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本發(fā)明涉及真空鍍膜技術領域，公開了一種磁控濺射裝置，該磁控濺射裝置包括磁懸浮軌道和可沿磁懸浮軌道的延伸方向懸浮移動地安裝于磁懸浮軌道的載板，載板設有用于與磁懸浮軌道之間產(chǎn)生懸浮磁力的磁軌，磁軌通過多個墊塊安裝于載板；其中，每一個墊塊包括位于...該專利屬于京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司授權不得商用。