一種分子泵機(jī)組預(yù)抽真空及分子泵檢漏儀集成系統(tǒng)技術(shù)方案

本發(fā)明專利技術(shù)公開了一種分子泵機(jī)組預(yù)抽真空及分子泵檢漏儀集成系統(tǒng)，包括真空室，真空室通過管道連接產(chǎn)品真空閥，產(chǎn)品真空閥通過管道連接高真空擋板閥，高真空擋板閥通過管道連接高真空電磁，高真空電磁通過管道連接分子泵，分子泵通過管道連接手動(dòng)擋板閥，手動(dòng)擋板閥通過管道連接電磁充氣閥，電磁充氣閥連接前級(jí)旋片泵，分子泵與所述手動(dòng)擋板閥之間的管道通過管道連接檢漏閥，檢漏閥通過管道連接檢漏儀；分子泵與手動(dòng)擋板閥之間的管道通過管道連接旁路預(yù)抽擋板閥，旁路預(yù)抽擋板閥通過管道連接高真空擋板閥與高真空電磁閥之間的管道。本發(fā)明專利技術(shù)解決了低溫壓力容器在制造過程中的抽空檢漏反應(yīng)時(shí)間過長(zhǎng)及夾層抽高真空過程中的能源消耗和工時(shí)浪費(fèi)的問題。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)涉及一種分子泵機(jī)組預(yù)抽真空及分子泵檢漏儀集成系統(tǒng)。
技術(shù)介紹
在當(dāng)前的低溫壓力容器制造過程中，內(nèi)容器及夾層檢漏普遍使用旋片式真空泵預(yù)抽空，當(dāng)?shù)竭_(dá)一定的真空度后系統(tǒng)接檢漏儀檢漏。在實(shí)際操作過程中操作者用分流法或者無分流法檢測(cè)。在分流法檢測(cè)過程中，因?yàn)樾瑱C(jī)械泵的密封性不好，容易造成誤檢。而無分流檢測(cè)法因?yàn)闄z漏儀本身的抽速非常的小，就造成了反應(yīng)時(shí)間過長(zhǎng)，浪費(fèi)了大量的工時(shí)。在低溫壓力容器夾層抽高真空的過程中，普遍使用油擴(kuò)散真空泵，油擴(kuò)散真空在高抽速的同時(shí)也在消耗大量的電能，并且啟動(dòng)和關(guān)閉時(shí)間過長(zhǎng)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
為了解決低溫壓力容器在制造過程中的抽空檢漏反應(yīng)時(shí)間過長(zhǎng)及夾層抽高真空過程中的能源消耗和工時(shí)浪費(fèi)問題，本專利技術(shù)的目的是提供一種分子泵機(jī)組預(yù)抽真空及分子泵檢漏儀集成系統(tǒng)。為解決上述技術(shù)問題，本專利技術(shù)采用如下技術(shù)方案：本專利技術(shù)一種分子泵機(jī)組預(yù)抽真空及分子泵檢漏儀集成系統(tǒng)，包括真空室，所述真空室通過管道連接產(chǎn)品真空閥，所述產(chǎn)品真空閥通過管道連接高真空擋板閥，所述高真空擋板閥通過管道連接高真空電磁，所述高真空電磁通過管道連接分子泵，所述分子泵通過管道連接手動(dòng)擋板閥，所述手動(dòng)擋板閥通過管道連接電磁充氣閥，所述電磁充氣閥連接前級(jí)旋片泵，所述分子泵與所述手動(dòng)擋板閥之間的管道通過管道連接檢漏閥，所述檢漏閥通過管道連接檢漏儀；所述分子泵與所述手動(dòng)擋板閥之間的管道通過管道連接旁路預(yù)抽擋板閥，所述旁路預(yù)抽擋板閥通過管道連接所述高真空擋板閥與所述高真空電磁閥之間的管道。進(jìn)一步的，所述產(chǎn)品真空閥與所述高真空擋板閥之間的管道上連接有第二電離規(guī)和第三電阻規(guī)。進(jìn)一步的，所述分子泵與所述手動(dòng)擋板閥之間的管道上安裝有第一電阻規(guī)。進(jìn)一步的，所述分子泵與所述高真空電磁閥之間的管道上安裝有第一電離規(guī)和第二電阻規(guī)。進(jìn)一步的，所述真空室還連接有真空規(guī)管。進(jìn)一步的，所述管道均為金屬波紋軟管。進(jìn)一步的，所述金屬波紋軟管的材質(zhì)為304不銹鋼。進(jìn)一步的，所述真空室與所述產(chǎn)品真空閥為法蘭連接，連接法蘭為CF50真空法蘭。進(jìn)一步的，所述分子泵為渦輪分子泵。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本專利技術(shù)的有益技術(shù)效果：使抽空檢漏及夾層抽高真空有效的集成到一個(gè)系統(tǒng)，在系統(tǒng)使用過程中可以提高檢漏的效率，并且比原有分子泵機(jī)組增加了旁路預(yù)抽系統(tǒng)，更好的保護(hù)了分子泵，延長(zhǎng)的分子泵的使用壽命。