搬送裝置、搬送方法、曝光裝置、以及元件制造方法制造方法及圖紙

搬送裝置，具備：第1支承部(3)，對基板的一面供給氣體，能通過氣體懸浮支承基板；第2支承部(400)，能支承基板的一面；驅動部(402)，使第1及第2支承部的至少一個移動，使第1及第2支承部彼此接近或接觸并排列于第1方向；以及移送部，將通過驅動部而排列的第1及第2支承部的一方所支承的基板沿第1方向往另一方側移動。

Conveying device, delivery method, exposure device, and component manufacturing method

Conveying device, comprising: first supporting part (3), on a surface of a substrate supply gas through the gas suspension supporting board; the second supporting part (400), side of the substrate; the driving part (402), the first and 2 at least one mobile support part, the first and 2 support the Ministry close to each other or contact are arranged in the first direction; and a transfer section will be arranged through the substrate first and a driving part 2 supporting a support along the first direction to move the other side.

【技術實現步驟摘要】
搬送裝置、搬送方法、曝光裝置、以及元件制造方法本申請是申請日為2011年2月17日，申請號為201180009815.0，專利技術名稱為“搬送裝置、搬送方法、曝光裝置、以及元件制造方法”的專利申請的分案申請。
本專利技術是關于搬送裝置、搬送方法、曝光裝置、以及元件制造方法。本申請案，是根據2010年2月17日提申的美國暫時申請第61/305，355號、及61/305，439號主張優先權，并將其內容援用于此。
技術介紹
在平面面板顯示器等電子元件的工藝中，是使用曝光裝置或檢查裝置等大型基板的處理裝置。在使用此等處理裝置的曝光步驟、檢查步驟中，是使用用以將大型基板(例如玻璃基板)搬送至處理裝置的如揭示于下述專利文獻的搬送裝置。[專利文獻][專利文獻1]日本特開2001－100169號公報
技術實現思路
上述的大型基板的搬送裝置中，因在將被基板支承構件支承的基板往基板保持部移交時基板與基板保持部之間會介在空氣之層，故有時會有移交后的基板產生變形，或基板對基板保持部上的載置位置產生載置偏移的情形。若移交后的基板產生載置偏移或變形，則在例如曝光裝置中會產生無法對基板上的適當正確的位置進行既定曝光等曝光不良的問題。當產生基板的載置偏移或變形時，為了解除該問題而例如通過重新進行基板的移交，會產生基板的處理遲延的問題。又，若為了在移交后不使空氣之層殘留而例如降低基板的移交速度，則會產生基板的處理更加遲延的問題。本專利技術的態樣，其目的在于提供能在不產生載置偏移或變形的情形下進行基板的移交的搬送裝置、搬送方法、曝光裝置、以及元件制造方法。根據本專利技術的第1態樣，是提供一種搬送裝置，其具備：第1支承部，對基板的一面供給氣體，能通過該氣體懸浮支承前述基板；第2支承部，能支承前述基板的前述一面；驅動部，使前述第1及第2支承部的至少一個移動，使該第1及第2支承部彼此接近或接觸并排列于第1方向；以及移送部，將通過前述驅動部而排列的前述第1及第2支承部的一方所支承的前述基板沿前述第1方向往另一方側移動。