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本發明提供一種堆積物檢測裝置和具備該裝置的排氣泵，其不管處理中使用的氣體的種類、流量如何，而在什么樣的處理中都能夠更正確地檢測該處理中使用的排氣泵內的堆積物（泵內堆積物），且進行警告。排氣泵（P）的泵控制裝置（50）包含檢測泵內堆積物的堆積...
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