薄膜沉積用掩膜拉伸焊接裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術的一個實施例公開一種薄膜沉積用掩膜拉伸焊接裝置，其在框架上拉伸并焊接掩膜，所述薄膜沉積用掩膜拉伸焊接裝置包括：拉伸部，將掩膜沿一個方向拉伸；加壓部，具備外殼、和在外殼的一個面上以朝向掩膜的方向凸出而對掩膜進行加壓的多個刷子；以及激光焊接部，焊接掩膜和框架。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術的實施例涉及薄膜沉積用掩膜拉伸焊接裝置。
技術介紹
通常，具有薄膜晶體管(thinfilmtransistor，FTF)的有機發光顯示裝置(organiclightemittingdisplayapparatus)可用于如智能手機、個人平板電腦、筆記本電腦、數碼相機、攝錄一體機(camcorder)、便攜式信息終端這樣的移動裝置，或者如臺式電腦、電視機、戶外廣告牌這樣的電子裝置中。有機發光顯示裝置的薄膜能夠通過沉積工序形成。使具有與要在基板上形成的薄膜相同的圖形的沉積用掩膜位于基板上，此時，使薄膜的原材料沉積到基板上，由此形成圖形化的薄膜。沉積用掩膜一般在邊框形狀的框架中被拉伸，其兩端通過激光焊接與框架結合。在這樣的激光焊接工序中，可準備對沉積用掩膜的兩端進行加壓使得沉積用掩膜與框架相互緊貼的加壓構件。前述的
技術介紹
是專利技術人為了導出本專利技術的實施例而原本就擁有或者在導出過程中學到的技術信息，并不能說是在本專利技術的實施例的申請之前對于一般公眾所公開的公知技術。
技術實現思路
但是，若用加壓構件對沉積用掩膜的兩端進行加壓，會局部地導致掩膜和框架之間的間隙變寬，因而存在在掩膜和框架的焊接工序時發生焊接不良的問題。因此，本專利技術的實施例提供用于解決上述問題的薄膜沉積用掩膜拉伸焊接裝置。本專利技術的一個實施例公開一種薄膜沉積用掩膜拉伸焊接裝置，其在框架上拉伸并焊接掩膜，包括：拉伸部，將掩膜沿一個方向拉伸；加壓部，具備外殼、和在外殼的一個面上以朝向掩膜的方向凸出而對掩膜進行加壓的多個刷子；以及激光焊接部，焊接掩膜和框架。在本實施例中，拉伸部可以是拉伸掩膜的兩端部而固定到框架上的掩膜拉伸夾具。在本實施例中，加壓部對位于框架上的掩膜進行加壓，從而使框架和掩膜相對的面彼此緊貼。在本實施例中，多個刷子的截面可以是圓、橢圓、以及多邊形中的一種以上。在本實施例中，多個刷子可以對掩膜的兩端部進行加壓。在本實施例中，外殼可以對掩膜的兩端部進行加壓。在本實施例中，激光焊接部可以以外殼與掩膜的兩端部相接觸的面為基準，對掩膜的內側或者外側方向的掩膜的一個面照射激光。在本實施例中，多個刷子可以以外殼與掩膜的兩端部相接觸的面為基準而向掩膜的內側方向凸出。在本實施例中，多個刷子可以以外殼與掩膜的兩端部相接觸的面為基準而向掩膜的外側方向凸出。在本實施例中，其特征可以是，外殼包括與掩膜的兩端部接觸的第一面、和與掩膜的兩端部不接觸的第二面，第二面傾斜。在本實施例中，多個刷子可以從第二面凸出，并且在相對于掩膜的兩端部傾斜的狀態下對掩膜的兩端部進行加壓。在本實施例中，加壓部可以包括第一加壓部和第二加壓部，第一加壓部包括第一外殼和在第一外殼的一個面上以朝向掩膜的方向凸出而對掩膜進行加壓的多個第一刷子，第二加壓部包括第二外殼和在第二外殼的一個面上以朝向掩膜的方向凸出而對掩膜進行加壓的多個第二刷子。在本實施例中，多個第一刷子的截面可以是圓、橢圓、以及多邊形中的一種以上。在本實施例中，多個第二刷子的截面可以是圓、橢圓、以及多邊形中的一種以上。在本實施例中，第一加壓部的多個第一刷子和第二加壓部的多個第二刷子可以以第一外殼以及第二外殼與掩膜的兩端部相接觸的面為基準而向掩膜的內側方向凸出。在本實施例中，第一加壓部的多個第一刷子和第二加壓部的多個第二刷子可以以第一外殼以及第二外殼與掩膜的兩端部相接觸的面為基準而向掩膜的外側方向凸出。在本實施例中，可以是第一加壓部的多個第一刷子以第一外殼與掩膜的兩端部相接觸的面為基準而向掩膜的內側方向凸出，第二加壓部的多個第二刷子以第二外殼與掩膜的兩端部相接觸的面為基準而向掩膜的外側方向凸出。在本實施例中，其特征可以是，第一外殼包括與掩膜的兩端部接觸的第一面和與掩膜的兩端部不接觸的第二面，第二外殼包括與掩膜的兩端部接觸的第三面和與掩膜的兩端部不接觸的第四面，第二面和第四面傾斜。在本實施例中，可以是第二面以第一面為基準而朝向掩膜的內側方向或者外側方向，第四面以第三面為基準而朝向掩膜的內側方向或者外側方向。在本實施例中，可以是多個第一刷子從第二面凸出，多個第二刷子從第四面凸出，并且多個第一刷子以及多個第二刷子在相對于掩膜的兩端部傾斜的狀態下對掩膜的兩端部進行加壓。前述以外的其他方面、特征、優點會通過以下附圖、權利要求書以及具體實施方式而變得清楚。