提供一種適合于實現耐久性、泵生產階段中的連通開口部的加工性、及排氣性能的提高的排氣泵。排氣泵具備筒形旋轉部件（6）、筒形旋轉部件（6）的支承機構、旋轉驅動筒形旋轉部件（6）的驅動機構、對包圍筒形旋轉部件（6）的外周成包圍之狀而配置的外側筒形固定部件、被筒形旋轉部件（6）的內周成被包圍之狀而配置的內側筒形固定部件、設在筒形旋轉部件（6）與外側筒形固定部件之間的螺旋狀的外側螺紋槽排氣通路、設在筒形旋轉部件（6）與內側筒形固定部件之間的螺旋狀的內側螺紋槽排氣通路、和開設在筒形旋轉部件（6）上、將存在于筒形旋轉部件（6）的外周附近的氣體的一部分引導進上述內側螺紋槽排氣通路的連通開口部（H）；設在比連通開口部（H）還要上游的筒形旋轉部件（6）的外周上的最下段的旋轉翼（13E）與連通開口部（H）上游端之間的間隙是在該間隙中用來開設連通開口部（H）的工具能夠插入的尺寸以上。
【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及作為半導體制造裝置、平板顯示器制造裝置、太陽能面板制造裝置中的處理腔室、其他密閉腔室的氣體排氣機構等使用的排氣泵，特別涉及能夠實現耐久性、泵生產階段中的連通開口部的加工性及排氣性能的提高的排氣泵。
技術介紹
在利用螺紋槽將氣體排氣的形式的排氣泵中，作為不改變該泵整體的大小而使排氣性能提高的I個方法，已知有例如在專利文獻I中公開的方法。該方法如在該文獻I的圖I中記載那樣，在筒形旋轉部件(4a)的外周及內周上設置螺紋槽(30、31)。由此，在筒形旋轉部件(4a)與包圍其外周的外側筒形固定部件(33)之間，形成螺旋狀的外側螺紋槽排氣通路，并且在筒形旋轉部件(4a)與由其內周包圍的內側筒形固定部件(7)之間形成螺旋狀的內側螺紋槽排氣通路，由這些內外的螺紋槽排氣通路并行將氣體分子排氣。但是，在采用上述方法的排氣泵中，為了向內側螺紋槽排氣通路引導氣體分子，采用在筒形旋轉部件(4a)的連結環部(無附圖標記)上開設連通開口部(4b)的結構。因此，當通過筒形旋轉部件(4a)繞其軸心旋轉時的離心力或筒形旋轉部件(4a)的熱膨脹等而筒形旋轉部件(4a)變形時，在連通開口部(4b)的緣部上發生應力集中，轉子(4)容易從形成有連通開口部(4b)的連結環部(無附圖標記)附近損壞等，有耐久性的問題。此外，根據采用上述方法的排氣泵，如專利文獻I的圖I及圖2所示那樣，在連通開口部(4b)的上方存在旋轉翼(5)。因此，必須從筒形旋轉部件(4a)的下部開口向其內周側插入工具而開設加工連通開口部(4b)(參照本申請圖2 (a)的工具T4的加工)，所以需要尺寸較長的工具，如果工具的支承系統的剛性較弱，則在連通開口部(4b)的開設加工時在工具上發生晃動等，在連通開口部(4b)的加工性上也有問題。進而，通過上述方法的采用，排氣泵的排氣性能提高，但隨著近年來的半導體及平板、太陽能面板等的大型化，生產它們的密閉腔室也成為大型，在密閉腔室內使用的反應性氣體等的氣體量也增加，所以對于作為將這樣的氣體排氣的機構的排氣泵要求進一步的排氣性能的提聞。另外，在以上的說明中，括號內的附圖標記是在專利文獻I中使用的附圖標記。專利文獻I :實開平5 - 38389號公報。
技術實現思路
