一種簡易拋光機臺制造技術

本實用新型專利技術提供了一種簡易拋光機臺，其具有基座和設置在基座上用于拋光晶粒的拋光臺。現有技術中拋光臺上并未設置夾持晶粒的夾持模塊，而采用人工方式夾持晶粒進行拋光，存在著拋光質量不高和浪費人力的問題。本實用新型專利技術的簡易拋光機臺還具有設置在基座上且用于夾持晶粒以在拋光臺上拋光的夾持模塊，該夾持模塊具有一架設在拋光臺上的支架和多個設置在該支架上且用于夾持晶粒的夾持單元。采用本實用新型專利技術可提高拋光質量和拋光效率，并大大節約人力。（*該技術在2018年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及拋光機臺，尤其涉及一種簡易拋光機臺。
技術介紹
為確保半導體器件的質量，現通常會對完成某些半導體制造工藝后的晶圓進行檢測，對晶圓進行檢測時，通常會將晶圓切割成微小的晶粒(4-6平方毫米 左右)，之后在如圖1所示的現有技術的簡易拋光機臺上進行拋光從而形成需 要的檢測面(包括平面、斷面和斜面)。參見圖1,現有技術的簡易拋光機臺具 有基座l和設置在基座l上用于拋光晶粒的拋光臺2,在拋光臺2上拋光晶粒時， 需操作人員手持晶粒進行拋光且通過人工施加壓力來控制拋光。但是上述通過人工方式來控制晶粒拋光存在著諸多問題首先，人工方式 存在著受力不均、時間不等和難以確保拋光質量的問題；再者，人工方式存在 浪費人力成本的問題。因此，如何提供一種簡易拋光機臺以提高晶粒拋光的質量，并大大節約人 力，已成為業界亟待解決的技術問題。
技術實現思路
本技術的目的在于提供一種筒易拋光機臺，通過所述拋光機臺可高效、 高質量且經濟的進行拋光。本技術的目的是這樣實現的 一種筒易拋光機臺，其具有基座和設置 在基座上用于拋光晶粒的拋光臺，該簡易拋光機臺還具有設置在基座上且用于 夾持晶粒以在拋光臺上拋光的夾持模塊，該夾持模塊具有一架設在拋光臺上的 支架和多個設置在該支架上且用于夾持晶粒的夾持單元。在上述的簡易拋光機臺中，該夾持單元具有一有紋中空螺栓、 一從其尾部 穿設在該有紋中空螺栓中的頂推螺栓、 一連接在頂推螺栓的螺頭上且用于夾持 晶粒的夾持件、 一套設在該有紋中空螺栓上且在有紋中空螺栓和頂推螺栓兩者間提供彈力的彈性件、 一垂直設置在頂推螺栓穿出該有紋中空螺栓的螺柱上且 通過彈性件的彈力將頂推螺栓壓固在該有紋中空螺栓上的銷固件、 一豎直連接 在頂推螺栓尾部用于供使用者提拉頂推螺栓的提拉件，該有紋中空螺栓上依次 旋合有一固定螺母和一彈性調節螺母，該固定螺母配合有紋中空螺栓的螺頭將 該有紋中空螺栓固定在支架上，該彈性調節螺母配合頂推螺栓的螺頭固定彈性 件且用于調節彈性件長度以調節夾持件上的彈力，該有紋中空螺栓在距螺頭一 預設長度上垂直開設有一銷孔或螺紋，該銷固件設置在該銷孔或螺紋中。在上述的簡易拋光機臺中，該預設長度大于該有紋中空螺栓的長度且小于 有紋中空螺栓與彈性件的長度和。在上述的簡易拋光機臺中，該有紋中空螺栓的螺頭上對應該銷固件開設有 至少一容置凹槽。在上述的簡易拋光機臺中，該夾持件為垂直夾持件、水平夾持件或斜面夾 持件，其中，該垂直夾持件用于夾持晶粒以使其與拋光臺垂直，該水平夾持件 用于夾持晶粒以使其與拋光臺平行，該斜面夾持件用于夾持晶粒以使其與拋光 臺成一4兌角。