一種晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備制造技術(shù)

本實用新型專利技術(shù)公開了一種晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備，轉(zhuǎn)移車體上水平固定有定位板，在定位板上設(shè)置有多個定位孔，定位板的下方水平設(shè)置有支撐板，支撐板上表面與各定位孔正對的位置設(shè)置有支撐塊，支撐塊的上表面為支撐平面，在支撐板的下方設(shè)置有驅(qū)動機構(gòu)，支撐板移動到最高處時支撐平面與定位板的上表面相平，支撐板移動到最低處時支撐平面低于定位板的上表面；定位板或/和支撐板上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向套筒，支撐板或/和定位板上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向柱，導(dǎo)向柱與導(dǎo)向套筒活動套接，并在兩者之間設(shè)置減小摩擦力的滾珠。該設(shè)備既能對各晶棒形成定位防止晶棒在轉(zhuǎn)移過程中發(fā)生位移，也便于晶棒取放，并且支撐板的豎向移動也相對靈活順暢。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及一種晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備，屬于硅晶片加工設(shè)備

技術(shù)介紹
專利文獻CN201980271U中公開了一種已開方硅棒運輸車，包括推車、車體和設(shè)置在車體底部的車輪，所述車體的車斗由可翻轉(zhuǎn)的擋板配合而成，車斗底部設(shè)置有獨立槽位，所述的車輪為萬向輪，車輪與車體配合連接。采用該專利文獻中的結(jié)構(gòu)，車體四周的高度高于獨立槽位的高度，增加了安全性，獨立槽位的設(shè)置確保各個硅棒的準確放置，由于各個獨立槽位的周邊相互分開，放置在運輸過程中由于車體晃動而相互碰撞，24個獨立槽位的設(shè)置有效的增加了運輸?shù)臄?shù)量，提高了工作效率，節(jié)省了勞力，然而上述專利文獻中的硅棒運輸車還存在不足：獨立槽位雖然能夠?qū)Ψ湃肫渲械墓璋暨M行定位，但由于硅棒重量較重，將硅棒從運輸車上取出時獨立槽位會對操作產(chǎn)生干擾影響。
技術(shù)實現(xiàn)思路
對此，本技術(shù)旨在提供一種結(jié)構(gòu)更為合理的晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備，該設(shè)備既能對各晶棒形成定位防止晶棒在轉(zhuǎn)移過程中發(fā)生位移，也便于晶棒取放，并且支撐板的豎向移動也相對靈活順暢。實現(xiàn)本技術(shù)目的的技術(shù)方案是：一種晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備，包括轉(zhuǎn)移車體和設(shè)置在所述轉(zhuǎn)移車體底部的車輪，所述轉(zhuǎn)移車體上水平固定有定位板，在所述定位板上設(shè)置有多個與晶棒形狀相匹配的定位孔，所述定位板的下方水平設(shè)置有可豎向移動的支撐板，所述支撐板上表面與各定位孔正對的位置設(shè)置有與所述定位孔相匹配的支撐塊，所述支撐塊的上表面為適于放置晶棒的支撐平面，在所述支撐板的下方設(shè)置有適于帶動所述支撐板上下移動的驅(qū)動機構(gòu)，所述支撐板移動到最高處時所述支撐平面與所述定位板的上表面相平，所述支撐板移動到最低處時所述支撐平面低于所述定位板的上表面；所述定位板或/和所述支撐板上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向套筒，所述支撐板或/和所述定位板上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向柱，所述導(dǎo)向柱與所述導(dǎo)向套筒活動套接，并在兩者之間設(shè)置減小摩擦力的滾珠。上述技術(shù)方案中，所述驅(qū)動機構(gòu)包括可橫向移動的移動架和帶動所述移動架橫向移動的傳動絲桿，所述傳動絲桿與所述轉(zhuǎn)移車體上的絲桿孔配合，其一端與所述移動架可轉(zhuǎn)動連接，另一端設(shè)置有操作手柄，所述支撐板的下表面設(shè)置有若干受力凸塊，所述受力凸塊上設(shè)置有受力斜面，所述移動架上與各受力凸塊對應(yīng)的位置設(shè)置有施力凸塊，所述施力凸塊上設(shè)置有適于與受力斜面配合的施力斜面。上述技術(shù)方案中，所述轉(zhuǎn)移車體上設(shè)置有適于對所述移動架橫向移動范圍進行限定的限位槽。