光波導元件及多聯光波導元件制造技術

本發明專利技術提供通過目測容易識別光回路及波導圖案的光波導元件及多聯光波導元件。涉及本發明專利技術的光波導元件及多聯光波導元件（１０）在包覆光回路（２６）及石英玻璃基片（２１）的包層（２３）的上面至少在周緣部或整個面上接合了設置有光反射膜（２９）的透明片（２４）。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及在石英玻璃基片上設置光回路的光波導元件及在石英玻璃基片上設置多個光回路的多聯光波導元件。
技術介紹
作為光學器件，有在石英玻璃基片上設置光回路的同時，設置包覆該光回路及石英玻璃基片的包層，進一步在該包層表面接合用于保護光元件端面的透明板(例如石英玻璃)的光波導元件。如圖4所示，通過在石英玻璃基片51上設置多個光回路56(在圖4中是5個)及切斷時作為切開基準的波導圖案57(在圖4中是4個)，設置包覆該光回路56、波導圖案57、石英玻璃基片51的包層53，并使用切斷用鋸沿波導圖案57切斷在該包層53的表面上接合了透明片54的多聯光波導元件40，完成光波導元件。專利文獻1特開2001-18光波導元件3538號公報然而，在多聯光波導元件40中，顛倒了圖4的沿5-5線的剖面圖的上下面的圖如圖5所示，若將石英玻璃基片51、光回路56及波導圖案57、包層53及透明片54全部用石英玻璃(SiO2)構成，則由于多聯光波導元件40無色透明，因此，光L2幾乎完全透過。其結果，作業人員很難通過目測識別、確認波導圖案57及光回路56。
技術實現思路
鑒于這種情況而首創的本專利技術的目的在于，提供通過目測容易識別光回路及波導圖案的光波導元件及多聯光波導元件。為了達到上述目的，涉及本專利技術的光波導元件在由石英玻璃基片、用于在該石英玻璃基片上傳播光信號的多個光回路、包覆該光回路及上述石英玻璃基片的包層以及與該包層表面接合而設置的透明片構成的光波導元件中，至少在上述透明片的接合面的周緣部或整個面上設置了光反射膜。還有，涉及本專利技術的多聯光波導元件在由石英玻璃基片、用于在該石英玻璃基片上傳播光信號的多個光回路、包覆該光回路及上述石英玻璃基片的包層以及與該包層表面接合而設置的透明片構成的多聯光波導元件中，至少在上述透明片的接合面的周緣部或整個面上設置了光反射膜。光波導元件及多聯光波導元件的各個光反射膜由非金屬材料或金屬材料構成。根據本專利技術，每按各個光波導元件切斷多聯光波導元件時，發揮能夠容易且可靠地切開的良好的效果。附圖說明圖1是涉及適于本專利技術的一個實施例的多聯光波導元件的俯視圖。圖1(a)是在周緣部上設置了光反射膜的透明片的俯視圖，圖1(b)是未接合透明片的光波導元件的俯視圖，圖1(c)是顛倒接合有透明片的光波導元件上下面時的硅片一側的俯視圖。圖2是圖1(c)的沿2-2線的剖面圖。圖3是表示圖1的一個變形例的立體圖。圖3(a)是多聯光波導元件的立體圖。圖3(b)是切斷圖3(a)的多聯光波導元件而成的多聯光波導元件的立體圖。圖4是現有多聯光波導元件的俯視圖。圖5是顛倒了圖4的沿5-5線的剖面圖的上下面的圖。附圖標記10—多聯光波導元件、21—石英玻璃基片、22—波導、23—包層、24—透明片、26—光回路、28—接合面、29—光反射膜具體實施方式下面根據附圖說明適于本專利技術的一個實施例。涉及適于本專利技術的一個實施例的多聯光波導元件的俯視圖如圖1所示。圖1(a)是在周緣部上設置了光反射膜的透明片的俯視圖，圖1(b)是未接合透明片的光波導元件的俯視圖，圖1(c)是顛倒了接合有透明片的光波導元件上下面時的硅片一側的俯視圖。還有，圖1(c)的沿2-2線的剖面圖如圖2所示。如圖1(a)～圖1(c)、圖2所不，涉及本專利技術的實施例的多聯光波導元件10，通過在石英玻璃基片21上設置由石英類波導22構成的多個光回路26(在圖1(c)中是5個)及切斷時作為切開基準的多個波導圖案27(在圖1(c)中是4個)，設置包覆該光回路26、波導圖案27、石英玻璃基片21的包層23，并在該包層23的表面上接合在周緣部上設置光反射膜29的透明片24(例如由石英玻璃構成)而構成。