一種具有體光伏效應的鐵電薄膜器件制造技術

本發明專利技術公開了一種具有體光伏效應的鐵電薄膜器件，包括襯底，所述襯底上沉積鐵電薄膜，該鐵電薄膜的極化方向垂直于其表面，消除鐵電薄膜器件的光伏效應中退極化場的貢獻；所述鐵電薄膜上沉積有呈正多邊形的中心電極，鐵電薄膜上還沉積有多個正多邊形的邊緣電極，邊緣電極的數量與所述中心電極的邊數相等，邊緣電極陣列在中心電極的周圍，中心電極的每條邊與相鄰的邊緣電極的邊平行且間隔距離為L，所述邊緣電極和中心電極的材料相同且同時制備，消除鐵電薄膜器件的光伏效應中肖特基勢壘的貢獻。特別是鐵電薄膜為T相時，還可消除鐵電薄膜器件的光伏效應中疇壁的貢獻，從而得到具有體光伏效應的鐵電薄膜器件。

【技術實現步驟摘要】
201610039249

【技術保護點】
一種具有體光伏效應的鐵電薄膜器件，其特征在于：包括襯底(1)，所述襯底(1)上沉積鐵電薄膜(2)，該鐵電薄膜(2)的極化方向垂直于其表面；所述鐵電薄膜(2)上沉積有呈正多邊形的中心電極(3)，鐵電薄膜(2)上還沉積有多個正多邊形的邊緣電極(4)，邊緣電極(4)的數量與所述中心電極(3)的邊數相等，邊緣電極(4)陣列在中心電極(3)的周圍，中心電極(3)的每條邊與相鄰的邊緣電極(4)的邊平行且間隔距離為L，所述邊緣電極(4)和中心電極(3)的材料相同且同時制備。

【技術特征摘要】
1.一種具有體光伏效應的鐵電薄膜器件，其特征在于：包括襯底(1)，
所述襯底(1)上沉積鐵電薄膜(2)，該鐵電薄膜(2)的極化方向垂直于其
表面；所述鐵電薄膜(2)上沉積有呈正多邊形的中心電極(3)，鐵電薄膜
(2)上還沉積有多個正多邊形的邊緣電極(4)，邊緣電極(4)的數量與所
述中心電極(3)的邊數相等，邊緣電極(4)陣列在中心電極(3)的周圍，
中心電極(3)的每條邊與相鄰的邊緣電極(4)的邊平行且間隔距離為L，所
述邊緣電極(4)和中心電極(3)的材料相同且同時制備。
2.根據權利要求1所述的一種具有體光伏效應的鐵電薄膜器件，其特征在
于：所...

【專利技術屬性】
技術研發人員：高榮禮，符春林，蔡葦，陳剛，鄧小玲，
申請(專利權)人：重慶科技學院，
類型：發明
國別省市：重慶;85