在上述的簡易拋光機臺中，該支架包括分別固定在基座兩側壁上且平行等 高的兩立板以及跨設在兩立板間用于設置夾持單元的水平支架。在上述的簡易拋光機臺中，該水平支架具有跨設在兩立板間的中心橫梁以 及對稱設置在該中心橫梁中部的多個懸臂。在上述的筒易拋光機臺中，該多個懸臂對稱卡固在該中心橫梁的中部且在 外力作用下可沿其中心軸線轉動。在上述的簡易拋光機臺中，該中心橫梁、多個懸臂上均具有導軌，該夾持 單元經由導軌固定在水平支架上且可沿該導軌移動。在上述的簡易拋光機臺中，該導軌為通槽。與現有技術中拋光臺上并未設置夾持晶粒的夾持模塊，而采用人工方式夾 持晶粒進行拋光，存在著拋光質量不高和浪費人力的問題相比，本技術的 拋光機臺還具有設置在基座上且用于夾持晶粒以在拋光臺上拋光的夾持模塊， 如此即可通過該夾持模塊夾持晶粒進行拋光，因而可確保晶粒拋光的拋光質量 且可提高拋光效率，并可大大節省人力。附圖說明本技術的簡易拋光機臺由以下的實施例及附圖給出。圖1為現有技術的簡易拋光機臺的主視圖2為本技術的簡易拋光機臺較佳實施例的主視圖3為圖2中的水平支架的組成結構示意圖4為圖2中的水平支架的懸臂轉動示意圖5為本專利技術另一實施例的水平支架的組成結構示意圖6為圖2中的夾持單元的分解結構示意圖7為圖2中的夾持單元的組裝結構示意圖。具體實施方式以下將對本技術的簡易拋光機臺作進一步的詳細描述。 參見圖2，本技術的簡易拋光機臺的較佳實施例具有基座1、拋光臺2 和夾持模塊3，拋光臺2設置在基座1上用于拋光晶粒，夾持模塊3設置在基座 1上且用于夾持晶粒以在拋光臺2上進行拋光。所迷夾持模塊3具有架設在拋光 臺2上的支架30和多個設置在所述支架30上且用于夾持晶粒的夾持單元M。參見圖2至圖4，所述支架30包括分別固定在基座1兩側壁上且平行等高 的兩立板300以及跨設在兩立板300間用于設置夾持單元31的水平支架301。 所述水平支架301具有跨設在兩立板300間的中心橫梁301a以及對稱設置在所 述中心橫梁301a中部的多個懸臂301b。在本實施例中，以中心橫梁301a上設 置有兩懸臂301b為例進行說明，在本專利技術其他實施例中，所述中心橫梁301a 上可設置更多的懸臂301b,如圖5所示，在本專利技術的另一實施例中，所述中心 橫梁301a上設置有六個懸臂301b,如此可以同時進行六塊晶粒的拋光，大大提 高了拋光效率。所述兩懸臂301b卡固在所述中心橫梁301a兩側且在外力作用下可沿其中 心軸線(如圖3和圖4所示的線L )轉動，如此可便于通過旋轉懸臂301b來觀 察晶粒的拋光狀況。所述中心橫梁30la、兩懸臂301b上均具有導軌301c，所 述夾持單元31經由導軌301c固定在水平支架301上且可沿導軌301c移動。在本實施例中，所述導軌301c為通槽。需說明的是，在本專利技術其他實施例中，也可將加液裝置設置在水平支架301 的中部以方便在拋光過程中添加拋光液。參見圖6和圖7,夾持單元31包括有紋中空螺栓310、頂推螺栓311、夾持 件312、彈性件313、銷固件314、提拉件315、固定螺母316和彈性調節螺母 317。以下對夾持單元31的各組成構件進行詳細說明。