通過做成這種結構，透明片24的接合面28的周緣部成為光反射區域(圖1(c)中的網狀部分)。這里，由于隨設置于透明片24的接合面28一側的光反射膜29的面積增加，有包層23與透明片24之間的接合力漸漸地降低的危險，因此，理想的是，將光反射膜29設置在透明片24的接合面28一側的周緣部上。光反射膜29由非金屬材料即非結晶型硅(a-Si)或硅(Si)等組成。還有，光反射膜29也可以由金屬材料即金(Au)、鈦(Ti)或鋁(Al)等構成。若作為光反射膜29的構成材料使用非金屬材料即非結晶型硅或硅等，則由于與光波導元件的材料即石英之間的線膨脹系數相近，因此，具有光波導元件的翹曲較小并能夠防止對光學特性及可靠性的不良影響等特征。還有，若作為光反射膜29的構成材料使用金屬材料，則由于其反射率優于非金屬材料，因此，具有容易目測確認的特征。作為形成光反射膜29的方法，可舉出CVD法、真空蒸鍍法或陰極真空噴鍍法等。至于光反射膜29的厚度，只要是能夠充分反射光L1(參見圖2)的厚度，則不做特別限定，但理想的是做成0.05～2.0μm，更為理想的是做成0.1～1.0μm。這是由于若光反射膜29的厚度過厚則包層23與透明片24之間的接合性降低之故。作為石英玻璃基片21、波導22、包層23及透明片24的材料，可應用作為光導波用的石英材料慣用的所有材料，因此，對此不做特別限定。下面說明涉及本專利技術的多聯光波導元件10的作用。如圖1(a)～圖1(c)所示，在多聯光波導元件10中，在透明片24的接合面28一側的周緣部上設置有光反射膜29。該光反射膜29帶色彩，用于反射光線。因此，如圖2所示，從多聯光波導元件10的石英玻璃基片21入射的光L1在光反射膜29被反射。此時，如圖1(c)所示，波導圖案27的各個端部17及光回路26的各個端部16位于光反射膜29的上面。由于光回路26、波導圖案27及包層23(參見圖2)其折射率相異，因此，在反射該光線時，在各個端部16、17和包層23上，波導的可見方式即色彩、色調相異。因此，當作業人員從石英玻璃基片21一側觀察多聯光波導元件10時，通過光反射能夠容易地識別、確認各個端部16、17。其結果，通過作業人員在將多聯光波導元件10的石英玻璃基片21一側朝上的狀態下，通過以波導圖案27的各個端部17作為基準進行切斷，能夠容易且可靠地按各個光波導元件(例如在圖1(c)中是1×4的光分離)進行切斷。還有，由于不僅是波導圖案27的各個端部17，連光回路26的各個端部16也能目測識別，因此，即使因某種不良情況使得目測識別波導圖案27的各個端部17困難，也能按各個光波導元件進行切斷。在涉及本實施例的多聯光波導元件10中，對于在透明片24的接合面28一側的整個周緣部上設置了光反射膜29的情況進行了說明，但如圖1(c)所示，只要在能夠目測識別波導圖案27的各個端部17及光回路26的各個端部16或至少波導圖案27的各個端部17或至少光回路26的各個端部16的范圍內設置光反射膜29即可，因此，對此不做特別限定。例如，由于具有多聯光波導元件10的切開部(即各個端部16、端部17)的兩個端面(在圖1(c)中是左右端面)不具有各個端部16、17，因此，不特別需要光反射膜29。因此，在透明片24的接合面28一側的周緣部上且只在與切開兩端面對應的一側設置光反射膜29也可以。由此，能夠降低光反射膜29的原料成本。還有，在涉及本實施例的多聯光波導元件10中，對于在包層23的整個面上設置了透明片24的情況進行了說明，但透明片24未本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種光波導元件，由石英玻璃基片、用于在該石英玻璃基片上傳播光信號的多個光回路、包覆該光回路及所述石英玻璃基片的包層以及與該包層表面接合而設置的透明片構成，其特征在于，至少在所述透明片的接合面的周緣部或整個面上設置光反射膜。

【技術特征摘要】
...

【專利技術屬性】
技術研發人員：石川弘，白田知之，堀江誠，鈴木仁，
申請(專利權)人：日立電線株式會社，
類型：發明
國別省市：JP[日本]