盤式分子泵制造技術

本發明專利技術提供一種盤式分子泵，由動圓盤、靜圓盤、轉軸和泵體等組成，其特點是在相當厚度的動圓盤和靜圓盤上設置徑向矩形或梯形氣道，使圓盤兩邊的氣體分子互通，氣道的兩個徑向側面與圓盤水平面間的傾斜角各自可在0°至180°之間改變。動圓盤和靜圓盤上氣道的兩個徑向側面中，作為主要傳輸氣體分子作用的一個側面，兩者的傾斜方向是互為相反的，相應的另一個側面起著配合傳輸氣體分子的作用。由多級動、靜圓盤組合的抽氣單元，運行時產生氣體分子的拖動、傳輸和壓縮作用，使氣體分子作定向運動，從而達到抽氣目的。本發明專利技術具有結構簡單、加工制作方便、機械強度大，能承受大流量氣體沖擊的特點，在中、高真空領域有著廣泛的應用前景。

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種包括泵體〔1〕、轉軸〔2〕、鼠籠式聚氣導流裝置〔4〕、動圓盤〔5〕、靜圓盤〔6〕、氣體吸入口〔7〕、氣體排出口〔8〕的盤式分子泵，其特征在于：a.所述的動圓盤〔5〕固定在轉軸〔2〕上，b.所述的靜圓盤〔6〕的外緣固定在泵體〔1〕上，c.所述的動圓盤〔5〕、靜圓盤〔6〕按次序交替緊密排列，其最后一個是動圓盤。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：李晨，胡忠浩，
申請(專利權)人：李晨，
類型：發明
國別省市：