控制規格界限的制定方法技術

本發明專利技術提供了一種統計過程控制（Ｓｔａｔｉｓｔｉｃａｌ　　Ｐｒｏｃｅｓｓ　　Ｃｏｎｔｒｏｌ，ＳＰＣ）的控制規格界限的制定方法，包含下列步驟ａ）提供一個樣本群體；ｂ）從該樣本群體中，以拔靴重抽樣（Ｂｏｏｔｓｔｒａｐ　　Ｒｅｓａｍｐｌｉｎｇ）方式選取出ｋ組拔靴重抽樣樣本（Ｂｏｏｔｓｔｒａｐ　　Ｓａｍｐｌｅｓ）群體；ｃ）從該ｋ組拔靴重抽樣樣本群體，分別求出ｋ組樣本平均值與相對標準差；以及ｄ）從該ｋ組樣本平均值與相對標準差，求出一控制平均值與一控制標準差，其中所述控制規格界限為該控制平均值與該控制標準差的函數。

Method for setting control specification limits

The invention provides a statistical process control (Statistical Process Control, SPC) methods to establish control specification limits, a) includes the steps of providing a sample group; b) from the sample groups, to bootstrap sampling (Bootstrap Resampling) selected from the K group of bootstrap samples (Bootstrap Samples) group; c) from the K group of bootstrap sample groups were obtained in K group sample mean and relative standard deviation; and D) from the K group of sample mean and relative standard deviation, a control mean value and standard deviation of a control, wherein the control specification limits for the control of average value and standard deviation of the control Function.

