晶圓盒輸送裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術揭示了一種晶圓盒輸送裝置，包括承載機構、平移機構和輸送機構，其中，承載機構用于放置晶圓盒，平移機構用于帶動所述承載機構分別在第一軸方向、第二軸方向和第三軸方向平移，輸送機構用于輸送平移機構，第一軸方向、第二軸方向和第三軸方向構成空間笛卡爾直角坐標系或空間笛卡爾斜角坐標系，通過了承載機構和輸送機構結合的方式，直接由輸送機構移至開門器前，并通過平移機構將晶圓盒準確的送到開門器上，因此省去了人工或機械搬運晶圓盒之一步驟，提高了效率，降低了成本，且自動化程度高。

Wafer box delivery device

The invention discloses a material conveying device, which comprises a bearing mechanism, a translational mechanism and a conveying mechanism, wherein, the bearing mechanism for placing a wafer box, a translation mechanism is used to drive the bearing mechanism respectively in the first shift shaft direction, second axis and third axis direction, conveying mechanism for conveying the translation mechanism, the first axis direction, second axis and third axis space Cartesian coordinate space Descartes Descartes or oblique coordinate system, the bearing mechanism and the conveying mechanism combination, to open the door by the conveyor structure directly before, and the wafer box accurate to the door opener by the translation mechanism, thus eliminating the need of manual or mechanical handling material steps to improve efficiency, reduce cost, and high degree of automation.

