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本發(fā)明是有關(guān)于一種一體型渦輪分子泵，可一面防止灰塵等侵入至控制單元內(nèi)，一面可以通過送風(fēng)風(fēng)扇來有效地對電子零件進(jìn)行冷卻。泵單元包括設(shè)置有馬達(dá)的馬達(dá)定子的泵基座，控制單元包括盒體(基座板及外殼)，該盒體是以與設(shè)置有馬達(dá)定子的泵基座之間形成間隙區(qū)...該專利屬于株式會社島津制作所所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過株式會社島津制作所授權(quán)不得商用。