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本實用新型公開了一種帶有防塵機構(gòu)的獨立式晶圓檢選機，包括限位裝置與清理裝置，所述限位裝置包括限位工作臺，所述限位工作臺表面設(shè)有一體式結(jié)構(gòu)的限位槽，所述限位槽表面通過粘貼方式設(shè)有升降板，所述升降板底部相對于限位槽內(nèi)部設(shè)有彈簧b，所述限位槽兩側(cè)...該專利屬于江蘇納沛斯半導(dǎo)體有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過江蘇納沛斯半導(dǎo)體有限公司授權(quán)不得商用。