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搬送裝置，具備：第1支承部(3)，對基板的一面供給氣體，能通過氣體懸浮支承基板；第2支承部(400)，能支承基板的一面；驅動部(402)，使第1及第2支承部的至少一個移動，使第1及第2支承部彼此接近或接觸并排列于第1方向；以及移送部，將通過...
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