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本發明公開了一種通過化學反應方式處理石英表面粗糙的方法，包括以下步驟：S1：將需要進行粗糙處理的石英部件表面進行打磨，將粗糙面打磨之后進行拋光；S2：在對拋光后的石英部件表面進行清洗，清洗后采用鼓風的烘干設備對于石英部件表面進行鼓風烘干。再...該專利屬于沈陽漢科半導體材料有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過沈陽漢科半導體材料有限公司授權不得商用。
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本發明公開了一種通過化學反應方式處理石英表面粗糙的方法，包括以下步驟：S1：將需要進行粗糙處理的石英部件表面進行打磨，將粗糙面打磨之后進行拋光；S2：在對拋光后的石英部件表面進行清洗，清洗后采用鼓風的烘干設備對于石英部件表面進行鼓風烘干。再...