根據如上述那樣實現的本專利技術的一個實施例，能夠實現一種薄膜沉積用掩膜拉伸焊接裝置，其在掩膜與框架的焊接工序中，去除在掩膜與框架之間形成的間隙，從而能夠使掩膜與框架緊貼。當然，本專利技術的范圍不會由這些效果所限定。附圖說明圖1是表示掩膜框架組件的立體圖。圖2是概略性地表示利用圖1的掩膜框架組件在基板上形成沉積層的樣子的構成圖。圖3是表示本專利技術的一實施例所涉及的薄膜沉積用掩膜拉伸焊接裝置的立體圖。圖4是表示圖3的加壓部的截面圖。圖5是表示圖4的加壓部的立體圖。圖6是表示本專利技術的另一實施例所涉及的加壓部的截面圖。圖7是表示本專利技術的又一實施例所涉及的加壓部的截面圖。圖8是表示本專利技術的又一實施例所涉及的加壓部的截面圖。圖9是表示本專利技術的又一實施例所涉及的加壓部的截面圖。圖10是表示比較例所涉及的掩膜與框架緊貼的樣子的放大圖。圖11是表示本專利技術的各實施例所涉及的掩膜與框架緊貼的樣子的放大圖。圖12是概略性地表示沿圖5的A-A’線所取的截面的截面圖。圖13是概略性地表示沿圖5的A-A’線所取的截面的截面圖。圖14是概略性地表示沿圖5的A-A’線所取的截面的截面圖。圖15是概略性地表示沿圖5的A-A’線所取的截面的截面圖。圖16是概略性地表示沿圖5的A-A’線所取的截面的截面圖。圖17是表示利用圖3的掩膜拉伸焊接裝置在顯示基板上沉積了發光層的有機發光顯示裝置的一個子像素的截面圖。附圖標記說明310：框架400：加壓部320：分割掩膜410、1410、2410、3410、4410：外殼330：拉伸部420、1420、2420、3420、4420：刷子340：激光焊接部具體實施方式本專利技術可施加各種變換且可具有多種實施例，關于特定的各實施例有意要在附圖中示出且在具體實施方式中詳細地進行說明。關于本專利技術的效果和特征、以及用于實現它們的方法，可通過參照與附圖一并在后面詳細敘述的各實施例而變得清楚。但是，本專利技術并不限于以下所公開的各實施例，其能夠以各種方式實現。在以下的實施例中，第一、第二等用詞并非是限定性的含義，而是為了將一個構成要素與另一構成要素進行區分而使用。此外，單數的表達只要不是在上下文中明確表示特定含義，則包含復數的表達。此外，包含或者具有等用詞是指存在說明書中記載的特征或者構成要素，而并非是要提前排除一個以上的其他特征或者構成要素可能被追加的可能性。此外，在附圖中為了便于說明，各構成要素的大小可能被放大或者縮小。例如，附圖中所示的各構成的大小以及厚度是為了便于說明而任意示出的，因而本專利技術不一定受示出所限。此外，當某一實施例能夠以不同的方式實現時，特定的工序順序能夠被執行成與說明的順序不同。例如，連續說明的兩個工序實質上能夠同時執行，也可以以與說明的順序相反的順序來進行。以下，參照附圖詳細說明本專利技術的各實施例，當參照附圖進行說明時，對于相同或者相應的構成要素附加相同的附圖標記，且省略重復的說明。圖1是表示掩膜框本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種薄膜沉積用掩膜拉伸焊接裝置，其在框架上拉伸并焊接掩膜，其特征在于，包括：拉伸部，將所述掩膜沿一個方向拉伸；加壓部，具備外殼、和在所述外殼的一個面上以朝向所述掩膜的方向凸出而對所述掩膜進行加壓的多個刷子；以及激光焊接部，焊接所述掩膜和所述框架。

【技術特征摘要】
2015.10.20 KR 10-2015-01460931.一種薄膜沉積用掩膜拉伸焊接裝置，其在框架上拉伸并焊接掩膜，其特征在于，包括：拉伸部，將所述掩膜沿一個方向拉伸；加壓部，具備外殼、和在所述外殼的一個面上以朝向所述掩膜的方向凸出而對所述掩膜進行加壓的多個刷子；以及激光焊接部，焊接所述掩膜和所述框架。2.如權利要求1所述的薄膜沉積用掩膜拉伸焊接裝置，其特征在于，所述多個刷子的截面是圓、橢圓、以及多邊形中的一種以上。3.如權利要求1所述的薄膜沉積用掩膜拉伸焊接裝置，其特征在于，所述多個刷子以所述外殼與所述掩膜的兩端部相接觸的面為基準而向所述掩膜的內側方向凸出。4.如權利要求1所述的薄膜沉積用掩膜拉伸焊接裝置，其特征在于，所述多個刷子以所述外殼與所述掩膜的兩端部相接觸的面為基準而向所述掩膜的外側方向凸出。5.如權利要求1所述的薄膜沉積用掩膜拉伸焊接裝置，其特征在于，所述外殼包括與所述掩膜的兩端部接觸的第一面、和與所述掩膜的兩端部不接觸的第二面，所述第二面傾斜。6.如權利要求1所述的薄膜沉積用掩膜拉伸焊接裝置，其特征在于，所述多個刷子從所述第二面凸出，在相對于所述掩膜的兩端部傾斜的狀態下對所述掩膜的兩端部進行加壓。7.如權利要求1所述的薄膜沉積用掩膜...

【專利技術屬性】
技術研發人員：韓政洹，
申請(專利權)人：三星顯示有限公司，
類型：發明
國別省市：韓國;KR