緣的絕緣墊塊表面一般也會附著上金屬膜;如圖1所示，上述絕緣墊塊30中，當(dāng)絕緣墊塊30表面處于載板10的開口 60內(nèi)的區(qū)域上形成一定厚度的金屬膜時，螺絲50與載板10之間就可能通過上述金屬膜所導(dǎo)通，進而導(dǎo)致磁軌和腔體與載板之間導(dǎo)通，從而導(dǎo)致產(chǎn)生異常放電，異常放電的產(chǎn)生將大大影響鍍膜的品質(zhì)。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本專利技術(shù)提供了一種磁控濺射裝置，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中的磁控濺射裝置在工作過程中易產(chǎn)生異常放電的問題。為達(dá)到上述目的，本專利技術(shù)提供以下技術(shù)方案:—種磁控濺射裝置，包括磁懸浮軌道和可沿所述磁懸浮軌道的延伸方向懸浮移動地安裝于所述磁懸浮軌道的載板，所述載板設(shè)有用于與所述磁懸浮軌道之間產(chǎn)生懸浮磁力的磁軌，所述磁軌通過多個墊塊安裝于所述載板上;其中，每一個所述墊塊包括位于所述磁軌與所述載板之間的第一絕緣板塊和第二絕緣板塊，所述第二絕緣板塊位于所述第一絕緣板塊與所述載板之間；且，所述第一絕緣板塊與所述磁軌之間通過第一固定件固定連接，所述第二絕緣板塊與所述載板之間通過第二固定件固定連接，所述第二固定件與所述第一固定件不接觸;所述第一絕緣板塊與所述第二絕緣板塊之間通過第三固定件固定連接，所述第三固定件與所述磁軌和載板都不接觸、且所述第三固定件與所述第一固定件和/或所述第二固定件不接觸。上述磁控濺射裝置中，每一個墊塊包括固定連接的第一絕緣板塊和第二絕緣板塊兩部分，且每一個墊塊的第一絕緣板塊與磁軌相連、第二絕緣板塊與載板相連，進而實現(xiàn)了磁軌與載板之間的連接安裝;并且，該磁控濺射裝置中，連接磁軌和第一絕緣板塊的第一固定件與載板之間隔著第二絕緣板塊，連接載板和第二絕緣板塊的第二固定件與磁軌之間隔著第一絕緣板塊，因此，即使在墊塊表面形成了金屬膜，該金屬膜也無法通過第一固定件或者通過第二固定件使磁軌與載板之間電導(dǎo)通;且由于第一固定件和第二固定件之間不接觸，因此，墊塊表面的金屬膜也無法通過第一固定件和第二固定件共同實現(xiàn)將磁軌與載板電導(dǎo)通;另外，由于連接第一絕緣板塊和第二絕緣板塊的第三固定件與磁軌和載板都不接觸、且也不與第一固定件和/或第二固定件接觸，因此，形成于墊塊表面的金屬膜也很難通過第三固定件或者同時通過三個固定件使磁軌與載板之間電導(dǎo)通。綜上所述，上述磁控濺射裝置，其墊塊中的固定件(第一固定件、第二固定件和第三固定件)不容易導(dǎo)致磁軌與載板之間電導(dǎo)通，因此，上述磁控濺射裝置在工作過程中不易產(chǎn)生異常放電的現(xiàn)象。優(yōu)選地，所述第一絕緣板塊設(shè)有至少一個第一通孔;所述磁軌設(shè)有與所述第一通孔一一對應(yīng)的至少一個第一螺紋孔;所述第一固定件包括至少一個穿過所述第一通孔且與所述第一通孔對應(yīng)的第一螺紋孔螺紋配合的第一螺釘。優(yōu)選地，所述第二絕緣板塊設(shè)有至少一個第二通孔;所述載板設(shè)有與所述第二通孔一一對應(yīng)的至少一個第二螺紋孔;所述第二固定件包括至少一個穿過所述第二通孔且與所述第二通孔對應(yīng)的第二螺紋孔螺紋配合的第二螺釘。優(yōu)選地，所述第一絕緣板塊的第一通孔和所述第二絕緣板塊的第二通孔之間不連通。優(yōu)選地，所述第二絕緣板塊設(shè)有至少一個第三通孔;所述第一絕緣板塊設(shè)有與所述第三通孔一一對應(yīng)的至少一個第三螺紋孔，每一個所述第三螺紋孔為非通孔;所述第三固定件包括至少一個穿過所述第三通孔且與所述第三螺紋孔螺紋配合的第三螺釘。優(yōu)選地，所述第二絕緣板塊的第三通孔和所述第一絕緣板塊的第一通孔之間不連通。優(yōu)選地，所述第三固定件包括兩個所述第三螺釘。優(yōu)選地，所述載板上設(shè)有用于操作安裝所述第三固定件的安裝操作開口，所述第二絕緣板塊上的每一個所述第三通孔位于所述安裝操作開口的范圍內(nèi)。優(yōu)選地，所述第二絕緣板塊與所述載板相對的一側(cè)表面設(shè)有絕緣槽，所述絕緣槽位于所述安裝操作開口的范圍內(nèi)。優(yōu)選地，所述絕緣槽為包圍每一個所述第三通孔的環(huán)形槽。優(yōu)選地，所述第一絕緣板塊與所述第二絕緣板塊的材料為樹脂。