一體型渦輪分子泵制造技術

本發(fā)明專利技術是有關于一種一體型渦輪分子泵，可一面防止灰塵等侵入至控制單元內，一面可以通過送風風扇來有效地對電子零件進行冷卻。泵單元包括設置有馬達的馬達定子的泵基座，控制單元包括盒體(基座板及外殼)，該盒體是以與設置有馬達定子的泵基座之間形成間隙區(qū)域的方式，固定于泵基座的底面。安裝有電子零件的基板固定于與間隙區(qū)域相向的盒體壁部，即基座板的內周面。接著，利用風扇來將冷卻風輸送至間隙區(qū)域，藉此，電子零件所產生的熱有效地從與間隙區(qū)域相向的基座板的部分散發(fā)至盒體外。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及一種將控制單元(control unit) 一體地固定于泵單元(pump unit)而成的一體型潤輪分子泵(turbo molecular pump)。
技術介紹
作為半導體制造裝置等所使用的真空泵，渦輪分子泵已為人所知，該渦輪分子泵利用馬達(motor)來對形成有旋轉翼的轉子(rotor)進行旋轉驅動，使旋轉翼相對于固定翼而高速旋轉，藉此來將氣體排出。在此種渦輪分子泵中，將泵本體與控制裝置作成一體，通過冷卻水來冷卻泵本體與控制裝置的渦輪分子泵已為人所知(例如參照專利文獻I)。另外，在專利文獻2所記載的渦輪分子泵，已記載了通過風扇(fan)來冷卻一體化的泵本體與控制裝置。[先前技術文獻][專利文獻][專利文獻I]日本專利特開平11-173293號公報[專利文獻2]日本專利特開平10-131887號公報然而，在如離子注入(ion implantation)裝置之類的使用高電壓的半導體制造裝置，恐怕存在漏水等可能性，在安全性方面，如專利文獻I所記載的使用冷卻水的真空泵并不優(yōu)選。另一方面，在專利文獻2所記載的渦輪分子泵為如下的構成，即，將配置有電子控制單元的殼體(housing)固定于泵本體下部,通過安裝于殼體的風扇，冷卻電子控制單元及泵本體的下部。然而，由于采用從泵周圍環(huán)境吸入空氣至裝置內的構造，因此，恐怕存在周圍環(huán)境的灰塵等容易進入至殼體內而導致電子控制單元發(fā)生故障的可能性。
技術實現思路
本專利技術的目的在于，克服現有的渦輪分子泵存在的缺陷，而提供一種新型結構的一體型渦輪分子泵，所要解決的技術問題是使其可一面防止灰塵等侵入至控制單元內，一面通過送風風扇來有效地冷卻電子零件，非常適于實用。本專利技術的目的及解決其技術問題是采用以下技術方案來實現的。為達到上述目的，依據本專利技術的第一專利技術是一種電源一體型渦輪分子泵，該電源一體型渦輪分子泵包括:泵單元，通過馬達來使形成有旋轉翼的轉子旋轉，從而進行真空排氣；以及控制單元，固定于泵單元，對該泵單元進行驅動控制。所述電源一體型渦輪分子泵的特征在于:泵單元包括設置有馬達定子的泵基座(pump base)。控制單元包括盒體(case),以與泵基座之間形成間隙區(qū)域的方式，固定于所述泵基座的底面；以及電子零件，收納于盒體，并且固定于與間隙區(qū)域相向的盒體壁部的內周面。電源一體型渦輪分子泵還包括將冷卻風輸送至間隙區(qū)域的送風風扇。根據第一專利技術所述的一體型渦輪分子泵，在第二專利技術中，在與間隙區(qū)域相向的盒體壁部的間隙區(qū)域側的面上，設置有散熱器。根據第二專利技術所述的一體型渦輪分子泵，在第三專利技術中，散熱器包括多個散熱片(radiation fin),所述多個散熱片形成于盒體壁部的間隙區(qū)域側的面。根據第一專利技術至第三專利技術中任一項所述的一體型渦輪分子泵，在第四專利技術中，所述送風風扇除了向間隙區(qū)域輸送冷卻風之外，還向泵基座輸送冷卻風。本專利技術與現有技術相比具有明顯的優(yōu)點和有益效果。借由上述技術方案，本專利技術一體型渦輪分子泵至少具有下列優(yōu)點及有益效果:根據本專利技術，可一面防止灰塵等侵入至控制單元內，一面通過送風風扇來有效地冷卻電子零件。綜上所述，本專利技術是有關于一種一體型渦輪分子泵，可一面防止灰塵等侵入至控制單元內，一面可以通過送風風扇來有效地對電子零件進行冷卻。泵單元包括設置有馬達的馬達定子的泵基座，控制單元包括盒體(基座板及外殼)，該盒體是以與設置有馬達定子的泵基座之間形成間隙區(qū)域的方式，固定于泵基座的底面。安裝有電子零件的基板固定于與間隙區(qū)域相向的盒體壁部，即基座板的內周面。接著，利用風扇來將冷卻風輸送至間隙區(qū)域，藉此，電子零件所產生的熱有效地從與間隙區(qū)域相向的基座板的部分散發(fā)至盒體外。上述說明僅是本專利技術技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本專利技術的技術手段，而可依照說明書的內容予以實施，并且為了讓本專利技術的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細說明如下。