一種帶有防塵機構的獨立式晶圓檢選機制造技術

本實用新型專利技術公開了一種帶有防塵機構的獨立式晶圓檢選機，包括限位裝置與清理裝置，所述限位裝置包括限位工作臺，所述限位工作臺表面設有一體式結構的限位槽，所述限位槽表面通過粘貼方式設有升降板，所述升降板底部相對于限位槽內部設有彈簧b，所述限位槽兩側頂部設有一體式結構的活動槽，所述活動槽內部設有連接塊；通過在限位工作臺表面設有限位槽、升降板與夾塊，便于使用者將限位工作臺表面的物體進行固定，避免因工作人員不慎將晶圓碰落，對晶圓造成一定程度的損傷，通過在晶圓檢選機底部設有連接板、連接桿與清潔刮板，利用清潔刮板對晶圓檢選機底部表面的清理效果，便于使用者清理晶圓檢選機底部灰塵，避免因灰塵過多導致散熱效率降低。

【技術實現步驟摘要】
一種帶有防塵機構的獨立式晶圓檢選機
本技術屬于分選機
，具體涉及一種帶有防塵機構的獨立式晶圓檢選機。
技術介紹
分選機主要是由上料臺、檢測系統和分選系統3個部分組成。其中測量系統為整臺設備的核心部分，它又包含了厚度模組、線痕模組、隱形裂紋模組、臟污模組、邊緣模組和尺寸、翹曲模組。當晶圓從上料臺入片經過測量系統時，會被這6個模組分別檢測、對比，是否達到設定的要求，然后根據所測量的數值分選到對應的倉盒里面，較終將晶圓分選出不同的等級，且分選機可適用于八英寸晶圓與十二英寸晶圓。然而現有的帶有防塵機構的獨立式晶圓檢選機在使用的過程中仍存在一些不足之處，現有的帶有防塵機構的獨立式晶圓檢選機在使用時：1.現有的帶有防塵機構的獨立式晶圓檢選機在使用的過程中，工作臺表面沒有對需要處理的物體限位的裝置，使用者在工作的過程中，可能會因不慎碰撞，使得晶圓散落，且因為晶圓本身規格較小，不便于再尋找，造成一定程度的損失，且耽誤了工作進度。2.現有的帶有防塵機構的獨立式晶圓檢選機在使用的過程中，由于晶圓檢選機底部沒有便于清理的裝置，使得晶圓檢選機底部會積累一定程度的灰塵，灰塵會妨礙散熱且造成腐蝕，影響晶圓檢選機的使用，甚至縮短了晶圓檢選機的使用壽命。
技術實現思路
本技術的目的在于提供一種帶有防塵機構的獨立式晶圓檢選機，以解決上述
技術介紹
中提出現有的帶有防塵機構的獨立式晶圓檢選機在使用的過程中，工作臺表面沒有對需要處理的物體限位的裝置，使用者在工作的過程中，可能會因不慎碰撞，使得晶圓散落，且因為晶圓本身規格較小，不便于再尋找，造成一定程度的損失，且耽誤了工作進度，現有的帶有防塵機構的獨立式晶圓檢選機在使用的過程中，由于晶圓檢選機底部沒有便于清理的裝置，使得晶圓檢選機底部會積累一定程度的灰塵，灰塵會妨礙散熱且造成腐蝕，影響晶圓檢選機的使用，甚至縮短了晶圓檢選機的使用壽命的問題。為實現上述目的，本技術提供如下技術方案：一種帶有防塵機構的獨立式晶圓檢選機，包括限位裝置與清理裝置，所述限位裝置包括限位工作臺，所述限位工作臺表面設有一體式結構的限位槽，所述限位槽表面通過粘貼方式設有升降板，所述升降板底部相對于限位槽內部設有彈簧b，所述限位槽兩側頂部設有一體式結構的活動槽，所述活動槽內部設有連接塊，所述限位槽內部兩側設有夾塊，所述夾塊一端相對于限位槽內部通過粘貼方式設有彈簧a，且所述連接塊底部與夾塊相接，所述限位工作臺一側設有顯示屏，所述顯示屏底部設有急停按鈕，所述急停按鈕底部設有按鍵。優選的，所述清理裝置包括連接板，所述連接板頂部設有卡塊，所述卡塊頂部通過粘貼方式設有磁塊，所述連接板表面設有一體式結構的滑槽，所述連接板之間通過滑動卡合方式設有連接桿，且所述連接桿貫穿滑槽，所述連接桿兩側設有清潔刮板，所述連接板兩側設有支座。優選的，所述升降板的橫截面與限位槽的橫截面大小、形狀相同，且所述夾塊可在彈簧a收縮的狀態下完全沒入限位槽內部。優選的，所述連接板共兩個，處于所述晶圓檢選機底部兩側且位置相互對應，且所述晶圓檢選機底部設有與磁塊相適配的固定槽。優選的，所述磁塊與晶圓檢選機底部固定槽相接的狀態下，所述清潔刮板頂部與晶圓檢選機底部相接。與現有技術相比，本技術的有益效果是：1.