上述技術(shù)方案中，在所述移動架遠離所述傳動絲桿一端與限位槽相應(yīng)槽壁之間設(shè)置有作用彈簧。上述技術(shù)方案中，所述限位槽的槽壁上設(shè)置有用于安裝所述作用彈簧的安裝孔。本技術(shù)具有積極的效果：采用本技術(shù)中的結(jié)構(gòu)，在取放晶棒時，通過驅(qū)動機構(gòu)帶動支撐板移動至最高處，此時支撐平面與定位板的上表面相平，這時晶棒擺脫了定位孔的限制，從而利于晶棒取放，在轉(zhuǎn)移晶棒時，通過驅(qū)動機構(gòu)帶動支撐板向下移動至最低處，此時支撐平面低于定位板上表面，這樣定位孔的周壁能夠?qū)Ψ旁谥纹矫嫔系木О暨M行定位限制，從而防止晶棒在轉(zhuǎn)移過程中發(fā)生位移，進一步，所述定位板或/和所述支撐板上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向套筒，所述支撐板或/和所述定位板上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向柱，所述導(dǎo)向柱與所述導(dǎo)向套筒活動套接，并在兩者之間設(shè)置滾珠，采用這種結(jié)構(gòu)能夠在為支撐板豎向移動提供有效導(dǎo)向的同時，有效降低了摩擦阻力，從而使得支撐板豎向移動更加靈活順暢，采用本技術(shù)中的結(jié)構(gòu)具有很好的實用性。附圖說明圖1為本技術(shù)中晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備的結(jié)構(gòu)視圖(支撐板處于最低處)；圖2為本技術(shù)中晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備的結(jié)構(gòu)視圖(支撐板處于最高處)。圖中所示附圖標記為：1-轉(zhuǎn)移車體；2-車輪；3-定位板；31-定位孔；4-支撐板；41-支撐塊；42-支撐平面；43-受力凸塊；44-受力斜面；5-移動架；51-施力凸塊；52-施力斜面；6-傳動絲桿；7-操作手柄；8-復(fù)位彈簧；9-滾珠；10-限位槽。具體實施方式下面結(jié)合說明書附圖對本技術(shù)中的具體結(jié)構(gòu)做以說明：一種晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備，如圖1和圖2所示，其包括轉(zhuǎn)移車體1和設(shè)置在所述轉(zhuǎn)移車體1底部的車輪2，所述轉(zhuǎn)移車體1上水平固定有定位板3，在所述定位板3上設(shè)置有多個與晶棒形狀相匹配的定位孔31，所述定位板3的下方水平設(shè)置有可豎向移動的支撐板4，所述支撐板4上表面與各定位孔31正對的位置設(shè)置有與所述定位孔31相匹配的支撐塊41，所述支撐塊41的上表面為適于放置晶棒的支撐平面42，在所述支撐板4的下方設(shè)置有適于帶動所述支撐板4上下移動的驅(qū)動機構(gòu)，所述支撐板4移動到最高處時所述支撐平面42與所述定位板3的上表面相平，所述支撐板4移動到最低處時所述支撐平面42低于所述定位板3的上表面；所述定位板3或/和所述支撐板4上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向套筒32，所述支撐板4或/和所述定位板3上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向柱45，所述導(dǎo)向柱45與所述導(dǎo)向套筒32活動套接，并在兩者之間設(shè)置減小摩擦力的滾珠9。采用上述結(jié)構(gòu)，在取放晶棒時，通過驅(qū)動機構(gòu)帶動支撐板4移動至最高處，此時支撐平面42與定位板3的上表面相平，這時晶棒擺脫了定位孔的限制，從而利于晶棒取放，在轉(zhuǎn)移晶棒時，通過驅(qū)動機構(gòu)帶動支撐板4向下移動至最低處，此時支撐平面42低于定位板3上表面，這樣定位孔31的周壁能夠?qū)Ψ旁谥纹矫?2上的晶棒進行定位限制，從而防止晶棒在轉(zhuǎn)移過程中發(fā)生位移，進一步，通過如上設(shè)置相互活動套接的導(dǎo)向套筒32和導(dǎo)向柱45，并在兩者之間設(shè)置滾珠9，這樣設(shè)置能夠在為支撐板4豎向移動提供有效導(dǎo)向的同時，有效降低了摩擦阻力，從而使得支撐板4豎向移動更加靈活順暢，采用本實施例的結(jié)構(gòu)具有很好的實用性。本實施例中，所述驅(qū)動機構(gòu)包括可橫向移動的移動架5和帶動所述移動架5橫向移動的傳動絲桿6，所述傳動絲桿6與所述轉(zhuǎn)移車體1上的絲桿孔配合，其一端與所述移動架5可轉(zhuǎn)動連接，另一端設(shè)置有操作手柄7，所述支撐板4的下表面設(shè)置有若干受力凸塊43，所述受力凸塊43上設(shè)置有受力斜面44，所述移動架5上與各受力凸塊43對應(yīng)的位置設(shè)置有施力凸塊51，所述施力凸塊51上設(shè)置有適于與受力斜面44配合的施力斜面52。