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本發明提供一種盤式分子泵，由動圓盤、靜圓盤、轉軸和泵體等組成，其特點是在相當厚度的動圓盤和靜圓盤上設置徑向矩形或梯形氣道，使圓盤兩邊的氣體分子互通，氣道的兩個徑向側面與圓盤水平面間的傾斜角各自可在0°至180°之間改變。動圓盤和靜圓盤上氣道...
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