微發光二極管的轉印裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術提供了一種微發光二極管的轉印裝置，包括機架，在機架上設有加熱面朝下的加熱裝置以及設于加熱裝置下方可移動的冷卻裝置，所述加熱裝置的加熱面用于承載具有微發光二極管的供給襯底，供給襯底通過固定件固定于加熱面上，所述冷卻裝置的冷卻面用于承載接收襯底；所述冷卻裝置的冷卻面與加熱裝置的加熱面相對，在加熱裝置與冷卻裝置之間設有滾筒機構，滾筒機構固定在機架上，所述滾筒機構上設有可循環轉動的傳送帶，所述傳送帶由轉印膜片構成，在傳送帶的外表面上設有溫控膠。與現有技術相比，通過設置加熱裝置以及冷卻裝置，中間通過滾筒式傳送帶，在傳送帶表面設置溫控膠，實現微發光二極管的循環吸附以及轉印，提高轉印效率。

Transfer device for micro LED

The present invention provides a transfer device, micro light emitting diode comprises a frame, a cooling device on the machine frame is provided with a heating device and a heating device is arranged below the heating down movable, heating surface of the heating device is used for carrying the supply of substrate micro light emitting diode, the supply of substrate is fixed on the heating surface by a fixing element the cooling surface of the cooling device, the bearing for receiving a substrate; the heating surface of the heating device and the cooling surface of the cooling device is provided with a relative, a roller mechanism between the heating device and the cooling device, a roller mechanism fixed on the frame, the roller mechanism is provided with transmission cycle rotation belt, the conveyor belt composed of transfer film, is provided with a temperature control glue on the outer surface of the conveyor belt. Compared with the prior art, by setting up the heating device and cooling device, through the middle roller conveyor belt on the belt surface, set the temperature control glue, realize micro light emitting diode cycle of adsorption and transfer, improve the transfer efficiency.

