溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本實用新型提供了一種簡易拋光機臺，其具有基座和設置在基座上用于拋光晶粒的拋光臺。現有技術中拋光臺上并未設置夾持晶粒的夾持模塊，而采用人工方式夾持晶粒進行拋光，存在著拋光質量不高和浪費人力的問題。本實用新型的簡易拋光機臺還具有設置在基座上且用...該專利屬于中芯國際集成電路制造(上海)有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過中芯國際集成電路制造(上海)有限公司授權不得商用。
溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本實用新型提供了一種簡易拋光機臺，其具有基座和設置在基座上用于拋光晶粒的拋光臺。現有技術中拋光臺上并未設置夾持晶粒的夾持模塊，而采用人工方式夾持晶粒進行拋光，存在著拋光質量不高和浪費人力的問題。本實用新型的簡易拋光機臺還具有設置在基座上且用...