根據本專利技術的第2態樣，是提供一種搬送裝置，其具備：第1支承部，對基板的一面供給氣體，能通過該氣體懸浮支承前述基板；第2及第3支承部，能支承前述基板的前述一面；第1驅動部，使前述第1及第2支承部的至少一個移動，使該第1及第2支承部彼此接近或接觸并排列于第1方向；第2驅動部，使前述第1及第3支承部的至少一個移動，使該第1及第3支承部彼此接近或接觸并排列于第2方向；第1移送部，將通過前述第1驅動部而排列于前述第1支承部的前述第2支承部所支承的前述基板沿前述第1方向往前述第1支承部側移動；第2移送部，將通過前述第2驅動部而排列于前述第3支承部的前述第1支承部所支承的前述基板沿前述第2方向往前述第3支承部側移動。根據本專利技術的第3態樣，是提供一種搬送方法，搬送基板，其包含：使能通過對前述基板的一面供給的氣體以懸浮支承前述基板的第1支承部、及能支承前述基板的前述一面的第2支承部的至少一方移動，以使該第1及第2支承部彼此接近或接觸并排列于第1方向的動作；以及將所排列的前述第1及第2支承部的一方所支承的前述基板沿前述第1方向往另一方側移動的動作。根據本專利技術的第4態樣，是提供一種搬送方法，搬送基板，其包含：使能通過對前述基板的一面供給的氣體以懸浮支承前述基板的第1支承部及能支承前述基板的前述一面的第2支承部的至少一方移動，以使該第1及第2支承部彼此接近或接觸并排列于第1方向的動作；將排列于前述第1支承部的前述第2支承部所支承的前述基板沿前述第1方向往前述第1支承部側移動的動作；使前述第1支承部及能支承前述基板的前述一面的第3支承部的至少一方移動，以使該第1及第3支承部彼此接近或接觸并排列于第2方向的動作；以及將排列于前述第3支承部的前述第1支承部所支承的前述基板沿前述第2方向往前述第3支承部側移動的動作。根據本專利技術的第5態樣，是提供一種搬送裝置，其具備：第1支承部，對基板的一面供給氣體，能通過該氣體懸浮支承前述基板；第2支承部，能支承前述基板的前述一面；驅動部，使前述第1及第2支承部的至少一個移動，使該第1及第2支承部彼此接近或接觸并排列；移送部，將通過前述驅動部而排列的前述第2支承部所支承的前述基板沿前述排列方向往前述第1支承部側移動；頂起機構，通過停止前述氣體的供給，支承載置于前述第1支承部的載置部的前述基板并往該載置部的上方頂起；以及搬出機構，將通過該頂起機構而被支承于前述載置部上方的前述基板從前述第1支承部搬出。根據本專利技術的第6態樣，是提供一種搬送方法，搬送基板，其包含：使能通過對前述基板的一面供給的氣體以懸浮支承前述基板的第1支承部及能支承前述基板的前述一面的第2支承部的至少一方移動，以使該第1及第2支承部彼此接近或接觸并排列的動作；將所排列的前述第2支承部所支承的前述基板沿前述排列方向往前述第1支承部側移送的動作；通過停止前述氣體的供給，支承載置于前述第1支承部的載置部的前述基板并往該載置部的上方頂起的動作；以及將被支承于前述載置部上方的前述基板從前述第1支承部搬出的動作。根據本專利技術的第7態樣，是提供一種曝光裝置，以曝光用光使基板曝光，其具備：保持前述基板并使前述基板移動至前述曝光用光的照射區域的上述搬送裝置。根據本專利技術的第8態樣，是提供一種元件制造方法，其包含：使用上述曝光裝置于前述基板轉印前述圖案的動作；以及根據該圖案加工轉印有前述圖案的前述基板的動作。根據本專利技術的態樣，能在不產生載置偏移或變形的情形下進行基板的移交。附圖說明圖1為顯示曝光裝置的整體概略的剖面俯視圖。圖2為顯示腔室內的具體構成的外觀立體圖。圖3A為顯示板保持具的周邊構成的圖。圖3B為顯示板保持具的周邊構成的圖。圖4A為顯示搬入部的主要部位構成的圖。圖4B為顯示搬入部的主要部位構成的圖。圖5A為顯示搬出部的主要部位構成的圖。圖5B為顯示搬出部的主要部位構成的圖。圖6為說明基板對搬入用臺的移交步驟的圖。圖7A為板保持具及搬出部間的基板的搬送步驟的說明圖。圖7B為板保持具及搬出部間的基板的搬送步驟的說明圖。圖8為顯示于搬入用臺上懸浮支承有基板的狀態的圖。圖9為說明搬送搬入用臺上的基板的步驟的圖。圖10為說明基板移載至板保持具側的步驟的圖。圖11為說明于板保持具上載置有基板的狀態的圖。圖12為說明基板對搬出用臺的移交步驟的圖。圖13為顯示于搬出用臺上懸浮支承有基板的狀態的圖。圖14A為說明從板保持具往搬出部側的基板搬送的圖。圖14B為說明從板保持具往搬出部側的基板搬送的圖。圖14C為說明從板保持具往搬出部側的基板搬送的圖。圖15為說明從搬出部搬出基板的動作的圖。