【技術實現步驟摘要】
微發光二極管的轉印裝置
本專利技術涉及一種微發光二極管顯示
，特別是一種微發光二極管的轉印裝置。
技術介紹
平面顯示裝置因具有高畫質、省電、機身薄及應用范圍廣等優點，而被廣泛的應用于手機、電視、個人數字助理、數字相機、筆記本電腦、臺式計算機等各種消費性電子產品，成為顯示裝置中的主流。微發光二極管(MicroLED，μLED)顯示器是一種以在一個基板上集成的高密度微小尺寸的LED陣列作為顯示像素來實現圖像顯示的顯示器，同大尺寸的戶外LED顯示屏一樣，每一個像素可定址、單獨驅動點亮，可以看成是戶外LED顯示屏的縮小版，將像素點距離從毫米級降低至微米級，μLED顯示器和有機發光二極管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)顯示器一樣屬于自發光顯示器，但μLED顯示器相比OLED顯示器還具有材料穩定性更好、壽命更長、無影像烙印等優點，被認為是OLED顯示器的最大競爭對手。微轉印(MicroTransferPrinting)技術是目前制備μLED顯示裝置的主流方法，具體制備過程為：首先在藍寶石類基板生長出微發光二極管，然后通過激光剝離技術(Laserlift-off，LLO)將微發光二極管裸芯片(barechip)從藍寶石類基板上分離開，隨后使用一個圖案化的聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane，PDMS)傳送頭將微發光二極管裸芯片從藍寶石類基板吸附起來，并將PDMS傳送頭與接收基板進行對位，隨后將PDMS傳送頭所吸附的微發光二極管裸芯片貼附到接收基板上預設的位置，再剝離PDMS傳送頭，即可完成將微發光二極管裸芯片轉移到接收基板上，進而制得μLED顯示裝置。而目前的轉印一般采用通電吸附或PDMS的方式粘附進行轉印，當使用PDMS方式進行剝離時存在較難控制剝離效果；當使用通電吸附時則需要對每個吸附頭進行導通，不僅復雜而且剝離效果欠佳；目前還有一種通過溫度控制來進行微發光二極管轉印的技術，其原理是通過低溫剝離型膠水，其轉印的過程分為吸附-轉移-降溫最終完成轉印，但是往往降溫和完成轉印的過程速率較慢，且不利于重復進行的高效轉印。
技術實現思路
為克服現有技術的不足，本專利技術提供一種微發光二極管的轉印裝置，從而提高轉印的效率。本專利技術提供了一種微發光二極管的轉印裝置，包括機架，在機架上設有加熱面朝下的加熱裝置以及設于加熱裝置下方可移動的冷卻裝置，所述加熱裝置的加熱面用于承載具有微發光二極管的供給襯底，供給襯底通過固定件固定于加熱面上，所述冷卻裝置的冷卻面用于承載接收襯底；所述冷卻裝置的冷卻面與加熱裝置的加熱面相對，在加熱裝置與冷卻裝置之間設有滾筒機構，滾筒機構固定在機架上，所述滾筒機構上設有可循環轉動的傳送帶，所述傳送帶由轉印膜片構成，在傳送帶的外表面上設有溫控膠，通過傳送帶上的溫控膠將被加熱的供給襯底上的微發光二極管粘附后，滾筒機構的轉動帶動傳送帶移動至接收襯底一側，通過冷卻裝置對接收襯底降溫，溫控膠失去粘性將粘附在傳送帶上的微發光二極管剝離，完成微發光二極管的轉印，在機架上設有電源，電源與滾筒機構、加熱裝置、冷卻裝置電連接。進一步地，所述滾筒機構的轉動方向與冷卻裝置的移動方向相反。進一步地，所述冷卻裝置上設有與電源連接的傳動機構，傳動機構用于驅動冷卻裝置移動。進一步地，所述滾筒機構包括至少一個驅動滾筒以及至少一個從動滾筒，所述傳動帶套在驅動滾筒與從動滾筒上，驅動滾輪與電源連接。進一步地，所述驅動滾筒為電動滾筒。進一步地，所述傳動帶的表面上陣列排布有矩形凸起，相鄰兩個矩形凸起的間距相等，溫控膠覆蓋在矩形凸起上以及矩形凸起之間的間隙內。進一步地，所述冷卻裝置的冷卻介質為液氮或干冰。進一步地，所述傳動機構包括固定在機架下端的與電源連接的驅動電機、設于驅動電機輸出軸上的驅動齒輪、與驅動齒輪嚙合的齒條，在齒條上設有移動平臺，冷卻裝置固定在移動平臺上。進一步地，所述傳動帶采用柔性材料制成。本專利技術與現有技術相比，通過設置加熱裝置以及冷卻裝置，中間通過滾筒式傳送帶，在傳送帶表面設置溫控膠，實現微發光二極管的循環吸附以及轉印，提高轉印效率。附圖說明圖1是本專利技術的結構示意圖；圖2是本專利技術傳送帶的結構示意圖；圖3是本專利技術的加熱裝置的結構示意圖；圖4是本專利技術的冷卻裝置的結構示意圖；圖5是本專利技術的移動平臺與機架之間的連接結構示意圖。具體實施方式下面結合附圖和實施例對本專利技術作進一步詳細說明。如圖1所示，本專利技術的微發光二極管轉印裝置包括機架6，包括機架6，在機架6的上端設有加熱面朝下的加熱裝置1以及設于加熱裝置1下方通過傳動機構驅動其移動的冷卻裝置2，所述加熱裝置1的加熱面用于承載具有微發光二極管93的供給襯底91，供給襯底91通過固定件固定于加熱面上，此處，固定件為卡扣或螺桿；冷卻裝置2的冷卻面用于承載接收襯底92；所述冷卻裝置2的冷卻面與加熱裝置1的加熱面相對設置，在加熱裝置1與冷卻裝置2之間設有滾筒機構3，滾筒機構3固定在機架6上，滾筒機構3上設有可循環轉動的傳送帶4，傳送帶4由轉印膜片構成；在傳送帶4的外表面上設有溫控膠5，溫控膠5為預熱融化并具有粘性，而遇冷失去粘性的膠體，如低溫剝離型的溫控秥離膠帶，溫度在20-60℃之間會失去粘性剝離；在機架6上設有電源8，電源8與滾筒機構3、加熱裝置1、冷卻裝置2電連接，從而為微發光二極管93的轉印裝置供電。本專利技術的工作原理如下：通過傳送帶4上的溫控膠5將被加熱的供給襯底91上的微發光二極管93粘附后，滾筒機構3的轉動帶動傳送帶4移動至接收襯底92一側，通過冷卻裝置對接收襯底92降溫，將粘附在傳送帶4上的微發光二極管93從傳送帶4上剝離，完成微發光二極管93的轉印。如圖2所示，傳送帶4的外表面上均勻陣列排布有矩形凸起41，相鄰兩個矩形凸起41的間距相等，溫控膠5覆蓋在矩形凸起41上以及矩形凸起41之間的間隙內；相鄰兩個矩形凸起41之間的間隙寬度與供給襯底91上相鄰兩個微發光二極管93之間的間隙寬度相同，從而實現微發光二極管93的精確粘附。具體地，傳送帶4為將一片轉印膜片彎曲后頭尾相接形成一個O字形后套在滾筒機構3上；傳送帶4由柔性材料制成，滿足柔性需求。如圖1所示，滾筒機構3包括至少一個驅動滾筒31以及至少一個從動滾筒32，驅動滾筒31和從動滾筒32之間可留有間距，從而將傳送帶4拉緊；還可通過平鋪多個驅動滾筒31以及從動滾筒32，形成一條傳輸道，將傳送帶4套在兩側最外側的滾筒上，從而將傳送帶4拉緊，此種平鋪滾筒，可以對傳送帶4具有一定的承托力，提高轉印的效果；本專利技術中驅動滾輪31與電源8連接。在機架6的中部位于滾筒機構3的位置處水平設置有用于固定滾筒機構3的第一支架61，在第一支架61上設有用于連接驅動滾筒31以及從動滾筒32的軸承，驅動滾筒31以及從動滾筒32的兩端分別安裝在軸承中。作為驅動滾筒31的一種較佳實施例，驅動滾筒31采用電動滾筒，其在滾筒本體內集成有驅動電機以及減速器等部件，從動滾筒32則為普通的不具有任何動力驅動的滾筒。本專利技術中傳動機構可采用現有技術中的一些常規傳送機構，如傳動帶傳動、齒輪傳動、齒條傳動或絲桿傳動，在此給出一種較佳的實現方式，如圖1所示，傳動機構包括固定在機架6下端的與電源8連接的驅動電機71、設于驅動電機71輸出本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種微發光二極管的轉印裝置，其特征在于：包括機架(6)，在機架(6)上設有加熱面朝下的加熱裝置(1)以及設于加熱裝置(1)下方可移動的冷卻裝置(2)，所述加熱裝置(1)的加熱面用于承載具有微發光二極管(93)的供給襯底(91)，供給襯底(91)通過固定件固定于加熱面上，所述冷卻裝置(2)的冷卻面用于承載接收襯底(92)；所述冷卻裝置(2)的冷卻面與加熱裝置(1)的加熱面相對，在加熱裝置(1)與冷卻裝置(2)之間設有滾筒機構(3)，滾筒機構(3)固定在機架(6)上，所述滾筒機構(3)上設有可循環轉動的傳送帶(4)，所述傳送帶(4)由轉印膜片構成，在傳送帶(4)的外表面上設有溫控膠(5)，通過傳送帶(4)上的溫控膠(5)將被加熱的供給襯底(91)上的微發光二極管(93)粘附后，滾筒機構(3)的轉動帶動傳送帶(4)移動至接收襯底(92)一側，通過冷卻裝置對接收襯底(92)降溫，溫控膠(5)失去粘性，使粘附在傳送帶(4)上的微發光二極管(93)剝離，完成微發光二極管(93)的轉印，在機架(6)上設有電源(8)，電源(8)與滾筒機構(3)、加熱裝置(1)、冷卻裝置(2)電連接。

