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    下載排氣泵的技術資料

    文檔序號:8109117

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    提供一種適合于實現耐久性、泵生產階段中的連通開口部的加工性、及排氣性能的提高的排氣泵。排氣泵具備筒形旋轉部件(6)、筒形旋轉部件(6)的支承機構、旋轉驅動筒形旋轉部件(6)的驅動機構、對包圍筒形旋轉部件(6)的外周成包圍之狀而配置的外側筒形...
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