采用這種結(jié)構(gòu)，在通過操作手柄7使傳動絲桿6移動時，帶動移動架5移動，進而通過受力斜面44與施力斜面52相配合帶動支撐板4沿豎向移動，從而帶動支撐塊41豎向移動。進一步，所述轉(zhuǎn)移車體1上設(shè)置有適于對所述移動架5橫向移動范圍進行限定的限位槽10，當移動架5移動到與限位槽10一端相抵時，支撐板4移動至最高處，使支撐平面與定位板的上表面相平，當移動架5移動到與限位槽10另一端相抵時，支撐板4移動至最低處，使支撐平面低于定位板的上表面。再進一步，在所述移動架5遠離所述傳動絲桿6一端與限位槽10相應(yīng)槽壁之間設(shè)置有作用彈簧，作用彈簧能夠為移動架5提供一定的彈性作用力輔助移動架5移動。在所述限位槽10的槽壁上設(shè)置有用于安裝所述作用彈簧的安裝孔，從而利于作用彈簧安裝，在移動架5與限位槽10相應(yīng)側(cè)壁相抵時，作用彈簧完全被壓縮至安裝孔內(nèi)。為了使支撐板4能夠在失去驅(qū)動機構(gòu)束縛后快速下移，因此在所述支撐板4與所述定位板3之間安裝了復(fù)位彈簧8，復(fù)位彈簧8作用有助于支撐板4盡快復(fù)位。為了減小移動架5與轉(zhuǎn)移車體1之間的摩擦力，因此在所述所述移動架5上安裝有滾輪(圖中未示出)，所述轉(zhuǎn)移車體1上設(shè)置有沿所本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】
一種晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備，包括轉(zhuǎn)移車體(1)和設(shè)置在所述轉(zhuǎn)移車體(1)底部的車輪(2)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)移車體(1)上水平固定有定位板(3)，在所述定位板(3)上設(shè)置有多個與晶棒形狀相匹配的定位孔(31)，所述定位板(3)的下方水平設(shè)置有可豎向移動的支撐板(4)，所述支撐板(4)上表面與各定位孔(31)正對的位置設(shè)置有與所述定位孔(31)相匹配的支撐塊(41)，所述支撐塊(41)的上表面為適于放置晶棒的支撐平面(42)，在所述支撐板(4)的下方設(shè)置有適于帶動所述支撐板(4)上下移動的驅(qū)動機構(gòu)，所述支撐板(4)移動到最高處時所述支撐平面(42)與所述定位板(3)的上表面相平，所述支撐板(4)移動到最低處時所述支撐平面(42)低于所述定位板(3)的上表面；所述定位板(3)或/和所述支撐板(4)上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向套筒(32)，所述支撐板(4)或/和所述定位板(3)上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向柱(45)，所述導(dǎo)向柱(45)與所述導(dǎo)向套筒(32)活動套接，并在兩者之間設(shè)置減小摩擦力的滾珠(9)。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種晶棒轉(zhuǎn)移設(shè)備，包括轉(zhuǎn)移車體(1)和設(shè)置在所述轉(zhuǎn)移車體(1)底部的車輪(2)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)移車體(1)上水平固定有定位板(3)，在所述定位板(3)上設(shè)置有多個與晶棒形狀相匹配的定位孔(31)，所述定位板(3)的下方水平設(shè)置有可豎向移動的支撐板(4)，所述支撐板(4)上表面與各定位孔(31)正對的位置設(shè)置有與所述定位孔(31)相匹配的支撐塊(41)，所述支撐塊(41)的上表面為適于放置晶棒的支撐平面(42)，在所述支撐板(4)的下方設(shè)置有適于帶動所述支撐板(4)上下移動的驅(qū)動機構(gòu)，所述支撐板(4)移動到最高處時所述支撐平面(42)與所述定位板(3)的上表面相平，所述支撐板(4)移動到最低處時所述支撐平面(42)低于所述定位板(3)的上表面；所述定位板(3)或/和所述支撐板(4)上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向套筒(32)，所述支撐板(4)或/和所述定位板(3)上固定有豎向設(shè)置的導(dǎo)向柱(45)，所述導(dǎo)向柱(45)與所述導(dǎo)向套筒(...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：胡均海，
申請(專利權(quán))人：浙江恒都光電科技有限公司，
類型：新型
國別省市：浙江;33