本發明專利技術公開了一種通過化學反應方式處理石英表面粗糙的方法,包括以下步驟:S1:將需要進行粗糙處理的石英部件表面進行打磨,將粗糙面打磨之后進行拋光;S2:在對拋光后的石英部件表面進行清洗,清洗后采用鼓風的烘干設備對于石英部件表面進行鼓風烘干。再將烘干了之后的石英部件浸潤在步驟S4中的最終溶液之中,最后進行加熱,并使溫度加熱至80攝氏度至90攝氏度之間,并維持溫度進行浸泡,之后再將石英部件表面的附著物進行充分地清洗,并在清洗結束之后再通過等離子水進行沖洗一遍,從而達到了通過化學反應方式進行處理石英表面粗糙度的效果,實現了滿足更高程度的應用需求的效果。實現了滿足更高程度的應用需求的效果。
【技術實現步驟摘要】
一種通過化學反應方式處理石英表面粗糙的方法
[0001]本專利技術涉及石英加工
,尤其涉及一種通過化學反應方式處理石英表面粗糙的方法。
技術介紹
[0002]石英,地質學專業術語,一般指低溫石英(α
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石英),是石英族礦物中分布最廣的一個礦物,廣義的石英還包括高溫石英(β
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石英)、柯石英等。主要成分是SiO2,無色透明,常含有少量雜質成分,而變為半透明或不透明的晶體,質地堅硬。石英是一種物理性質和化學性質均十分穩定的礦產資源,晶體屬三方晶系的氧化物礦物,石英塊又名硅石,主要是生產石英砂(又稱硅砂)的原料,也是石英耐火材料和燒制硅鐵的原料,由二氧化硅組成的礦物,化學式SiO2。純凈的石英無色透明,因含微量色素離子或細分散包裹體,或存在色心而呈各種顏色,并使透明度降低;玻璃光澤,斷口呈油脂光澤。硬度7;無解理;貝殼狀斷口。比重2.65。具壓電性。無色、透明的石英,希臘人稱為"Krystallos",意思是"潔白的冰",他們確信石英是耐久而堅固的冰。中國古代人認為嘴里含上冷的水晶能夠止渴。
[0003]目前在對石英進行加工過程中,對于石英表面的粗糙處理基本是通過打磨和拋光的方式進行,但是這種方式處理的光滑程度有限,難以滿足更高的應用需求。
技術實現思路
[0004]本專利技術的目的是為了解決現有技術中存在的缺點,而提出的一種通過化學反應方式處理石英表面粗糙的方法。
[0005]一種通過化學反應方式處理石英表面粗糙的方法,包括以下步驟:
[0006]S1:將需要進行粗糙處理的石英部件表面進行打磨,將粗糙面打磨之后進行拋光;
[0007]S2:在對拋光后的石英部件表面進行清洗,清洗后采用鼓風的烘干設備對于石英部件表面進行鼓風烘干;
[0008]S3:配置對于石英表面粗糙進行處理耳朵化學反應溶液,采用濃度為36.5%
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42.5%的氫氟酸氣體水溶液和濃度為85%以上的氟化銨混合制成,其中氫氟酸氣體水溶液和氟化銨的質量比為1:1.85,得出預備溶液;
[0009]S4:再對質量比為質量比為1:1.85的氫氟酸氣體水溶液和氟化銨進行混合,使得氟化銨溶解在氫氟酸氣體水溶液之中,再將該溶液與純乙酸配溶液進行混合,得出最終溶液;
[0010]S5:再將烘干了之后的石英部件浸潤在步驟S4中的最終溶液之中;
[0011]S6:對于步驟S5中浸潤入石英部件的最終溶液進行加熱,并使溫度加熱至80攝氏度至90攝氏度之間,并維持溫度進行浸泡。
[0012]S7:對于加熱并進行浸泡后的石英部件取出,對石英部件的表面進行充分清洗,將石英部件表面的附著物進行充分地清洗,并在清洗結束之后再通過等離子水進行沖洗一遍,再進行烘干。
[0013]優選的;步驟S4中參與混合的純乙酸配溶液的濃度為98%.5以上。
[0014]優選的;步驟S5中對于石英部件浸潤在步驟S4中的最終溶液之中浸潤的時間為四十五分鐘到五十五分鐘。
[0015]優選的;步驟S6中對于浸潤入石英部件的最終溶液加熱后維持的時間為25分鐘至35分鐘。
[0016]優選的;步驟S6中對于浸潤入石英部件的最終溶液加熱后維持的時間為15分鐘至20分鐘。
[0017]本專利技術提出的一種通過化學反應方式處理石英表面粗糙的方法,通過配置濃度為36.5%
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42.5%的氫氟酸氣體水溶液和濃度為85%以上的氟化銨混合,再對質量比為質量比為1:1.85的氫氟酸氣體水溶液和氟化銨進行混合,使得氟化銨溶解在氫氟酸氣體水溶液之中,再將該溶液與純乙酸配溶液進行混合,再將烘干了之后的石英部件浸潤在步驟S4中的最終溶液之中,最后進行加熱,并使溫度加熱至80攝氏度至90攝氏度之間,并維持溫度進行浸泡,之后再將石英部件表面的附著物進行充分地清洗,并在清洗結束之后再通過等離子水進行沖洗一遍,從而達到了通過化學反應方式進行處理石英表面粗糙度的效果,實現了滿足更高程度的應用需求的效果。
具體實施方式
[0018]下面結合具體實施例對本專利技術作進一步解說。
[0019]實施例1:本專利技術提出的一種通過化學反應方式處理石英表面粗糙的方法,包括以下步驟:
[0020]S1:將需要進行粗糙處理的石英部件表面進行打磨,將粗糙面打磨之后進行拋光;
[0021]S2:在對拋光后的石英部件表面進行清洗,清洗后采用鼓風的烘干設備對于石英部件表面進行鼓風烘干;
[0022]S3:配置對于石英表面粗糙進行處理耳朵化學反應溶液,采用濃度為36.5%
?