附圖說明下面結(jié)合附圖說明對(duì)本專利技術(shù)作進(jìn)一步說明。圖1為本專利技術(shù)的示意圖。附圖標(biāo)記說明：1-前級(jí)旋片泵；2-電磁充氣閥；3-手動(dòng)擋板閥；4-檢漏儀；5-檢漏閥；6-第一電阻規(guī)；7-分子泵；8-第二電阻規(guī)；9-第一電離規(guī)；10-高真空電磁閥；11-高真空擋板閥；12-第二電離規(guī)；13-第三電阻規(guī)；14-產(chǎn)品真空閥；15-真空室；16-真空規(guī)管；17-旁路預(yù)抽擋板閥。具體實(shí)施方式如圖1所示，一種分子泵機(jī)組預(yù)抽真空及分子泵檢漏儀集成系統(tǒng)，包括真空室15，所述真空室15通過管道連接產(chǎn)品真空閥14，所述產(chǎn)品真空閥14通過管道連接高真空擋板閥11，所述高真空擋板閥11通過管道連接高真空電磁10，所述高真空電磁10通過管道連接分子泵7，所述分子泵7通過管道連接手動(dòng)擋板閥3，所述手動(dòng)擋板閥3通過管道連接電磁充氣閥2，所述電磁充氣閥2連接前級(jí)旋片泵1，所述分子泵7與所述手動(dòng)擋板閥3之間的管道通過管道連接檢漏閥5，所述檢漏閥5通過管道連接檢漏儀4；所述分子泵7與所述手動(dòng)擋板閥3之間的管道通過管道連接旁路預(yù)抽擋板閥17，所述旁路預(yù)抽擋板閥17通過管道連接所述高真空擋板閥11與所述高真空電磁閥10之間的管道；所述產(chǎn)品真空閥14與所述高真空擋板閥11之間的管道上連接有第二電離規(guī)12和第三電阻規(guī)13，所述分子泵7與所述手動(dòng)擋板閥3之間的管道上安裝有第一電阻規(guī)6，所述分子泵7與所述高真空電磁閥10之間的管道上安裝有第一電離規(guī)9和第二電阻規(guī)8，所述真空室15還連接有真空規(guī)管16。其中各管道均為金屬波紋軟管，所述金屬波紋軟管的材質(zhì)為304不銹鋼；所述真空室15與所述產(chǎn)品真空閥14為法蘭連接，連接法蘭為CF50真空法蘭；所述分子泵為渦輪分子泵。此旁路預(yù)抽系統(tǒng)（旁路預(yù)抽擋板閥17）在真空室15沒有真空或者低真空的情況下使用，可以有效的避免在抽空過程中的渦流進(jìn)入分子泵7泵腔，因?yàn)闅怏w渦流的流動(dòng)狀態(tài)中可能附帶一些微小的雜質(zhì)，污染并損害分子泵。當(dāng)真空室15內(nèi)達(dá)到一定的真空度下，可以關(guān)閉旁路預(yù)抽系統(tǒng)（旁路預(yù)抽擋板閥17），打開分子泵7主抽空系統(tǒng)，此時(shí)氣體在真空室15以及真空管道、泵腔內(nèi)是過度流狀態(tài)，可以啟動(dòng)分子泵抽真空。在渦輪分子泵7和前級(jí)機(jī)械泵（前級(jí)旋片泵1）之間增加一個(gè)檢漏閥5。當(dāng)真空室15內(nèi)真空到達(dá)檢漏的真空時(shí)，檢漏儀4可以直接接到檢漏閥門上，在檢漏過程中可以關(guān)閉前級(jí)機(jī)械泵的電磁充氣閥2，此時(shí)檢漏在整個(gè)系統(tǒng)中充當(dāng)前級(jí)機(jī)械泵的作用，檢漏儀4前面是大抽速的渦輪分子泵，此時(shí)檢漏系統(tǒng)的反應(yīng)時(shí)間將比直接中檢漏儀無分流檢測(cè)大大縮短。并且在檢漏結(jié)束后，可以不用關(guān)閉分子本主泵，直接關(guān)閉檢漏閥5即可。實(shí)現(xiàn)抽空的連續(xù)性，也能夠保證真空系統(tǒng)管路不在檢漏完成后重新連接，保證了系統(tǒng)管路的可靠性，提高的抽高真空以及檢漏的效率。本專利技術(shù)的具體操作步驟：按如圖1所示連接好的真空系統(tǒng)，開啟真空泵機(jī)組中的前級(jí)旋片泵1，依次打開手動(dòng)擋板閥3、旁路預(yù)抽擋板閥17、高真空擋板閥11，緩慢多次開啟產(chǎn)品真空閥14，當(dāng)電離規(guī)12和電阻規(guī)13（復(fù)合式真空計(jì)）讀數(shù)優(yōu)于10pa的時(shí)候，關(guān)閉旁路預(yù)抽擋板閥17，開啟高真空電磁閥10和分子泵7，此時(shí)系統(tǒng)內(nèi)的氣體流動(dòng)狀態(tài)為過度流，當(dāng)系統(tǒng)真空優(yōu)于0.1pa，進(jìn)入高真空階段，此時(shí)可在檢漏閥5處連接檢漏儀4，在檢漏的同時(shí)關(guān)閉手動(dòng)擋板閥3，開啟檢漏閥5，進(jìn)行檢漏。