通過在限位工作臺表面設有限位槽、升降板與夾塊，便于使用者將限位工作臺表面的物體進行固定，避免因工作人員不慎將晶圓碰落，對晶圓造成一定程度的損傷；2.通過在晶圓檢選機底部設有連接板、連接桿與清潔刮板，利用清潔刮板對晶圓檢選機底部表面的清理效果，便于使用者清理晶圓檢選機底部灰塵，避免因灰塵過多導致散熱效率降低，從而影響晶圓檢選機的使用，有效的延長了晶圓檢選機的使用壽命。附圖說明圖1為本技術的結構示意圖；圖2為本技術限位工作臺的結構示意圖；圖3為本技術限位工作臺的平面圖；圖4為本技術清理刮板的結構示意圖；圖中：1、顯示屏；2、急停按鈕；3、按鍵；4、連接板；5、限位工作臺；6、升降板；7、支座；8、滑槽；9、連接塊；10、活動槽；11、夾塊；12、限位槽；13、彈簧a；14、彈簧b；15、連接桿；16、清潔刮板；17、磁塊；18、卡塊。具體實施方式下面將結合本技術實施例中的附圖，對本技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本技術一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒炯夹g中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本技術保護的范圍。請參閱圖1-圖4，本技術提供一種技術方案：一種帶有防塵機構的獨立式晶圓檢選機，包括限位裝置與清理裝置，限位裝置包括限位工作臺5，限位工作臺5表面設有一體式結構的限位槽12，限位槽12表面通過粘貼方式設有升降板6，升降板6底部相對于限位槽12內部設有彈簧b14，限位槽12兩側頂部設有一體式結構的活動槽10，活動槽10內部設有連接塊9，限位槽12內部兩側設有夾塊11，夾塊11一端相對于限位槽12內部通過粘貼方式設有彈簧a13，且連接塊9底部與夾塊11相接，限位工作臺5一側設有顯示屏1，顯示屏1底部設有急停按鈕2，急停按鈕2底部設有按鍵3。為了便于清理晶圓檢選機底部灰塵，本實施例中，優選的，清理裝置包括連接板4，連接板4頂部設有卡塊18，卡塊18頂部通過粘貼方式設有磁塊17，連接板4表面設有一體式結構的滑槽8，連接板4之間通過滑動卡合方式設有連接桿15，且連接桿15貫穿滑槽8，連接桿15兩側設有清潔刮板16，連接板4兩側設有支座7。為了便于對需要處理的物體進行限位，本實施例中，優選的，升降板6的橫截面與限位槽12的橫截面大小、形狀相同，且夾塊11可在彈簧a13收縮的狀態下完全沒入限位槽12內部。為了連接板4固定在晶圓檢選機底部，本實施例中，優選的，連接板4共兩個，處于晶圓檢選機底部兩側且位置相互對應，且晶圓檢選機底部設有與磁塊17相適配的固定槽。為了便于清理晶圓檢選機底部表面，本實施例中，優選的，磁塊17與晶圓檢選機底部固定槽相接的狀態下，清潔刮板16頂部與晶圓檢選機底部相接。本技術的工作原理及使用流程：通過在限位工作臺5表面設有限位槽12，利用彈簧b14的伸縮性，使得升降板6表面放置物體時，彈簧b14受力收縮并帶動升降板6表面物體陷入限位槽12內部，并且限位槽12內部兩側夾塊11受彈簧a13彈力作用，對升降板6表面物體進行擠壓固定，通過在晶圓檢選機底部設有連接板4，并且在連接板4之間設有連接桿15與清潔刮板16，當清潔刮板16在滑槽8內運動時，清潔刮板16對晶圓檢選機底部表面灰塵擦除。將需要處理的物體安放在限位工作臺5表面，升降板6下降，并且夾塊11受力彈出對升降板6表面物體進行擠壓固定，并通過按鍵3對晶圓檢選機進行操作，當晶圓檢選機使用一段時間需要清理時，可將連接板4拿到晶圓檢選機底部，并使得磁塊17與晶圓檢選機底部固定槽吸附卡合，然后通過推動連接桿15使得清潔刮板16運動，并對晶圓檢選機底部表面進行清理。盡管已經示出和描述了本技術的實施例，對于本領域的普通技術人員而言，可以理解在不脫離本技術的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本技術的范圍由所附權利要求及其等同本文檔來自技高網...