本專利技術是為了解決上述問題及要求而做出的，其目的是提供一種適合于實現耐久性、泵生產階段中的連通開口部的加工性及排氣性能的提高的排氣泵。為了達到上述目的，第I本專利技術是一種排氣泵，具備筒形旋轉部件；支承機構，將上述筒形旋轉部件可繞其軸心旋轉地支承；驅動機構，將上述筒形旋轉部件旋轉驅動；夕卜側筒形固定部件，對上述筒形旋轉部件的外周成包圍之狀而配置；內側筒形固定部件，被上述筒形旋轉部件的內周成被包圍之狀而配置；螺旋狀的外側螺紋槽排氣通路，設在上述筒形旋轉部件與上述外側筒形固定部件之間；螺旋狀的內側螺紋槽排氣通路，設在上述筒形旋轉部件與上述內側筒形固定部件之間；連通開口部，開設在上述筒形旋轉部件上，將存在于該筒形旋轉部件的外周附近的氣體的一部分引導進上述內側螺紋槽排氣通路；其特征在于，在比上述連通開口部還要上游的上述筒形旋轉部件的外周上以多段設置的多個旋轉翼中的最下段的旋轉翼與上述連通開口部上游端之間的間隙是在該間隙中用來開設上述連通開口部的工具能夠插入的尺寸以上。在上述第I本專利技術中，也可以是，通過比上述最下段的旋轉翼還要下游的上述筒形旋轉部件是在形成有上述連通開口部的位置處向遠離上述最下段的旋轉翼的方向而傾斜的向下梯度的錐形狀，上述最下段的旋轉翼與上述連通開口部上游端之間的間隙使其成為上述尺寸以上。此外，第I本專利技術是一種排氣泵，具備筒形旋轉部件；支承機構，將上述筒形旋轉部件可繞其軸心旋轉地支承；驅動機構，將上述筒形旋轉部件旋轉驅動；外側筒形固定部件，對上述筒形旋轉部件的外周成包圍之狀而配置；內側筒形固定部件，被上述筒形旋轉部 件的內周成被包圍之狀而配置；螺旋狀的外側螺紋槽排氣通路，設在上述筒形旋轉部件與上述外側筒形固定部件之間；螺旋狀的內側螺紋槽排氣通路，設在上述筒形旋轉部件與上述內側筒形固定部件之間；連通開口部，開設在上述筒形旋轉部件上，將存在于該筒形旋轉部件的外周附近的氣體的一部分引導進上述內側螺紋槽排氣通路；其特征在于，在比上述連通開口部還要上游的上述筒形旋轉部件的外周上以多段設置的多個旋轉翼中的最下段的旋轉翼與相鄰于該旋轉翼的旋轉翼之間的開口區域是在該開口區域中用來開設上述連通開口部的工具能夠插入的尺寸以上。第2本專利技術是一種排氣泵，具備筒形旋轉部件；支承機構，將上述筒形旋轉部件可繞其軸心旋轉地支承；驅動機構，將上述筒形旋轉部件旋轉驅動；外側筒形固定部件，對上述筒形旋轉部件的外周成包圍之狀而配置；內側筒形固定部件，被上述筒形旋轉部件的內周成被包圍之狀而配置；螺旋狀的外側螺紋槽排氣通路，設在上述筒形旋轉部件與上述外側筒形固定部件之間；螺旋狀的內側螺紋槽排氣通路，設在上述筒形旋轉部件與上述內側筒形固定部件之間；連通開口部，開設在上述筒形旋轉部件上，將存在于該筒形旋轉部件的外周附近的氣體的一部分引導進上述內側螺紋槽排氣通路；其特征在于，上述多個連通開口部的位置相對于排氣泵的泵軸心點對稱地配置。在上述第2本專利技術中，在上述“筒形旋轉部件”中，包括由直徑一樣的筒體那樣的形狀構成的結構、以及由將直徑不同的多個筒體在其軸向上連結那樣的形狀構成的結構。第3本專利技術是一種排氣泵，其特征在于，具備筒形旋轉部件；支承機構，將上述筒形旋轉部件可繞其軸心旋轉地支承；驅動機構，將上述筒形旋轉部件旋轉驅動；外側筒形固定部件，對上述筒形旋轉部件的外周成包圍之狀而配置；內側筒形固定部件，被上述筒形旋轉部件的內周成被包圍之狀而配置；螺旋狀的外側螺紋槽排氣通路，設在上述筒形旋轉部件與上述外側筒形固定部件之間；螺旋狀的內側螺紋槽排氣通路，設在上述筒形旋轉部件與上述內側筒形固定部件之間；連通開口部，開設在上述筒形旋轉部件上，將存在于該筒形旋轉部件的外周附近的氣體的一部分引導進上述內側螺紋槽排氣通路；加強機構，設在上述筒形旋轉部件上，將上述連通開口部周邊加強。在上述第3本專利技術中，在上述“筒形旋轉部件”中，包括由直徑一樣的筒體那樣的形狀構成的結構、以及由將直徑不同的多個筒體在其軸向上連結那樣的形狀構成的結構。