本實(shí)用新型專利技術(shù)提供一種阻擋放電燈及紫外線照射單元，具有恰當(dāng)?shù)陌l(fā)光特性，進(jìn)而抑制發(fā)光特性的下降。阻擋放電燈包括圓筒狀的發(fā)光管、內(nèi)部電極、外部電極及散熱塊。發(fā)光管中封入有氣體，并使紫外光透過。內(nèi)部電極配置在發(fā)光管的內(nèi)部，并在發(fā)光管的管軸方向上延伸。外部電極在發(fā)光管的周向上以180度以上及300度以下的角度覆蓋發(fā)光管。散熱塊隔著外部電極而與發(fā)光管相對。光管相對。光管相對。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
阻擋放電燈及紫外線照射單元
[0001]本技術(shù)的實(shí)施方式涉及一種阻擋放電燈及紫外線照射單元。
技術(shù)介紹
[0002]之前，已知有以基板的清洗或改質(zhì)為目的來使用的阻擋放電燈。阻擋放電燈利用通過將配置在作為電介質(zhì)的發(fā)光管的內(nèi)部的螺旋狀的內(nèi)部電極與配置在發(fā)光管的外部的外部電極連接于交流電源而發(fā)生的電介質(zhì)阻擋放電，放射具有與被收容在發(fā)光管的內(nèi)部的氣體相應(yīng)的特定的波長的紫外光。
[0003][現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)][0004][專利文獻(xiàn)][0005][專利文獻(xiàn)1]日本專利特開2013-211164號公報(bào)
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
[0006][技術(shù)所要解決的問題][0007]在所述那樣的阻擋放電燈中，例如由于外部電極或發(fā)光管的尺寸等，而存在無法獲得恰當(dāng)?shù)陌l(fā)光特性的情況或發(fā)生發(fā)光特性的下降的情況。
[0008]本技術(shù)要解決的課題在于，提供一種具有恰當(dāng)?shù)陌l(fā)光特性，進(jìn)而可抑制發(fā)光特性的下降的阻擋放電燈及紫外線照射單元。
[0009][解決問題的技術(shù)手段][0010]實(shí)施方式的阻擋放電燈包括圓筒狀的發(fā)光管、內(nèi)部電極、外部電極及散熱塊。發(fā)光管中封入有氣體，使紫外光透過。內(nèi)部電極配置在發(fā)光管的內(nèi)部，在發(fā)光管的管軸方向上延伸。外部電極在發(fā)光管的周向上以180[
°
]以上且300[
°
]以下的角度覆蓋發(fā)光管。散熱塊隔著外部電極而與發(fā)光管相對。
[0011][技術(shù)的效果][0012]根據(jù)本技術(shù)，具有恰當(dāng)?shù)陌l(fā)光特性，進(jìn)而，可抑制發(fā)光特性的下降。
附圖說明
[0013]圖1是表示實(shí)施方式的紫外線照射單元的圖。
[0014]圖2是圖1的A-A剖面圖。
[0015]圖3是表示評價試驗(yàn)1的結(jié)果的圖。
[0016]圖4是表示評價試驗(yàn)2的結(jié)果的圖。
[0017]圖5是表示評價試驗(yàn)3的結(jié)果的圖。
[0018][附圖標(biāo)記說明][0019]1：阻擋放電燈
[0020]2：發(fā)光管
[0021]2a：內(nèi)表面
[0022]2b：外表面
[0023]3：內(nèi)部電極
[0024]3a：線圈部
[0025]4：反射膜
[0026]5：燈頭
[0027]6：引線
[0028]7：外部電極
[0029]7a：外表面
[0030]7b：端部
[0031]8：散熱塊
[0032]8a：內(nèi)表面
[0033]8b：端面
[0034]100：紫外線照射單元
[0035]L3、L4：長度
[0036]P：間隔
[0037]t：厚度
[0038]θ4、θ7：角度
[0039]X、Y、Z：軸
具體實(shí)施方式
[0040]以下說明的實(shí)施方式的阻擋放電燈1包括圓筒狀的發(fā)光管2、內(nèi)部電極3、外部電極7及散熱塊8。發(fā)光管2中封入有氣體，使紫外光透過。內(nèi)部電極3配置在發(fā)光管2的內(nèi)部，在發(fā)光管2的管軸方向上延伸。外部電極7以與內(nèi)部電極3相向的方式設(shè)置在發(fā)光管2的外表面2b側(cè)，在發(fā)光管2的周向上以180[
°
]以上且300[
°
]以下的角度θ7覆蓋發(fā)光管2。散熱塊8隔著外部電極7而與發(fā)光管2相對。
[0041]而且，以下說明的實(shí)施方式的外部電極7具有超過0[mm]且在1.0[mm]以下的厚度t。
[0042]而且，以下說明的實(shí)施方式的發(fā)光管2的外徑D1[mm]及外部電極7的內(nèi)徑D2[mm]具有0.93≦D1/D2≦0.99的關(guān)系。
[0043]而且，以下說明的實(shí)施方式的紫外線照射單元100包括一個或多個阻擋放電燈1。