【技術保護點】
1.一種帶有防塵機構的獨立式晶圓檢選機，包括限位裝置與清理裝置，其特征在于：所述限位裝置包括限位工作臺（5），所述限位工作臺（5）表面設有一體式結構的限位槽（12），所述限位槽（12）表面通過粘貼方式設有升降板（6），所述升降板（6）底部相對于限位槽（12）內部設有彈簧b（14），所述限位槽（12）兩側頂部設有一體式結構的活動槽（10），所述活動槽（10）內部設有連接塊（9），所述限位槽（12）內部兩側設有夾塊（11），所述夾塊（11）一端相對于限位槽（12）內部通過粘貼方式設有彈簧a（13），且所述連接塊（9）底部與夾塊（11）相接，所述限位工作臺（5）一側設有顯示屏（1），所述顯示屏（1）底部設有急停按鈕（2），所述急停按鈕（2）底部設有按鍵（3）。

【技術特征摘要】
1.一種帶有防塵機構的獨立式晶圓檢選機，包括限位裝置與清理裝置，其特征在于：所述限位裝置包括限位工作臺（5），所述限位工作臺（5）表面設有一體式結構的限位槽（12），所述限位槽（12）表面通過粘貼方式設有升降板（6），所述升降板（6）底部相對于限位槽（12）內部設有彈簧b（14），所述限位槽（12）兩側頂部設有一體式結構的活動槽（10），所述活動槽（10）內部設有連接塊（9），所述限位槽（12）內部兩側設有夾塊（11），所述夾塊（11）一端相對于限位槽（12）內部通過粘貼方式設有彈簧a（13），且所述連接塊（9）底部與夾塊（11）相接，所述限位工作臺（5）一側設有顯示屏（1），所述顯示屏（1）底部設有急停按鈕（2），所述急停按鈕（2）底部設有按鍵（3）。2.根據權利要求1所述的一種帶有防塵機構的獨立式晶圓檢選機，其特征在于：所述清理裝置包括連接板（4），所述連接板（4）頂部設有卡塊（18），所述卡塊（18）頂部...

【專利技術屬性】
技術研發人員：朱紅偉，孫健，劉少麗，朱威莉，
申請(專利權)人：江蘇納沛斯半導體有限公司，
類型：新型
國別省市：江蘇,32