附圖說明圖1是表示本實施方式的一體型渦輪分子泵的概略構成的圖。圖2是表示利用樹脂305來對電子零件進行鑄模時的控制單元30的圖。圖3 (A)、圖3 (B)是表示本實施方式的變形例的圖。圖4是表示使用凹狀的基座構件38時的控制單元30的圖。1:渦輪分子泵2:轉子3:軸4:泵基座6:馬達8:旋轉翼9:固定翼10、31:墊片11:螺紋定子12:圓筒部13:泵外殼13a:吸氣口20:泵單元26:排氣口27,28:機械軸承30:控制單元32:基座板33:外殼34:風扇35:外罩37a、37b:連接器38:基座構件39:板40:螺栓41:轉子盤42:螺母構件43:背蓋51、52:電磁鐵71:徑向位移傳感器/位移傳感器 72:軸向位移傳感器/位移傳感器301、303:基板302:支柱304:電子零件305:樹脂321:散熱片322:間隙S:間隙區(qū)域具體實施例方式以下，參照圖來對用以實施本專利技術的方式進行說明。圖1是表示本實施方式的一體型渦輪分子泵的概略構成圖。渦輪分子泵I是磁軸承式的渦輪分子泵，如圖1所示，泵單元20與控制單元30由螺栓(bolt)固定。首先，對泵單元20進行說明。安裝有轉子2的軸(shaft) 3是通過設置于泵基座4的電磁鐵51、52而非接觸地受到支撐。通過設置于泵基座4的徑向位移傳感器(radialdisplacement sensor) 71 及軸向位移傳感器(axial displacement sensor) 72,對軸 3 的上浮位置進行檢測。利用構成徑向磁軸承的電磁鐵51、構成軸向磁軸承的電磁鐵52、以及位移傳感器71、72來構成五軸控制型磁軸承。再者，在磁軸承未動作的狀態(tài)下，軸3由機械軸承(mechanical bearing) 27、28 支撐。在軸3的下端設置有圓形的轉子盤(rotor disk)41,且電磁鐵52是設置成以上下地包夾該轉子盤41的方式。而且，通過利用電磁鐵52吸引轉子盤41，軸3向軸向方向上浮。轉子盤41通過螺母(nut)構件42而固定于軸3的下端部。背蓋43通過螺栓而固定于泵基座4的底面。背蓋43與泵基座 4的間隙由O形環(huán)密封。在背蓋43設置有連接器(connector) 37a,該連接器37a與控制單元30的連接器37b連接。在轉子2上，沿著旋轉軸方向而形成有多段的旋轉翼8。在上下并排的旋轉翼8之間，分別配置有固定翼9。通過這些旋轉翼8與固定翼9來構成泵單元20的渦輪翼段。各固定翼9是以上下地被夾持的方式，由墊片(spacer) 10保持。墊片10具有保持固定翼9的功能，以及將固定翼9之間的間隙(gap)維持于規(guī)定間隔的功能。而且，在固定翼9的后段(圖示的下方)設置有構成拖曳泵(drag pump)段的螺紋定子(screw stator) 11,在螺紋定子11的內周面與轉子2的圓筒部12之間形成有間隙。轉子2以及通過墊片10保持的固定翼9被收納在形成有吸氣口 13a的泵外殼(pumpcasing) 13內。若一面通過電磁鐵51、52來非接觸地支撐安裝有轉子2的軸3，一面通過馬達6來進行旋轉驅動，則吸氣口 13a側的氣體會排向背壓側，排向背壓側的氣體通過連接于排氣口 26的輔助泵而被排出。控制單元30通過多個螺栓40而固定于構成泵單元20的泵基座4的下部。在對泵單元2本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種一體型渦輪分子泵，其為電源一體型渦輪分子泵，所述電源一體型渦輪分子泵包括：泵單元，藉由馬達來使形成有旋轉翼的轉子旋轉，從而進行真空排氣；以及控制單元，固定于所述泵單元，對所述泵單元進行驅動控制，所述一體型渦輪分子泵的特征在于：所述泵單元包括設置有馬達定子的泵基座，所述控制單元包括：盒體，以與所述泵基座之間形成間隙區(qū)域的方式，固定于所述泵基座的底面；以及電子零件，收納于所述盒體，并且固定于與所述間隙區(qū)域相向的盒體壁部的內周面，且包括送風風扇，將冷卻風輸送至所述間隙區(qū)域的。

【技術特征摘要】
2011.11.08 JP 2011-2444441.一種一體型渦輪分子泵，其為電源一體型渦輪分子泵，所述電源一體型渦輪分子泵包括:泵單元，藉由馬達來使形成有旋轉翼的轉子旋轉，從而進行真空排氣；以及控制單元，固定于所述泵單元，對所述泵單元進行驅動控制，所述一體型渦輪分子泵的特征在于: 所述泵單元包括設置有馬達定子的泵基座， 所述控制單元包括: 盒體，以與所述泵基座之間形成間隙區(qū)域的方式，固定于所述泵基座的底面；以及 電子零件，收納于...

【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：芝守，
申請(專利權)人：株式會社島津制作所，
類型：發(fā)明
國別省市：