光阻烘烤設備制造技術

本發明專利技術提供了一種光阻烘烤設備，包括箱體，箱體內分別設有加熱溫度不同的第一烘烤區和第二烘烤區，在第一烘烤區和第二烘烤區之間設有豎向設置的第一隔板，第一烘烤區與第二烘烤區內分別設有至少二個加熱器；在箱體的下部位于第一烘烤區處設有玻璃放置口，箱體的下部位于第二烘烤區處設有與玻璃放置口位置相對應的玻璃取出口，第一烘烤區以及第二烘烤區分別設有第一傳送機構、第二傳送機構，在第一傳送機構與第二傳送機構上分別設有多排用于固定玻璃支架的傳送架，第一傳送機構與第二傳送機構之間的上下兩端后側分別設有輸送機構。與現有技術相比，通過局部不同區域進行溫度控制，達到平坦層光阻所需的熔體流動的時間延長，提升平坦層的平坦度。

Photoresist baking equipment

The present invention provides a photoresist baking equipment, which comprises a box body, the box body are respectively provided with different heating temperature first baking zone and second baking zone is provided with a first baffle arranged between the first and second baking baking zone area, the first area and the second area baking baking is respectively provided with at least two heater in the box; the first area is arranged at the lower part in baking glass placed in the lower part of the box body, is located in the second district is provided with a baking and glass is arranged in the position corresponding to the glass outlet, the first baking area and second baking zone are respectively provided with a first transmission mechanism and the second transmission mechanism in the first transmission mechanism and transmission mechanism are respectively arranged on the second row for the transmission frame is fixed between the first glass frame, transmission mechanism and the second transmission mechanism of the upper and lower ends are respectively provided with a rear conveying mechanism. Compared with the prior art, the temperature control of the different regions is adopted to prolong the time of the melt flow required for the smooth layer photoresist, and to improve the flatness of the flat layer.