所述有紋中空螺栓310具有螺頭310a、螺柱310b、設置在軸心的軸心通孔 310c以及設置在螺頭310a上的容置凹槽310d;所述頂推螺栓311具有螺頭311a、 螺柱311b以及開設在距螺頭311a —預設長度上的銷孔311c (也可為螺紋)， 所述預設長度大于所述有紋中空螺栓310的長度且小于有紋中空螺栓310與彈 性件313的長度和；所述頂推螺栓311從有紋中空螺栓310的尾部穿設在所述 有紋中空螺栓310中；所述夾持件312連接在頂推螺栓311的螺頭311a上且用 于夾持晶粒；所述彈性件313套設在所述有紋中空螺栓310上且在有紋中空螺 栓310和頂推螺栓311兩者間提供彈力；銷固件314設置在銷孔311c中且通過 彈性件313的彈力將頂推螺栓311壓固在所述有紋中空螺栓310上；提拉件315 豎直連接在頂推螺栓311的尾部且用于供使用者提拉頂推螺栓311;所述固定螺 母316和所述彈性調節螺母317依次旋合在所述有紋中空螺栓310上，所述固 定螺母316配合螺頭310a將有紋中空螺栓310固定在水平支架301上，所述彈 性調節螺母317配合螺頭311a固定彈性件313且用于調節彈性件313的長度以 調節螺頭311a上的彈力。上迷的夾持件312可為垂直夾持件、水平夾持件或斜面夾持件等，所述垂 直夾持件用于夾持晶粒本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種簡易拋光機臺，其具有基座和設置在基座上用于拋光晶粒的拋光臺，其特征在于，該簡易拋光機臺還具有設置在基座上且用于夾持晶粒以在拋光臺上拋光的夾持模塊，該夾持模塊具有一架設在拋光臺上的支架和多個設置在該支架上且用于夾持晶粒的夾持單元。

【技術特征摘要】
1、一種簡易拋光機臺，其具有基座和設置在基座上用于拋光晶粒的拋光臺，其特征在于，該簡易拋光機臺還具有設置在基座上且用于夾持晶粒以在拋光臺上拋光的夾持模塊，該夾持模塊具有一架設在拋光臺上的支架和多個設置在該支架上且用于夾持晶粒的夾持單元。2、 如權利要求1所述的簡易拋光機臺，其特征在于，該夾持單元具有一有紋中空螺栓、 一從其尾部穿設在該有紋中空螺栓中的頂推螺栓、 一連接在頂推 螺栓的螺頭上且用于夾持晶粒的夾持件、 一套設在該有紋中空螺栓上且在有紋 中空螺栓和頂推螺栓兩者間提供彈力的彈性件、 一垂直設置在頂推螺栓穿出該 有紋中空螺栓的螺柱上且通過彈性件的彈力將頂推螺栓壓固在該有紋中空螺栓 上的銷固件、 一豎直連接在頂推螺栓尾部用于供使用者提拉頂推螺栓的提拉件， 該有紋中空螺栓上依次旋合有一固定螺母和一彈性調節螺母，該固定螺母配合 有紋中空螺栓的螺頭將該有紋中空螺栓固定在支架上，該彈性調節螺母配合頂 推螺栓的螺頭固定彈性件且用于調節彈性件長度以調節夾持件上的彈力，該有 紋中空螺栓在距螺頭一預設長度上垂直開設有一銷孔或螺紋，該銷固件設置在 該銷孔或螺紋中。3、 如權利要求2所述的簡易拋光機臺，其特征在于，該預設長度...

【專利技術屬性】
技術研發人員：龔偉平，李仲劼，郭軍偉，許松，
申請(專利權)人：中芯國際集成電路制造上海有限公司，
類型：實用新型
國別省市：31[中國|上海]