【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種壓力傳感器,特別是一種陶瓷厚膜應變式壓力傳感器?,F有的壓力傳感器主要有金屬箔式壓力傳感器及硅壓阻式壓力傳感器,前者雖具有耐高溫、耐腐蝕性、高精確的特點,但產品質量受人為因素影響大,成本高,不適合大批量生產;后者雖具有成本低、適合大批量生產的特點,但耐高溫、耐腐蝕性較差,精度較低,不適合制造大量程的壓力傳感器。本技術的目的就是針對上述不足之處而提供一種耐高溫、耐腐蝕、精度高、成本低、適合大批量生產的陶瓷厚膜應變式壓力傳感器。本技術的技術解決方案是一種陶瓷厚膜應變式壓力傳感器,包括陶瓷彈生體及其上印制的厚膜應變計測量電阻、調零電阻、和連接導帶,其特征是所述的陶瓷彈性體包括一個彈性平膜片,該平膜片設有圓環形周邊固支體,該固支體上開有一環形槽。調零電阻印制在與周邊固支體正對的彈性平膜片上。本技術技術解決方案中所述的周邊固支體上可設有螺紋,以便于與外殼連接。本技術技術解決方案中所述的周邊固支體上還可設有便于安裝的凸沿。本技術由于采用陶瓷彈性體及厚膜電阻應變計,因而具有耐高溫、耐腐蝕、成體低、適合大批量生產的特點。由于在周邊固支體上設有環形槽,可消除外殼、接頭與陶瓷彈性體之間由于安裝及受熱而產生應力對傳感器精度的影響。由于調零電阻印制在與周邊固支體正對的彈性平膜片上,可減少由于激光調阻使彈性平膜片、特別是在測量電阻所處的彈性平膜片產生的機械損傷,以致彈性平膜片在工作時即使受較大應力也不會失效。由于測量電阻、調零電阻印制在同一塊彈性平膜片上,且一次印制完成,其各項性能較一致,具有較高的精度和可靠性。由于周邊固支體上設有螺紋或凸邊,便于與外殼或接頭固定 ...
【技術保護點】
一種陶瓷厚膜應變式壓力傳感器,包括陶瓷彈性體及其上印制的厚膜應變計測量電阻(6)、調零電阻(7)、和連接導帶(5),其特征是:所述的陶瓷彈性體包括一個彈性平膜片(1、8),該平膜片(1、8)設有圓環形周邊固支體(2、9),該固支體(2、9)上開有一環形槽(3、10);調零電阻(7)印制在與周邊固支體(2、9)正對的彈性平膜片(1、8)上。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員:徐忠民,黃國偉,
申請(專利權)人:黃國偉,徐忠民,
類型:實用新型
國別省市:42[中國|湖北]
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