圖16A為顯示第2實施形態的搬入部的構成的圖。圖16B為顯示第2實施形態的搬入部的構成的圖。圖17為說明從搬入部往板保持具側搬送基板的構成的圖。圖18為用以說明接續于圖18的步驟的圖。圖19為顯示第3實施形態的板保持具構成的圖。圖20A為說明從搬入部往板保持具側搬送基板的構成的圖。圖20B為說明從搬入部往板保持具側搬送基板的構成的圖。圖21為顯示第4實施形態的構成的圖。圖22A為說明第4實施形態的基板的移交動作的圖。圖22B為說明第4實施形態的基板的移交動作的圖。圖22C為說明第4實施形態的基板的移交動作的圖。圖22D為說明本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種搬送裝置，其具備：第1支承部，對基板的一面供給氣體，能通過該氣體懸浮支承所述基板；第2支承部，能支承所述基板的所述一面；驅動部，使所述第1及第2支承部的至少一個移動，使該第1及第2支承部彼此接近或接觸并排列于第1方向；以及移送部，將通過所述驅動部而排列的所述第1及第2支承部的一方所支承的所述基板沿所述第1方向往另一方側移動。

【技術特征摘要】
2010.02.17 US 61/305,439;2010.02.17 US 61/305,3551.一種搬送裝置，其具備：第1支承部，對基板的一面供給氣體，能通過該氣體懸浮支承所述基板；第2支承部，能支承所述基板的所述一面；驅動部，使所述第1及第2支承部的至少一個移動，使該第1及第2支承部彼此接近或接觸并排列于第1方向；以及移送部，將通過所述驅動部而排列的所述第1及第2支承部的一方所支承的所述基板沿所述第1方向往另一方側移動。2.如權利要求1所述的搬送裝置，其中，所述驅動部，將所述第1及第2支承部于所述第1方向排列成所述第1及第2支承部的一方所支承的所述基板，配置于較所述第1及第2支承部的另一方高的位置。3.如權利要求2所述的搬送裝置，其中，所述驅動部，將所述第1及第2支承部于所述第1方向排列成支承有所述基板的所述第1及第2支承部的一方的上面部，配置于較所述第1及第2支承部的另一方的上面部高的位置。4.如權利要求1至3項中任一項所述的搬送裝置，其中，所述驅動部設置成至少一部分與所述第2支承部為一體。5.如權利要求1至4項中任一項所述的搬送裝置，其中，所述驅動部設成至少一部分能與所述第1支承部一體移動。6.如權利要求1至5項中任一項所述的搬送裝置，其中，所述第2支承部，對所述基板的所述一面供給氣體，能通過該氣體懸浮支承所述基板。7.如權利要求1至6項中任一項所述的搬送裝置，其中，所述第1及第2支承部配置成至少一部分在俯視下彼此重疊，所述驅動部使所述第1及第2支承部移動于至少垂直方向。8.如權利要求1至7項中任一項所述的搬送裝置，其中，所述移送部，具有以接觸于所述基板下面的狀態旋轉的滾子機構與規定所述基板對所述第1或第2支承部的位置的位置規定部；所述滾子機構，以使所述位置規定部抵接的方式移動所述基板。9.如權利要求1至7項中任一項所述的搬送裝置，其中，所述移送部，具有吸附保持所述基板的端部的吸附機構與檢測所述基板對所述第1或第2支承部的位置的位置檢測部；所述吸附機構，根據所述位置檢測部的檢測結果移動所述基板。10.如權利要求1至9項中任一項所述的搬送裝置，其具有使支承所述基板的所述第1或第2支承部的上面部傾斜的傾斜機構。11.如權利要求1至10項中任一項所述的搬送裝置，其具備檢測所述第1支承部與所述第2支承部的相對位置的位置檢測部。12.一種搬送裝置，其具備：第1支承部，對基板的一面供給氣體，能通過該氣體懸浮支承所述基板；第2及第3支承部，能支承所述基板的所述一面；第1驅動部，使所述第1及第2支承部的至少一個移動，使該第1及第2支承部彼此接近或接觸并排列于第1方向；第2驅動部，使所述第1及第3支承部的至少一個移動，使該第1及第3支承部彼此接近或接觸并排列于第2方向；第1移送部，將通過所述第1驅動部而排列于所述第1支承部的所述第2支承部所支承的所述基板沿所述第1方向往所述第1支承部側移動；以及第2移送部，將通過所述第2驅動部而排列于所述第3支承部的所述第1支承部所支承的所述基板沿所述第2方向往所述第3支承部側移動。13.