【技術實現步驟摘要】
光阻烘烤設備
本專利技術涉及一種液晶面板生產技術，特別是一種用光阻烘烤設備。
技術介紹
現階段液晶顯示業ColorFilter(CF彩膜)制程中，有一道制程相對比較重要，即OverCoat(OC平坦層)制程，簡稱OC制程，該制程作用為隔絕有金屬元素的RGB，防止污染液晶，以及作為平坦層使液晶排布更均勻，顯示效果更佳，該制程和其他黃光制程不同，整面存留，無需進行曝光顯影過程，制程相對比較簡單，整個制作過程只有基板清洗，涂布、真空干燥和烘烤過程，其中烘烤分為預烘烤和后烘烤。預烘烤為使用熱板接觸式烘烤，溫度低于后烘烤裝置，僅起到初步固化作業，減少后烘烤部分化學質析出，由于單片腔式(單片所占空間較大)烘烤，為滿足整條產線的節拍，實際烘烤時間較短，實際功能性較低。后烘烤為熱風烘烤爐，實際烘烤溫度較高(為了使光阻徹底固化，且將大部分無用化學物質析出)，由于使用CenterFork形式(單片所占空間較小)，可以大批量烘烤，烘烤時間可以很長，而且OC制程最重要的制程參數——平坦度，主要影響的是光阻熔體流動(MeltFlow)階段，OC的光阻在一定溫度后會軟化具有流動性，在固化溫度前，光阻都會具有一定流動效應，以現有的預烘烤和后烘烤裝置，制程只能設定一個溫度，所有玻璃進出后按同一升溫曲線進行，相對的MeltFlow時間很短，無法達到預期要求，從常溫加熱至指定溫度非常快，均無法達到平坦層流平所需的MeltFlow時間需求。
技術實現思路
為克服現有技術的不足，本專利技術提供一種光阻烘烤設備，從而提高平坦層的平坦度。本專利技術提供了一種光阻烘烤設備，包括箱體，所述箱體內分別設有加熱溫度不同的第一烘烤區和第二烘烤區，在第一烘烤區和第二烘烤區之間設有豎向設置的第一隔板，所述第一烘烤區與第二烘烤區內分別設有至少二個加熱器，所述第一烘烤區的加熱溫度從下至上逐步升高，第二烘烤區的加熱溫度從上至下逐步升高；在箱體的下部位于第一烘烤區處設有玻璃放置口，箱體的下部位于第二烘烤區處設有與玻璃放置口位置相對應的玻璃取出口，所述第一烘烤區以及第二烘烤區分別設有可帶動玻璃支架垂直上升或下降的第一傳送機構、第二傳送機構，在第一傳送機構與第二傳送機構上分別設有多排用于固定玻璃支架的傳送架，傳送架分別與玻璃放置口以及玻璃取出口相對，所述第一傳送機構與第二傳送機構之間的上下兩端后側分別設有輸送機構，所述輸送機構用于將第一烘烤區的玻璃支架輸送至第二烘烤區或將第二烘烤區內的玻璃支架輸送至第一烘烤區，在第一隔板上位于輸送機構處設有輸送口。進一步地，每排傳送架包括至少兩個開口與玻璃支架相對并且水平設置的C型支架，在C型支架開口的上下兩端分別設有相對設置的滾筒導軌，所述滾筒導軌分別穿過每一個C型支架的開口，在上下兩個滾筒導軌之間形成用于與玻璃支架卡接的卡接部，至少一個滾筒導軌上的滾筒連接第二電機，第二電機驅動滾筒將玻璃支架7輸送至輸送機構中。進一步地，所述第一傳送機構以及第二傳送機構為鏈條傳動，包括設于第一烘烤區和第二烘烤區上下其中一端的電機、設于電機輸出軸上的主動齒輪以及設于第一烘烤區和第二烘烤區另一端的從動齒輪，在主動齒輪與從動齒輪上套有與其嚙合的O形鏈條，傳送架均勻分布固定在O形鏈條的表面上。進一步地，所述輸送機構包括動力式滾筒輸送機，動力式滾筒輸送機與設置在C型支架開口下端的滾筒導軌設于同一水平面上。進一步地，所述傳送架中與輸送機構相鄰的C型支架的開口中設有可封閉或開啟該C型支架開口的撥桿。進一步地，所述C型支架上位于撥桿處設有氣動閥。進一步地，所述第一傳送機構和第二傳送機構的上下兩端分別設有用于控制氣動閥復動以及第二電機啟動的傳感單元。進一步地，所述第一烘烤區內設有水平設置的第二隔板，第二隔板將第一烘烤區劃分為多個溫度不同的第一烘烤子區，每個第一烘烤子區中對應設置一個加熱器，第二隔板上設有第一玻璃支架出入口；所述第二烘烤區內設有水平設置的第三隔板，第三隔板將第二烘烤區劃分為多個溫度不同的第二烘烤子區，每個第二烘烤子區中對應設置一個加熱器，第三隔板上設有第二玻璃支架出入口。進一步地，所述第二隔板以及第三隔板分別設有兩塊，兩塊第二隔板將第一烘烤區劃分為3個第一烘烤子區；兩塊第三隔板將第二烘烤區劃分為3個第二烘烤子區。進一步地，所述輸送機構還包括與動力式滾筒輸送機相對設置的滾筒輸送機，滾筒輸送機與設置在C型支架開口上端的滾筒導軌設于同一水平面上，在動力式滾筒輸送機與滾筒輸送機之間設有供玻璃支架經過的通道。本專利技術與現有技術相比，通過將預烘烤以及后烘烤裝置集成在一起，并通過對局部不同的區域進行溫度控制，達到平坦層光阻所需的熔體流動的時間延長，從而提升平坦層的平坦度。附圖說明圖1-1是本專利技術的內部結構示意圖一；圖1-2是本專利技術的內部結構示意圖二；圖2-1是本專利技術第一傳送機構以及第二傳送機構的結構示意圖一；圖2-2是本專利技術第一傳送機構以及第二傳送機構的結構示意圖二；圖3是本專利技術傳送架的結構示意圖；圖4是本專利技術玻璃支架運動方向的示意圖；圖5是本專利技術C型支架的內部結構示意圖；圖6是本專利技術玻璃支架的結構示意圖。具體實施方式下面結合附圖和實施例對本專利技術作進一步詳細說明。如圖1-1和圖1-2所示，本專利技術的一種光阻烘烤設備，包括一個箱體1，箱體1內分別設有加熱溫度不同的第一烘烤區2和第二烘烤區3，其中第一烘烤區2為預烘烤區，第二烘烤區3為后烘烤區；在第一烘烤區2和第二烘烤區3之間設有豎向設置的第一隔板19，第一隔板19用于將兩個烘烤區進行隔離，防止溫度相互串擾；所述第一烘烤區2與第二烘烤區3內分別設有至少二個加熱器4，此處加熱器4設置有至少三個，從而使第一烘烤區2的加熱溫度從下至上逐步升高，第二烘烤區3的加熱溫度從上之下逐步升高，實現烘烤設備中兩個烘烤區的溫度逐步提升；在箱體1的下部位于第一烘烤區2處設有玻璃放置口5，玻璃放置口5的長度以及寬度大于玻璃支架7的長度以及高度；箱體1的下部位于第二烘烤區處設有與玻璃放置口5位置相對應的玻璃取出口6，玻璃取出口6的長度以及寬度與玻璃放置口5的長度以及寬度相同；所述第一烘烤區2以及第二烘烤區3分別設有可帶動玻璃支架7垂直上升或下降的第一傳送機構、第二傳送機構，所述第一傳送機構與第二傳送機構的運動方向相反，其中，第一傳送機構的運動方向為從下至上，第二傳送機構的運動方向為從上之下，這樣能夠實現玻璃支架在第一烘烤區2和第二烘烤區3中循環，在箱體1外還設有為加熱器4、第一傳送機構、第二傳送機構以及輸送機構供電的電源30。在第一傳送機構與第二傳送機構上分別設有多排用于固定玻璃支架7的傳送架8，傳送架8分別與玻璃放置口5以及玻璃取出口6相對，所述第一傳送機構與第二傳送機構之間的上下兩端后側分別設有運動方向相反的輸送機構，所述輸送機構用于將第一烘烤區2的玻璃支架7輸送至第二烘烤區3或將第二烘烤區3內的玻璃支架7輸送至第一烘烤區2，在第一隔板19上位于輸送機構處設有輸送口21，輸送口21的長度和寬度大于玻璃支架7的長度以及高度。放入光阻烘烤設備中的玻璃均放置在玻璃支架7上，玻璃支架7采用如圖6所示的結構實現，其為叉子狀，包括用于與傳送架8相互卡接的橫桿71以及設置在橫桿71上的多根支臂72，支臂72上形成玻璃放置平臺。如圖1-1所示，為了能夠對第一烘烤區2本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種光阻烘烤設備，其特征在于：包括箱體(1)，所述箱體(1)內分別設有加熱溫度不同的第一烘烤區(2)和第二烘烤區(3)，在第一烘烤區(2)和第二烘烤區(3)之間設有豎向設置的第一隔板(19)，所述第一烘烤區(2)與第二烘烤區(3)內分別設有至少二個加熱器(4)，所述第一烘烤區(2)的加熱溫度從下至上逐步升高，第二烘烤區(3)的加熱溫度從上至下逐步升高；在箱體(1)的下部位于第一烘烤區(2)處設有玻璃放置口(5)，箱體(1)的下部位于第二烘烤區(3)處設有與玻璃放置口(5)位置相對應的玻璃取出口(6)，所述第一烘烤區(2)以及第二烘烤區(3)分別設有可帶動玻璃支架(7)垂直上升或下降的第一傳送機構、第二傳送機構，在第一傳送機構與第二傳送機構上分別設有多排用于固定玻璃支架(7)的傳送架(8)，傳送架(8)分別與玻璃放置口(5)以及玻璃取出口(6)相對，所述第一傳送機構與第二傳送機構之間的上下兩端后側分別設有輸送機構，所述輸送機構用于將第一烘烤區(2)的玻璃支架(7)輸送至第二烘烤區(3)或將第二烘烤區(3)內的玻璃支架(7)輸送至第一烘烤區(2)，在第一隔板(19)上位于輸送機構處設有輸送口(21)。...

