排氣泵的堆積物檢測裝置和具備該裝置的排氣泵制造方法及圖紙

本發明專利技術提供一種堆積物檢測裝置和具備該裝置的排氣泵，其不管處理中使用的氣體的種類、流量如何，而在什么樣的處理中都能夠更正確地檢測該處理中使用的排氣泵內的堆積物（泵內堆積物），且進行警告。排氣泵（P）的泵控制裝置（50）包含檢測泵內堆積物的堆積物檢測裝置，堆積物檢測裝置具有執行初始處理的功能以及執行上述初始處理之后的事后處理的功能，作為上述初始處理，指的是對排氣泵的旋轉體進行旋轉驅動的電動機的電流值進行讀入處理和基于讀入的電動機電流值求出電動機電流初始值并進行存儲處理，作為上述初始處理之后的事后處理，指的是對上述電動機的電流值進行讀入處理、基于讀入的電動機電流值求出電動機電流當前值的處理、以及求出電動機電流當前值相對于電動機電流初始值的變化量的處理，堆積物檢測裝置基于該變化量來檢測泵內堆積物。

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】

【技術保護點】

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】...

【專利技術屬性】
技術研發人員：榎本良弘，
申請(專利權)人：埃地沃茲日本有限公司，
類型：發明
國別省市：