如權利要求12所述的搬送裝置，其中，所述第1驅動部，將所述第1及第2支承部于所述第1方向排列成所述第2支承部所支承的所述基板，配置于較所述第1支承部高的位置。14.如權利要求13所述的搬送裝置，其中，所述第1驅動部，將所述第1及第2支承部于所述第1方向排列成支承有所述基板的所述第2支承部的上面部，配置于較所述第1支承部的上面部高的位置。15.如權利要求12至14項中任一項所述的搬送裝置，其中，所述第2驅動部，將所述第1及第3支承部于所述第2方向排列成所述第1支承部所支承的所述基板，配置于較所述第3支承部高的位置。16.如權利要求15所述的搬送裝置，其中，所述第2驅動部，將所述第1及第3支承部于所述第2方向排列成支承有所述基板的所述第1支承部的上面部，配置于較所述第3支承部的上面部高的位置。17.如權利要求12至16項中任一項所述的搬送裝置，其中，所述第1驅動部設置成至少一部分與所述第2支承部為一體；所述第2驅動部設置成至少一部分與所述第3支承部為一體。18.如權利要求12至17項中任一項所述的搬送裝置，其中，所述第1及第2驅動部，分別設成至少一部分能與所述第1支承部一體移動。19.如權利要求12至18項中任一項所述的搬送裝置，其中，所述第2及第3支承部配置于同一水平面內的相異位置。20.如權利要求12至19項中任一項所述的搬送裝置，其中，所述第2及第3支承部配置成至少一部分在俯視下彼此重疊，所述第1及第2驅動部，分別使所述第2及第3支承部移動于至少垂直方向。21.如權利要求12至20項中任一項所述的搬送裝置，其中，所述第2支承部及所述第3支承部的至少一方，對所述基板的所述一面供給氣體，能通過該氣體懸浮支承所述基板。22.如權利要求12至21項中任一項所述的搬送裝置，其具有使支承所述基板的所述第2支承部的上面部傾斜的第1傾斜機構與使支承所述基板的所述第1支承部的上面部傾斜的第2傾斜機構。23.如權利要求12至22項中任一項所述的搬送裝置，其具備檢測所述第1支承部與所述第2或所述第3支承部的相對位置的位置檢測部。24.如權利要求12至23項中任一項所述的搬送裝置，其中，所述第1移送部及第2移送部的至少一方，具有以接觸于所述基板下面的狀態旋轉的滾子機構、與規定作為所述基板的移動目的地的所述基板對所述第1支承部或第2支承部的位置的位置規定部；所述滾子機構，以使所述位置規定部抵接的方式移動所述基板。25.如權利要求12至23項中任一項所述的搬送裝置，其中，所述第1移送部及第2移送部的至少一個，具有吸附保持所述基板的端部的吸附機構、與檢測作為所述基板的移動目的地的所述基板對所述第1支承部或第2支承部的位置的位置檢測部；所述吸附機構，根據所述位置檢測部的檢測結果移動所述基板。26.如權利要求12至25項中任一項所述的搬送裝置，其中，所述第1驅動部排列所述第1及第2支承部的所述第1方向與所述第2驅動部排列所述第1及第3支承部的所述第2方向平行。27.如權利要求1至20項中任一項所述的搬送裝置，其中，所述第1支承部停止所述氣體的供給后將該基板載置于上面部。28.一種搬送方法，搬送基板，其包含：使能通過對所述基板的一面供給的氣體以懸浮支承所述基板的第1支承部、及能支承所述基板的所述一面的第2支承部的至少一方移動，以使該第1及第2支承部彼此接近或接觸并排列于第1方向的動作；以及將所排列的所述第1及第2支承部的一方所支承的所述基板沿所述第1方向往另一方側移動的動作。29.如權利要求28所述的搬送方法，其將所述第1及第2支承部于所述第1方向排列成所述第1及第2支承部的一方所支承的所述基板，配置于較所述第1及第2支承部的另一方高的位置。30.一種搬送方法，搬送基板，其包含：使能通過對所述基板的一面供給的氣體以懸浮支承所述基板的第1支承部及能支承所述基板的所述一面的第2支承部的至少一方移動，以使該第1及第2支承部彼此接近或接觸并排列于第1方向的動作；將排列于所述第1支承部的所述第2支承部所支承的所述基板沿所述第1方向往所述第1支承部側移動的動作；使所述第1支承部及能支承所述基板的所述一面的第3支承部的至少一方移動，以使該第1及第3支...

【專利技術屬性】
技術研發人員：金城麻子，牛島康之，花崎哲嗣，
申請(專利權)人：株式會社尼康，
類型：發明
國別省市：日本,JP