【技術特征摘要】
1.一種微發光二極管的轉印裝置，其特征在于：包括機架(6)，在機架(6)上設有加熱面朝下的加熱裝置(1)以及設于加熱裝置(1)下方可移動的冷卻裝置(2)，所述加熱裝置(1)的加熱面用于承載具有微發光二極管(93)的供給襯底(91)，供給襯底(91)通過固定件固定于加熱面上，所述冷卻裝置(2)的冷卻面用于承載接收襯底(92)；所述冷卻裝置(2)的冷卻面與加熱裝置(1)的加熱面相對，在加熱裝置(1)與冷卻裝置(2)之間設有滾筒機構(3)，滾筒機構(3)固定在機架(6)上，所述滾筒機構(3)上設有可循環轉動的傳送帶(4)，所述傳送帶(4)由轉印膜片構成，在傳送帶(4)的外表面上設有溫控膠(5)，通過傳送帶(4)上的溫控膠(5)將被加熱的供給襯底(91)上的微發光二極管(93)粘附后，滾筒機構(3)的轉動帶動傳送帶(4)移動至接收襯底(92)一側，通過冷卻裝置對接收襯底(92)降溫，溫控膠(5)失去粘性，使粘附在傳送帶(4)上的微發光二極管(93)剝離，完成微發光二極管(93)的轉印，在機架(6)上設有電源(8)，電源(8)與滾筒機構(3)、加熱裝置(1)、冷卻裝置(2)電連接。2.根據權利要求1所述的微發光二極管的轉印裝置，其特征在于：所述滾筒機構(3)的轉動方向與冷卻裝置(2)的移動方向相反。3.根據權利要求1所述的微發光二極管...

【專利技術屬性】
技術研發人員：陳黎暄，
申請(專利權)人：深圳市華星光電技術有限公司，
類型：發明
國別省市：廣東,44