【技術實現步驟摘要】
晶圓盒輸送裝置
本專利技術涉及一種晶圓盒輸送裝置。
技術介紹
半導體制造工廠中，晶圓通常需要在生產線上不同的工藝模塊之間進行高效的傳輸和定位，設備前端裝置(EquipmentFrontEndModule，簡稱EFEM)正是完成這一任務的關鍵裝備，是連接物料搬運系統與晶圓處理系統的橋梁，能夠使晶圓在不受污染的條件下被準確的傳輸。設備前端裝置至少包括用于存儲晶圓的晶圓盒(FrontOpeningUnifiedPod，簡稱Foup)、用于承載晶圓盒的裝載端口(LoadPort)以及用于將晶圓從晶圓盒內取出和收納至晶圓盒內的操作機械手，該裝載端口包括開門器和設置在開門器上的承載機構，當半導體生產線上的運輸小車移至裝載端口前，通過人工或機械將晶圓盒放置到裝載端口的承載機構上，然后由開門器執行晶圓盒的開盒動作，進而由操作機械手取出晶圓盒內的晶圓并輸送至機臺進行相應的制程，待晶圓加工處理后，再由操作機械手將晶圓收納至晶圓盒內。晶圓盒在運輸小車和裝載端口的搬運過程中，人工搬運費時費力，且自動化程度不高。機械搬運可通過一部多關節機器人實現，雖然機械搬運滿足了全自動生產線的需求，但是多關節機器人具有占用面積大、成本高和耗電量大等問題，另外，多關節機器人還必須進行特殊處理以保證潔凈度，大大提高了使用成本。
技術實現思路
本專利技術解決上述現有技術中的不足和問題的技術方案是：提供了一種將承載機構和輸送機構結合的晶圓盒輸送裝置，其省去了從輸送機構上搬運到開門器上這一工序，有效提高了生產效率，大大減少了設備成本。為達到以上目的，本專利技術提供了一種晶圓盒輸送裝置，包括：承載機構，用于放置晶圓盒；平移機構，用于帶動所述承載機構分別在第一軸方向、第二軸方向和第三軸方向平移；輸送機構，用于輸送平移機構；其中，所述平移機構包括：第一平移機構，用于帶動所述承載機構在第一軸方向平移：第二平移機構，用于帶動所述承載機構在第二軸方向平移：第三平移機構，用于帶動所述承載機構在第三軸方向平移；所述第一軸方向、所述第二軸方向和所述第三軸方向構成空間笛卡爾直角坐標系或空間笛卡爾斜角坐標系。進一步，所述第一平移機構包括第一安裝件、第一驅動件和第一導向件，所述第一導向件平行于所述第一軸方向，所述承載機構和所述第一安裝件之間通過所述第一導向件連接，使所述承載機構和所述第一安裝件相互滑動，所述第一驅動件能夠驅動所述承載機構沿著所述第一軸方向移動；所述第二平移機構包括第二安裝件、第二驅動件和第二導向件，所述第二導向件平行于所述第二軸方向，所述第一安裝件和所述第二安裝件之間通過所述第二導向件連接，使所述第一安裝件和所述第二安裝件相互滑動，所述第二驅動件能夠驅動所述第一安裝件沿所述第二軸方向移動；所述第三平移機構包括第三安裝件、第三驅動件和第三導向件，所述第三導向件平行于所述第三軸方向，所述第二安裝件和所述第三安裝件之間通過所述第三導向件連接，使所述第二安裝件和所述第三安裝件相互滑動，所述第三驅動件能夠驅動所述第二安裝件沿所述第三軸方向移動。進一步，所述第一安裝件呈方體結構，該呈方體結構的所述第一安裝件一側開口，所述開口用于所述承載機構的滑入和滑出；所述承載機構包括第一承載件和第二承載件，所述第一承載件連接所述第二承載件，所述第一承載件位于所述第一安裝件外側，且用于放置所述晶圓盒，所述第二承載件用于滑入和滑出所述開口。進一步，所述第一安裝件具有一位于所述第一承載件和所述第二承載件之間的底面，所述底面的相對面可為兩個連接板，該兩個所述連接板用于連接所述第二平移機構。進一步，所述第一導向件設置在所述第一承載件和所述第一安裝件之間，所述第一導向件為導軌，且所述導軌的數量為兩個；所述第一平移機構還包括第一絲杠和第一導向塊，所述第一驅動件和所述第一絲杠分別位于所述第一安裝件內部，所述第一驅動件為電機，所述第一驅動件皮帶傳動連接所述第一絲杠，所述第一絲杠的軸線與所述第一軸方向平行，所述第一絲杠上螺紋連接有所述第一導向塊，所述第一導向塊穿出所述第一安裝件外側，并與所述第一承載件連接，通過所述第一驅動件可帶動所述承載機構沿著所述第一軸方向移動，所述第一安裝件上還設置有與所述第一導向塊配合的第一避讓孔。進一步，所述第二導向件為導軌，且所述導軌的數量為兩個，每個所述連接板與所述第二安裝件之間分別設置有一所述導軌；所述第二平移機構還包括第二絲杠和第二導向塊，所述第二驅動件和所述第二絲杠分別設置在所述第二安裝件的外側，且所述第二驅動件和所述第二絲杠位于兩個所述連接板之間，所述第二驅動件為電機，所述第二驅動件皮帶傳動連接所述第二絲杠，所述第二絲杠的軸線與所述第二軸方向平行，所述第二絲杠上螺紋連接有所述第二導向塊，所述第二導向塊連接一所述連接板，通過所述第二驅動件帶動所述第一平移機構沿著所述第二軸方向移動。進一步，所述第三平移機構還包括第三絲杠、第三導向塊和滑板，所述第三驅動件、所述第三絲杠、所述第三導向塊、所述第三導向件和所述滑板分別設置在所述第三安裝件內部；所述第三驅動件為電機，所述第三驅動件皮帶傳動連接所述第三絲杠，所述第三絲杠的軸線與所述第三軸方向平行，所述第三絲杠上螺紋連接有所述第三導向塊，所述第三導向塊連接有所述滑板，所述滑板連接第三導向件，所述第三導向件為導軌，且所述導軌的數量為兩個，所述第二安裝件穿進所述第三安裝件連接所述滑板，所述第三安裝件上設置有所述第二安裝件配合的第二避讓孔，通過所述第三驅動件帶動所述第二平移機構沿著所述第三軸方向移動。進一步，所述輸送機構為自動導引運輸車，所述第三安裝件固定在所述自動導引運輸車上。進一步，還包括控制器，所述控制器分別與所述第一驅動件、所述第二驅動件和所述第三驅動件電連接；所述控制器設置在所述第三安裝件內部，通過一個隔板將所述控制器與所述第三絲杠和所述第三驅動件隔開。進一步，所述第一驅動件、所述第二驅動件和所述第三驅動件可分別為氣缸或液壓缸。據優選實施例，本專利技術提供了如下優點：本專利技術通過承載機構和輸送機構結合的方式，直接由輸送機構移至開門器前，并通過平移機構將晶圓盒準確的送到開門器上，因此省去了人工或機械搬運晶圓盒之一步驟，提高了效率，降低了成本，且自動化程度高。以下結合附圖及實施例進一步說明本專利技術。附圖說明圖1為本專利技術所述晶圓盒輸送裝置的示意圖；圖2為本專利技術所述承載機構和第一平移機構裝配的示意圖；圖3為圖2后視的斷開剖視圖；圖4為本專利技術所述第一平移機構和第二平移機構裝配的示意圖；圖5為圖4的主視圖；圖6為圖5中沿A-A向的剖視圖；圖7為本專利技術所述第二平移機構和第三平移機構裝配的立體圖；圖8為圖7的右視圖；圖9為圖8中沿B-B向的剖視圖；圖10為圖7的后視圖；圖11為圖10中沿C-C向的剖視圖。具體實施方式以下描述用于揭露本專利技術以使本領域技術人員能夠實現本專利技術。以下描述中的優選實施例只作為舉例，本領域技術人員可以想到其他顯而易見的變型。在此描述的專利技術不局限于輸送晶圓盒，舉例來說，本專利技術各個實施例也可以被應用于和/或適用于搬運標準機械接口盒、光柵盒、平板顯示器或其它任何容器或加工設備。該容器被定義為用于承載物品的任何類型構件，上述物品包括但不局限于晶圓。為了描述本專利技術，將只參照用于輸送晶圓盒。參照圖1，示出了根據本專利技術優選實施例所述的一種晶圓盒本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種晶圓盒輸送裝置，其特征在于，包括：承載機構，用于放置晶圓盒；平移機構，用于帶動所述承載機構分別在第一軸方向、第二軸方向和第三軸方向平移；輸送機構，用于輸送平移機構；其中，所述平移機構包括：第一平移機構，用于帶動所述承載機構在第一軸方向平移：第二平移機構，用于帶動所述承載機構在第二軸方向平移：第三平移機構，用于帶動所述承載機構在第三軸方向平移；所述第一軸方向、所述第二軸方向和所述第三軸方向構成空間笛卡爾直角坐標系或空間笛卡爾斜角坐標系。