42.5%的氫氟酸氣體水溶液和濃度為85%以上的氟化銨混合制成,其中氫氟酸氣體水溶液和氟化銨的質量比為1:1.85,得出預備溶液;
[0023]S4:再對質量比為質量比為1:1.85的氫氟酸氣體水溶液和氟化銨進行混合,使得氟化銨溶解在氫氟酸氣體水溶液之中,再將該溶液與純乙酸配溶液進行混合,得出最終溶液;
[0024]S5:再將烘干了之后的石英部件浸潤在步驟S4中的最終溶液之中;
[0025]S6:對于步驟S5中浸潤入石英部件的最終溶液進行加熱,并使溫度加熱至80攝氏度至90攝氏度之間,并維持溫度進行浸泡。
[0026]S7:對于加熱并進行浸泡后的石英部件取出,對石英部件的表面進行充分清洗,將石英部件表面的附著物進行充分地清洗,并在清洗結束之后再通過等離子水進行沖洗一遍,再進行烘干。
[0027]其中,步驟S4中參與混合的純乙酸配溶液的濃度為98%.5以上。
[0028]其中,步驟S5中對于石英部件浸潤在步驟S4中的最終溶液之中浸潤的時間為四十五分鐘到五十五分鐘。
[0029]其中,步驟S6中對于浸潤入石英部件的最終溶液加熱后維持的時間為25分鐘至35
分鐘。
[0030]實施例2:本專利技術提出的一種通過化學反應方式處理石英表面粗糙的方法,包括以下步驟:
[0031]S1:將需要進行粗糙處理的石英部件表面進行打磨,將粗糙面打磨之后進行拋光;
[0032]S2:在對拋光后的石英部件表面進行清洗,清洗后采用鼓風的烘干設備對于石英部件表面進行鼓風烘干;
[0033]S3:配置對于石英表面粗糙進行處理耳朵化學反應溶液,采用濃度為36.5%
?
42.5%的氫氟酸氣體水溶液和濃度為85%以上的氟化銨混合制成,其中氫氟酸氣體水溶液和氟化銨的質量比為1:1.85,得出預備溶液;
[0034]S4:再對質量比為質量比為1:1.85的氫氟酸氣體水溶液和氟化銨進行混合,使得氟化銨溶解在氫氟酸氣體水溶液之中,再將該溶液與純乙酸配溶液進行混合,得出最終溶液;
[0035]S5:再將烘干了之后的石英部件浸潤在步驟S4中的最終溶液之中;
[0036]S6:對于步驟S5中浸潤入石英部件的最終溶液進行加熱,并使溫度加熱至80攝氏度至90攝氏度之間,并維持溫度進行浸泡。
[0037]S7:本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種通過化學反應方式處理石英表面粗糙的方法,其特征在于,包括以下步驟:S1:將需要進行粗糙處理的石英部件表面進行打磨,將粗糙面打磨之后進行拋光;S2:在對拋光后的石英部件表面進行清洗,清洗后采用鼓風的烘干設備對于石英部件表面進行鼓風烘干;S3:配置對于石英表面粗糙進行處理耳朵化學反應溶液,采用濃度為36.5%
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42.5%的氫氟酸氣體水溶液和濃度為85%以上的氟化銨混合制成,其中氫氟酸氣體水溶液和氟化銨的質量比為1:1.85,得出預備溶液;S4:再對質量比為質量比為1:1.85的氫氟酸氣體水溶液和氟化銨進行混合,使得氟化銨溶解在氫氟酸氣體水溶液之中,再將該溶液與純乙酸配溶液進行混合,得出最終溶液;S5:再將烘干了之后的石英部件浸潤在步驟S4中的最終溶液之中;S6:對于步驟S5中浸潤入石英部件的最終溶液進行加熱,并使溫度加熱至80攝氏度至90攝氏度之間,并維持溫度進...
【專利技術屬性】
技術研發人員:高君,
申請(專利權)人:沈陽漢科半導體材料有限公司,
類型:發明
國別省市:
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