如果真空室15有大的漏點(diǎn)，可以微啟手動(dòng)擋板閥3，進(jìn)行分流法檢測(cè)。當(dāng)檢漏完成之后，可以直接關(guān)閉檢漏閥5，打開手動(dòng)擋板閥3進(jìn)行抽高真空作業(yè)。當(dāng)真空度達(dá)到一定的數(shù)值，可以直接關(guān)閉高真空擋板閥11，按GB/T18443.4-2010測(cè)量真空室的漏放氣速率。本專利技術(shù)使抽空檢漏及夾層抽高真空有效的集成到一個(gè)系統(tǒng)，在系統(tǒng)使用過程中可以提高檢漏的效率，并且比原有分子泵機(jī)組增加了旁路預(yù)抽系統(tǒng)，更好的保護(hù)了分子泵，延長(zhǎng)的分子泵的使用壽命。此系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)檢漏，抽高真空，測(cè)漏放氣速率集成一體快速化。以上所述的實(shí)施例僅是對(duì)本專利技術(shù)的優(yōu)選方式進(jìn)行描述，并非對(duì)本專利技術(shù)的范圍進(jìn)行限定，在不脫離本專利技術(shù)設(shè)計(jì)精神的前提下，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對(duì)本專利技術(shù)的技術(shù)方案做出的各種變形和改進(jìn)，均應(yīng)落入本專利技術(shù)權(quán)利要求書確定的保護(hù)范圍內(nèi)。本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種分子泵機(jī)組預(yù)抽真空及分子泵檢漏儀集成系統(tǒng)，其特征在于：包括真空室，所述真空室通過管道連接產(chǎn)品真空閥，所述產(chǎn)品真空閥通過管道連接高真空擋板閥，所述高真空擋板閥通過管道連接高真空電磁，所述高真空電磁通過管道連接分子泵，所述分子泵通過管道連接手動(dòng)擋板閥，所述手動(dòng)擋板閥通過管道連接電磁充氣閥，所述電磁充氣閥連接前級(jí)旋片泵，所述分子泵與所述手動(dòng)擋板閥之間的管道通過管道連接檢漏閥，所述檢漏閥通過管道連接檢漏儀；所述分子泵與所述手動(dòng)擋板閥之間的管道通過管道連接旁路預(yù)抽擋板閥，所述旁路預(yù)抽擋板閥通過管道連接所述高真空擋板閥與所述高真空電磁閥之間的管道。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種分子泵機(jī)組預(yù)抽真空及分子泵檢漏儀集成系統(tǒng)，其特征在于：包括真空室，所述真空室通過管道連接產(chǎn)品真空閥，所述產(chǎn)品真空閥通過管道連接高真空擋板閥，所述高真空擋板閥通過管道連接高真空電磁，所述高真空電磁通過管道連接分子泵，所述分子泵通過管道連接手動(dòng)擋板閥，所述手動(dòng)擋板閥通過管道連接電磁充氣閥，所述電磁充氣閥連接前級(jí)旋片泵，所述分子泵與所述手動(dòng)擋板閥之間的管道通過管道連接檢漏閥，所述檢漏閥通過管道連接檢漏儀；所述分子泵與所述手動(dòng)擋板閥之間的管道通過管道連接旁路預(yù)抽擋板閥，所述旁路預(yù)抽擋板閥通過管道連接所述高真空擋板閥與所述高真空電磁閥之間的管道。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分子泵機(jī)組預(yù)抽真空及分子泵檢漏儀集成系統(tǒng)，其特征在于：所述產(chǎn)品真空閥與所述高真空擋板閥之間的管道上連接有第二電離規(guī)和第三電阻規(guī)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分子泵機(jī)組預(yù)抽真空及分子泵檢漏儀集成系統(tǒng)，其特征在于：所述分子泵與所述手動(dòng)擋...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：李金星，王林爽，王明晰，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：河北昌驊專用汽車有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：河北;13