【技術特征摘要】
1.一種晶圓盒輸送裝置，其特征在于，包括：承載機構，用于放置晶圓盒；平移機構，用于帶動所述承載機構分別在第一軸方向、第二軸方向和第三軸方向平移；輸送機構，用于輸送平移機構；其中，所述平移機構包括：第一平移機構，用于帶動所述承載機構在第一軸方向平移：第二平移機構，用于帶動所述承載機構在第二軸方向平移：第三平移機構，用于帶動所述承載機構在第三軸方向平移；所述第一軸方向、所述第二軸方向和所述第三軸方向構成空間笛卡爾直角坐標系或空間笛卡爾斜角坐標系。2.如權利要求1所述的晶圓盒輸送裝置，其特征在于，所述第一平移機構包括第一安裝件、第一驅動件和第一導向件，所述第一導向件平行于所述第一軸方向，所述承載機構和所述第一安裝件之間通過所述第一導向件連接，使所述承載機構和所述第一安裝件相互滑動，所述第一驅動件能夠驅動所述承載機構沿著所述第一軸方向移動；所述第二平移機構包括第二安裝件、第二驅動件和第二導向件，所述第二導向件平行于所述第二軸方向，所述第一安裝件和所述第二安裝件之間通過所述第二導向件連接，使所述第一安裝件和所述第二安裝件相互滑動，所述第二驅動件能夠驅動所述第一安裝件沿所述第二軸方向移動；所述第三平移機構包括第三安裝件、第三驅動件和第三導向件，所述第三導向件平行于所述第三軸方向，所述第二安裝件和所述第三安裝件之間通過所述第三導向件連接，使所述第二安裝件和所述第三安裝件相互滑動，所述第三驅動件能夠驅動所述第二安裝件沿所述第三軸方向移動。3.如權利要求2所述的晶圓盒輸送裝置，其特征在于，所述第一安裝件呈方體結構，該呈方體結構的所述第一安裝件一側開口，所述開口用于所述承載機構的滑入和滑出；所述承載機構包括第一承載件和第二承載件，所述第一承載件連接所述第二承載件，所述第一承載件位于所述第一安裝件外側，且用于放置所述晶圓盒，所述第二承載件用于滑入和滑出所述開口。4.如權利要求3所述的晶圓盒輸送裝置，其特征在于，所述第一安裝件具有一位于所述第一承載件和所述第二承載件之間的底面，所述底面的相對面可為兩個連接板，該兩個所述連接板用于連接所述第二平移機構。5.如權利要求4所述的晶圓盒輸送裝置，其特征在于，所述第一導向件設置在所述第一承載件和所述第一安裝件之間，所述第一導向件為導軌，且所述導軌的數量為兩個；所述第一平移機構還包括第一絲杠和第一導向塊，所述第一驅動件和所述第一...

【專利技術屬性】
技術研發人員：吳功，
申請(專利權)人：大族激光科技產業集團股份有限公司上海分公司，
類型：發明
國別省市：上海,31