【附圖說明】圖1為現(xiàn)有技術(shù)中一種磁控濺射裝置中的墊塊的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本專利技術(shù)實施例提供的一種磁控濺射裝置中的墊塊的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本專利技術(shù)另一實施例提供的一種磁控濺射裝置中的墊塊的結(jié)構(gòu)示意圖。【具體實施方式】下面將結(jié)合本專利技術(shù)實施例中的附圖，對本專利技術(shù)實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本專利技術(shù)一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本專利技術(shù)中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本專利技術(shù)保護的范圍。請參考圖2和圖3。如圖2和圖3所示，本專利技術(shù)實施例提供的一種磁控濺射裝置，包括磁懸浮軌道和可沿磁懸浮軌道的延伸方向懸浮移動地安裝于磁懸浮軌道的載板1，載板1設(shè)有用于與磁懸浮軌道之間產(chǎn)生懸浮磁力的磁軌2，該磁軌2通過多個墊塊3安裝于載板1上;其中，每一個墊塊3包括位于磁軌2與載板1之間的第一絕緣板塊31和第二絕緣板塊32，第二絕緣板塊32位于第一絕緣板塊31與載板1之間；且，第一絕緣板塊31與磁軌2之間通過第一固定件41固定連接，第二絕緣板塊32與載板1之間通過第二固定件42固定連接，第二固定件42與第一固定件41不接觸;第一絕緣板塊31與第二絕緣板塊32之間通過第三固定件43固定連接;第三固定件43與磁軌2和載板1都不接觸、且第三固定件43與第一固定件41和/或第二固定件42也不接觸。上述磁控濺射裝置中，每一個墊塊3包括固定連接的第一絕緣板塊31和第二絕緣板塊32兩部分，且每一個墊塊3的第一絕緣板塊31與磁軌2相連、第二絕緣板塊32與載板1相連，進而實現(xiàn)了磁軌2與載板1之間的連接安裝;并且，該磁控濺射裝置中，連接磁軌2和第一絕緣板塊31的第一固定件41與載板1之間隔著第二絕緣板塊32，連接載板1和第二絕緣板塊32的第二固定件42與磁軌2之間隔著第一絕緣板塊31，因此，即使在墊塊3表面形成了金屬膜，該金屬膜也無法通過第一固定件41或者通過第二固定件42使磁軌2與載板1之間電導(dǎo)通;且由于第一固定件41和第二固定件42之間不接觸，因此，墊塊3表面的金屬膜也無法通過第一固定件41和第二固定件42共同實現(xiàn)將磁軌2與載板1電導(dǎo)通；另外，由于連接第一絕緣板塊31和第二絕緣板塊32的第三固定件43與磁軌2和載板1都不接觸、且也不與第一固定件41和/或第二固定件42接觸，因此，形成于墊塊3表面的金屬膜也很難通過第三固定件43或者同時通過上述三個固定件使磁軌43與載板之間電導(dǎo)通。綜上所述，上述磁控濺射裝置，其墊塊3中的固定件(第一固定件41、第二固定件42和第三固定件43)不容易導(dǎo)致磁軌2與載板1之間本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護點】
一種磁控濺射裝置，其特征在于，包括磁懸浮軌道和可沿所述磁懸浮軌道的延伸方向懸浮移動地安裝于所述磁懸浮軌道的載板，所述載板設(shè)有用于與所述磁懸浮軌道之間產(chǎn)生懸浮磁力的磁軌，所述磁軌通過多個墊塊安裝于所述載板上；其中，每一個所述墊塊包括位于所述磁軌與所述載板之間的第一絕緣板塊和第二絕緣板塊，所述第二絕緣板塊位于所述第一絕緣板塊與所述載板之間；且，所述第一絕緣板塊與所述磁軌之間通過第一固定件固定連接，所述第二絕緣板塊與所述載板之間通過第二固定件固定連接，所述第二固定件與所述第一固定件不接觸；所述第一絕緣板塊與所述第二絕緣板塊之間通過第三固定件固定連接，所述第三固定件與所述磁軌和載板都不接觸、且所述第三固定件與所述第一固定件和/或所述第二固定件不接觸。
【技術(shù)特征摘要】
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：劉海龍，孫玉杰，
申請(專利權(quán))人：京東方科技集團股份有限公司，北京京東方顯示技術(shù)有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：北京;11
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