[0044]以下，基于附圖來對本技術(shù)的實(shí)施方式進(jìn)行說明。另外，以下所示的實(shí)施方式并不限定本技術(shù)所公開的技術(shù)。
[0045][實(shí)施方式][0046]圖1是表示實(shí)施方式的紫外線照射單元的圖，圖2是圖1的A-A剖面圖。如圖1及圖2所示，實(shí)施方式的紫外線照射單元100具有一個或多個阻擋放電燈1、外部電極7、散熱塊8。
[0047]另外，為了使說明容易理解，在圖1及圖2中圖示了包括以照射方向?yàn)檎较虻腪軸的三維的正交坐標(biāo)系。而且，在圖1中，省略了外部電極7及散熱塊8的圖示。
[0048]阻擋放電燈1在與設(shè)置于阻擋放電燈1的外表面?zhèn)鹊耐獠侩姌O7之間進(jìn)行阻擋放電。另外，在本實(shí)施方式中，采用在阻擋放電燈1的外表面?zhèn)染哂型獠侩姌O7的構(gòu)成，但可以
將組合有阻擋放電燈1與外部電極7的形態(tài)，更具體而言是組合有后述的發(fā)光管2與外部電極7的形態(tài)稱為“阻擋放電燈”，也可以將組合有阻擋放電燈1、外部電極7及散熱塊8的形態(tài)稱為“阻擋放電燈”。
[0049]如圖1及圖2所示，阻擋放電燈1具有發(fā)光管2、內(nèi)部電極3、反射膜4、燈頭5、引線6。發(fā)光管2是使紫外光透過的圓筒狀的構(gòu)件。作為發(fā)光管2的材料，例如可例示波長200[nm]以下的真空紫外線透過率高的合成石英。具體而言，例如，可將信越石英制造的合成石英F-310用作發(fā)光管2的材料。而且，發(fā)光管2的管軸方向(X軸方向)的兩端由具有芯柱結(jié)構(gòu)(stem structure)的密封構(gòu)件保持，被氣密地密封。
[0050]而且，在發(fā)光管2的內(nèi)部封入有氣體。氣體例如是80[kPa]～200[kPa]的氙氣。具體而言，例如，93[kPa]的氙氣被填充在發(fā)光管2的內(nèi)部。另外，氣體例如可包含氪、氙、氬、氖等中的一種、或?qū)⒍喾N組合而成的氣體來構(gòu)成。進(jìn)而，氣體也可視需要包含例如鹵素氣體。發(fā)光管2可發(fā)出具有與被封入的氣體的種類相應(yīng)的特定的峰值波長的紫外光(準(zhǔn)分子光)。在清洗液晶面板用玻璃的表面的用途中，例如可使用放射波長172[nm]的真空紫外光的發(fā)光管2。
[0051]內(nèi)部電極3配置在發(fā)光管2的內(nèi)部。內(nèi)部電極3的作為螺旋狀的導(dǎo)體的線圈部3a在發(fā)光管2的管軸方向上延伸。內(nèi)部電極3例如由包含鎢的材料來形成。具體而言，內(nèi)部電極3的總成分中的50[％]以上的成分為鎢。尤其，若將在鎢中添加鉀等而成的摻雜鎢用作內(nèi)部電極3，則可具有更高的尺寸穩(wěn)定性。具體而言，例如，可使用普蘭西(Plansee)制造的鉀摻雜鎢WK75作為內(nèi)部電極3的材料。
[0052]而且，內(nèi)部電極3的線徑φ例如可設(shè)為0.5[mm]以上且1.0[mm]以下。而且，內(nèi)部電極3中，例如可將線圈部3a的管軸方向的間隔P設(shè)為例如10[mm]以上且50[mm]以下。具體而言，例如，可使用將線圈部3a的間隔P設(shè)為30[mm]的內(nèi)部電極3。
[0053]反射膜4設(shè)置于發(fā)光管2的內(nèi)表面2a，將紫外光向發(fā)光管2的內(nèi)部反射。作為反射膜4的材料，例如可例示二氧化硅。而且，反射膜4并不限于二氧化硅，例如也可以包括包含氧化鋁等的紫外線散射粒子的材料。反射膜4在發(fā)光管2的周向上以180[
°
]以上，例如200[
°
]以上且300[
°
]以下的角度θ4配置。而且，反射膜4的管軸方向的長度L4以大于等于內(nèi)部電本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
【技術(shù)特征摘要】
1.一種阻擋放電燈，其特征在于，包括：圓筒狀的發(fā)光管，封入有氣體，并使紫外光透過；內(nèi)部電極，配置在所述發(fā)光管的內(nèi)部，并在所述發(fā)光管的管軸方向上延伸；外部電極，以與所述內(nèi)部電極相向的方式設(shè)置在所述發(fā)光管的外表面?zhèn)龋谒霭l(fā)光管的周向上以180度以上且300度以下的角度覆蓋所述發(fā)光管；以及散熱塊，隔著所述外部電極而與所述發(fā)光管相對。2.根據(jù)權(quán)利要求...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：聶棟興，日野弘喜，矢內(nèi)啟資，前田祥平，藤岡純，
申請(專利權(quán))人：東芝照明技術(shù)株式會社，
類型：新型
國別省市：
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