在第3本專利技術中，也可以是，上述加強機構由第I加強構造以及第2加強構造中的某一個加強構造或兩者的加強構造來構成，所述第I加強構造是通過在上述連通開口部周邊的筒形旋轉部件外周上安裝加強部件來減少該連通開口部周邊處的筒形旋轉部件的變形之構造，所述第2加強構造是通過在上述連通開口部周邊的轉子6內周下端上形成伸出部來減少該連通開口部周邊處的筒形旋轉部件的變形之構造。上述第I加強構造可以采用將由高強度材料構成的環作為加強部件安裝到上述連通開口部周邊的筒形旋轉部件外周上來構成的結構。上述環也可以由與上述筒形旋轉部件的形成材料相比線膨脹系數較低、并且彈性系數較大的材料形成。第4本專利技術是一種排氣泵，具備筒形旋轉部件；支承機構，將上述筒形旋轉部件 可繞其軸心旋轉地支承；驅動機構，將上述筒形旋轉部件旋轉驅動；外側筒形固定部件，對上述筒形旋轉部件的外周成包圍之狀而配置；內側筒形固定部件，被上述筒形旋轉部件的內周成被包圍之狀而配置；螺旋本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】2010.09.28 JP 2010-2169091.一種排氣泵,具備 筒形旋轉部件； 支承機構，將上述筒形旋轉部件可繞其軸心旋轉地支承； 驅動機構，將上述筒形旋轉部件旋轉驅動； 外側筒形固定部件，對上述筒形旋轉部件的外周成包圍之狀而配置； 內側筒形固定部件，被上述筒形旋轉部件的內周成被包圍之狀而配置； 螺旋狀的外側螺紋槽排氣通路，設在上述筒形旋轉部件與上述外側筒形固定部件之間； 螺旋狀的內側螺紋槽排氣通路，設在上述筒形旋轉部件與上述內側筒形固定部件之間； 連通開口部，開設在上述筒形旋轉部件上，將存在于該筒形旋轉部件的外周附近的氣體的一部分引導進上述內側螺紋槽排氣通路； 其特征在于， 在比上述連通開口部還要上游的上述筒形旋轉部件的外周上以多段設置的多個旋轉翼中的最下段的旋轉翼與上述連通開口部上游端之間的間隙是在該間隙中用來開設上述連通開口部的工具能夠插入的尺寸以上。2.如權利要求I所述的排氣泵，其特征在于， 通過比上述最下段的旋轉翼還要下游的上述筒形旋轉部件是在形成有上述連通開口部的位置處向遠離上述最下段的旋轉翼的方向而傾斜的向下梯度的錐形狀，上述最下段的旋轉翼與上述連通開口部上游端之間的間隙使其成為上述尺寸以上。3.—種排氣泵,具備 筒形旋轉部件； 支承機構，將上述筒形旋轉部件可繞其軸心旋轉地支承； 驅動機構，將上述筒形旋轉部件旋轉驅動； 外側筒形固定部件，對上述筒形旋轉部件的外周成包圍之狀而配置； 內側筒形固定部件，被上述筒形旋轉部件的內周成被包圍之狀而配置； 螺旋狀的外側螺紋槽排氣通路，設在上述筒形旋轉部件與上述外側筒形固定部件之間； 螺旋狀的內側螺紋槽排氣通路，設在上述筒形旋轉部件與上述內側筒形固定部件之間； 連通開口部，開設在上述筒形旋轉部件上，將存在于該筒形旋轉部件的外周附近的氣體的一部分引導進上述內側螺紋槽排氣通路； 其特征在于， 在比上述連通開口部還要上游的上述筒形旋轉部件的外周上以多段設置的多個旋轉翼中的最下段的旋轉翼與相鄰于該旋轉翼的旋轉翼之間的開口區域是在該開口區域中用來開設上述連通開口部的工具能夠插入的尺寸以上。4.一種排氣泵,具備 筒形旋轉部件； 支承機構，將上述筒形旋轉部件可繞其軸心旋轉地支承；驅動機構，將上述筒形旋轉部件旋轉驅動； 外側筒形固定部件，對上述筒形旋轉部件的外周成包圍之狀而配置； 內側筒形固定部件，被上述筒形旋轉部件的內周成被包圍之狀而配置； 螺旋狀的外側螺紋槽排氣通路，設在上述筒形旋轉部件與上述外側筒形固定部件之間； 螺旋狀的內側螺紋槽排...
【專利技術屬性】
技術研發人員：大立好伸，前島靖，高阿田勉，
申請(專利權)人：埃地沃茲日本有限公司，
類型：
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。