【技術實現步驟摘要】

本專利技術有關 一種應用于統計過程控制的方法，尤指 一種應用于統計過程 控制的。
技術介紹
統計質量管理(Statistical Quality Control, SQC)是一項維持與改善產品質 量的技術，而統計過程控制(Statistical Process Control, SPC)則是其中一項主要 的工具，它著重于制造過程中數據的分析，以判定產品發生變異的原因。所 以統計質量管理包含兩個主要部分，統計過程控制與抽樣允收標準。統計過 程控制SPC是利用過程操作變量對生產變量或產品的質量變量進行預測性監 控。因此，統計過程控制的利用，可謂起于檢測過程異常，確實掌握過程狀 態，避免異常發生，最終目的是確保產品的質量符合規格。對于極度講求質量優良率的晶片生產廠而言，統計過程控制的重要性當 然更為重要。然而在當新產品的初期導入及批量生產，若仍需建立異常監控 機制時，卻常因初期導入數據量不足，且晶片測試數據(例如優良率或不良率) 的分配不屬于常態分配(Normal Distribution),所以不易訂立出測試數據的抽 樣允收限制條件。另一方面，當統計過程控制中的數據是非常態分配的數據 時，可能以統計所得的四倍標準差(4cj)取代六倍標準差(60)來定義控制 規格界限，但該作法卻常將控制規格界限訂立得太過嚴格，而使得依照該控 制規格界限實際進行控制時，產生過度檢驗(Overkill)的現象，從而增加失控 狀態(Out-of-Control,OOC)比率。另外，由此訂立的控制規格界限也可能發生 低靈敏度(Lowsensitivity)的現象，即所訂立的控制規格界限太過寬松，無法 篩檢出異常數據。為了解決上述問題，現有技術曾以博克斯-卡克斯數據轉換(Box-Cox transformation method)的方法來區分影響目標值與變異值的噪聲。非常態分 布的數據通過博克斯-卡克斯數據轉換可以得到常態分布間的對應數據，如 此便可以獲得較為合理的控制規格界限。但利用博克斯-卡克斯數據轉換，在冪次轉換(power transformation)后的逆轉換(inverse)所得到的六倍標準差 (6a)可能會超出原數據域(Domain)而得到不合理的控制上限(Upper Control Limit, UCL)。而且合理的控制上限UCL必須花費相當的時間與精力進行錯誤 嘗試(Try and error)才可以獲得。并且具有人為判斷的風險。因此，如何研發一種應用于訂立統計過程控制的控制規格界限的方法， 以最精簡的步驟流程就可以訂立合理的控制規格界限，同時避免過度檢驗或 無法篩檢出異常數據的現象發生，這的確是目前相關領域所需積極發展研究 的目標。本專利技術的專利技術人等，精心研究，并根據其從事該項研究領域多年的 經驗，提出本專利技術的應用于訂立統計過程控制的控制規格界限的方法，通過 引入拔靴重抽樣(Bootstrap Resampling)手段，可以有效解決現有技術的問題， 是一項不可多得的專利技術。
技術實現思路
本專利技術的主要目的是提供一種應用于制定統計過程控制的控制規格界限 的方法，通過引入拔靴重抽樣的手段，以最精簡的步驟流程就可以以少量的 樣本數，訂立出合理的控制規格界限，同時避免了過度檢驗或無法篩檢出異 常數據的現象發生，解決現有技術的問題。為達到上述目的，本專利技術的一個較廣義實施形態為提供一種統計過程控 制的，包含下列步驟a)提供一母群體；b)從該母群 體選取出一樣本群體；c)從該樣本群體，選取多個樣本；d)根據該多個樣本， 求出一樣本平均值與相對標準差；e)重復步驟c)與步驟d)直到獲取k組樣本 平均值與相對標準差；以及f)分別求出該k組樣本平均值與相對標準差的平 均值，以獲的一控制平均值與一控制標準差，其中所述控制規格界限為該控 制平均值與該控制標準差的函數。根據本專利技術構想，其中該控制規格界限用于半導體晶片生產過程控制。 根據本專利技術構想，其中該步驟c)以拔靴重抽樣的方式進行。根據本專利技術構想，其中該拔靴重抽樣由電子表格的VBA應用程序(Visual Basic for Applications)所冗成。根據本專利技術構想，其中所述控制規格界限為該控制平均值加上六倍的該 控制標準差。根據本專利技術構想，其中該樣本群體為特定的晶片的測試數據群體。根據本專利技術構想，其中該樣本群體是由測試系統模塊所得到的數據樣本。根據本專利技術構想，其中該母群體為一非常態分配(Non Normal Distribution)群體。根據本專利技術構想，其中該樣本群體為一非常態分配群體。 為達到上述目的，本專利技術的另 一個較廣義實施形態為提供一種統計過程 控制的，其步驟則至少包含a)提供一樣本群體；b) 從該樣本群體，以一拔靱重抽樣方式選取出n組拔靴重抽樣樣本(Bootstrap Samples)群體；c)從該n組拔靴重抽樣樣本群體，分別求出n組樣本平均值與 相對標準差；以及d^人該n組樣本平均值與相對標準差，求出一控制平均值 與一控制標準差，其中所述控制規格界限為該控制平均值與該控制標準差的 函數。根據本專利技術構想，其中所述控制規格界限用于半導體晶片生產過程控制。 根據本專利技術構想，其中該拔靴重抽樣由電子表格的VBA應用程序所完成。根據本專利技術構想，其中所述控制規格界限為該控制平均值加上六倍的該 控制標準差。根據本專利技術構想，其中該樣本群體為特定的晶片的測試數據群體。 根據本專利技術構想，其中該樣本群體是由測試系統模塊所得到的數據樣本。 根據本專利技術構想，其中該控制平均值為所述n組樣本平均值的平均。 根據本專利技術構想，其中該控制標準差為所述n組相對標準差的平均。 根據本專利技術構想，其中該樣本群體取自 一非常態分配的母群體。 根據本專利技術構想，其中該樣本群體為一非常態分配群體。 為達到上述目的，本專利技術的另一較廣義實施形態為提供一種應用于半導體 統計過程控制的，其步驟包含將測試機測試后所 得到的晶片測試數據儲存在數據存儲庫;通過使用者接口從該數據存儲庫取 出一樣本群體;利用統計分析引擎對該樣本群體進行計算，其中該計算包括下 列步驟:a)從該樣本群體，以一拔靴重抽樣方式選取出n組拔靴重抽樣本群體；b) 從該n組拔靴重抽樣樣本群體，分別求出n組樣本平均值與相對標準差；c) 從該n組樣本平均值與相對標準差，求出一控制平均值與一控制標準差； 以及將該控制平均值加上六倍的該控制標準差制定為該控制規格界限。根據本專利技術構想，其中該拔靴重抽樣由電子表格的VBA應用程序所完成。根據本專利技術構想，其中該樣本群體為特定的晶片的測試數據群體。根據本專利技術構想，其中該控制平均值為所述n組樣本平均值的平均。 根據本專利技術構想，其中該控制標準差為所述n組相對標準差的平均。附圖說明圖1揭示了根據本專利技術優選實施例的統計過程控制的控制規格界限的制 定方法的流^E圖。圖2揭示了根據本專利技術另 一 實施形態的的示意圖。圖3揭示了根據本專利技術再一實施形態的示意具體實施例方式體現本專利技術特征與優點的一些典型實施例將在后面的說明中詳細敘述。 應當理解的是，本專利技術能夠在不同的形態上具有各種的變化，其都不脫離本 專利技術的范圍，并且其中的說明及圖示在本質上是用作說明，而并非用來限制 本專利技術。請參閱圖1,揭示了根據本專利技術優選實施例的較廣義實施形態為提供一 種本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種統計過程控制的控制規格界限的制定方法，包含下列步驟：ａ）提供一母群體；ｂ）從該母群體選取出一樣本群體；ｃ）從該樣本群體，選取多個樣本；ｄ）根據該多個樣本，求出樣本平均值與相對標準差；ｅ）重復步驟ｃ ）與步驟ｄ），直到獲取ｋ組樣本平均值與相對標準差；以及ｆ）分別求出該ｋ組樣本平均值與相對標準差的平均值，以獲得一控制平均值與一控制標準差，其中所述控制規格界限為該控制平均值與該控制標準差的函數。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：呂建輝，林正淇，張惟富，
申請(專利權)人：力晶半導體股份有限公司，
類型：發明
國別省市：71[中國|臺灣]