【技術特征摘要】
1.一種光阻烘烤設備，其特征在于：包括箱體(1)，所述箱體(1)內分別設有加熱溫度不同的第一烘烤區(2)和第二烘烤區(3)，在第一烘烤區(2)和第二烘烤區(3)之間設有豎向設置的第一隔板(19)，所述第一烘烤區(2)與第二烘烤區(3)內分別設有至少二個加熱器(4)，所述第一烘烤區(2)的加熱溫度從下至上逐步升高，第二烘烤區(3)的加熱溫度從上至下逐步升高；在箱體(1)的下部位于第一烘烤區(2)處設有玻璃放置口(5)，箱體(1)的下部位于第二烘烤區(3)處設有與玻璃放置口(5)位置相對應的玻璃取出口(6)，所述第一烘烤區(2)以及第二烘烤區(3)分別設有可帶動玻璃支架(7)垂直上升或下降的第一傳送機構、第二傳送機構，在第一傳送機構與第二傳送機構上分別設有多排用于固定玻璃支架(7)的傳送架(8)，傳送架(8)分別與玻璃放置口(5)以及玻璃取出口(6)相對，所述第一傳送機構與第二傳送機構之間的上下兩端后側分別設有輸送機構，所述輸送機構用于將第一烘烤區(2)的玻璃支架(7)輸送至第二烘烤區(3)或將第二烘烤區(3)內的玻璃支架(7)輸送至第一烘烤區(2)，在第一隔板(19)上位于輸送機構處設有輸送口(21)。2.根據權利要求1所述的光阻烘烤設備，其特征在于：每排傳送架(8)包括至少兩個開口與玻璃支架(7)相對并且水平設置的C型支架(9)，在C型支架(9)開口的上下兩端分別設有相對設置的滾筒導軌(10)，所述滾筒導軌(10)分別穿過每一個C型支架(9)的開口，在上下兩個滾筒導軌(10)之間形成用于與玻璃支架(7)卡接的卡接部(11)，至少一個滾筒導軌(10)上的滾筒連接有第二電機(31)，第二電機(31)驅動滾筒將玻璃支架(7)輸送至輸送機構中。3.根據權利要求1所述的光阻烘烤設備，其特征在于：所述第一傳送機構以及第二傳送機構為鏈條傳動，包括設于第一烘烤區(2)和第二烘烤區(3)上下其中一端的電機(12)、設于電機(12)輸出軸上的主動齒輪(13)以及設于第一烘烤區(2)和第二烘烤區(3)另一端的從動齒輪(14)，在主動齒輪(13)與從...

【專利技術屬性】
技術研發人員：徐彬，
申請(專利權)人：武漢華星光電技術有限公司，
類型：發明
國別省市：湖北,42