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    一種用于半導體測試設備的測試頭快換對接機構制造技術

    技術編號:37888957 閱讀:20 留言:0更新日期:2023-06-18 11:53
    本實用新型專利技術公開了一種用于半導體測試設備的測試頭快換對接機構,涉及半導體芯片搬運測試技術領域。一種用于半導體測試設備的測試頭快換對接機構,包括吸頭光源上蓋和定位座下蓋,吸頭光源上蓋與定位座下蓋為上下設置,吸頭光源上蓋上方設有固定板、導軌、連接板、氣缸、旋轉平臺。通過在吸頭光源上蓋上增加了旋轉平臺,使得吸頭光源上蓋可以自動調節,從而降低了吸頭光源上蓋的安裝位置要求,并降低了調節難度和部件的加工精度,減少了導向機構的磨損。本實用新型專利技術通過一系列的結構使得本裝置具有便于上下對正和使用效果好等特點。具有便于上下對正和使用效果好等特點。具有便于上下對正和使用效果好等特點。

    【技術實現步驟摘要】
    一種用于半導體測試設備的測試頭快換對接機構


    [0001]本技術涉及半導體芯片搬運測試
    ,具體為一種用于半導體測試設備的測試頭快換對接機構。

    技術介紹

    [0002]半導體芯片是指在半導體片材上進行浸蝕,布線,制成的能實現某種功能的半導體器件,隨著科技技術的發展,半導體芯片已經廣泛應用到各類電子產品內,在半導體芯片大批量的完成后,需要對芯片的質量進行測試來篩選合格的芯片,因此需要用到半導體測試設備,現有芯片搬運測試機構主要包含兩部分,一部分為定位座下蓋機構,另外一部分為吸頭光源上蓋機構,但現有的設備上的吸頭光源上蓋機構安裝方式為螺絲鎖緊固定,為死定位,沒有浮動和調整,使得位置調節難度較大,導向機構磨損較快而且,現有的設備的吸頭光源上蓋機構沒有快換功能和對中功能,導致設備兼容性差、安裝定位難度大,不僅降低了設備的利用率,還使得對加工件精度的要求較高,增大了投入成本。

    技術實現思路

    [0003]本技術解決的技術問題在于克服現有技術的不便于上下對正、使用效果差等缺陷,提供一種用于半導體測試設備的測試頭快換對接機構。所述一種用于半導體測試設備的測試頭快換對接機構具有便于上下對正、使用效果好等特點。
    [0004]為實現上述目的,本技術提供如下技術方案:一種用于半導體測試設備的測試頭快換對接機構,包括吸頭光源上蓋和定位座下蓋,所述吸頭光源上蓋與定位座下蓋為上下設置,所述吸頭光源上蓋上方設有固定板、導軌、連接板、氣缸、旋轉平臺;
    [0005]所述吸頭光源上蓋底部開設有若干個第一凹槽,所述定位座下蓋頂部開設有若干個與第一凹槽相匹配的第二凹槽,若干個所述第一凹槽內腔均設有吸取頭和照明燈,所述吸取頭位于第一凹槽中間處;
    [0006]所述固定板固定連接在吸頭光源上蓋頂部,所述固定板上開設有第一開槽,所述第一開槽左側為封閉設置,且右側為開口設置,所述固定板前后兩側靠近底部處均開設有第二開槽;
    [0007]所述導軌設有兩個,兩個所述導軌分別位于固定板前后兩側,且兩個所述導軌高級固定板的一側均開設有卡槽,兩個所述導軌均與固定板卡接;
    [0008]所述連接板位于導軌頂部,所述連接板底部固定連接有;
    [0009]所述連接板頂部靠近左右兩側處均安裝有氣缸,所述連接板上位于氣缸下方處開設有開孔,所述氣缸底端貫穿相鄰的開孔,并延伸至第一開槽內腔,且固定連接有卡塊;
    [0010]所述連接板頂部安裝有旋轉平臺,所述旋轉平臺頂部安裝有安裝板。
    [0011]優選的,所述吸頭光源上蓋底部靠近左右兩側處均固定連接有導向桿,所述定位座下蓋頂部開設有與導向桿相匹配的導向孔。
    [0012]優選的,兩個所述氣缸相互靠近的一側均設有兩個插拔銷,兩個所述插拔銷為前
    后設置,所述連接板上開設有與插拔銷相匹配的穿孔,所述固定板上開設有與插拔銷相匹配的插孔,四個所述插拔銷底端分別貫穿相鄰的穿孔,并插接在插拔銷內腔。
    [0013]優選的,所述第一開槽的橫截面為倒“V”形,且所述卡塊的橫截面也為倒“V”形。
    [0014]優選的,所述導向桿底端為錐型設置。
    [0015]與現有技術相比,本技術的有益效果是:
    [0016]1、通過在吸頭光源上蓋上增加了旋轉平臺,使得吸頭光源上蓋可以自動調節,從而降低了吸頭光源上蓋的安裝位置要求,并降低了調節難度和部件的加工精度,減少了導向機構的磨損;
    [0017]2、通過氣缸、卡塊、導軌、固定板之間的配合使得吸頭光源上蓋具有快換功能,并通過“V”形的卡槽和卡塊,使得吸頭光源上蓋具有快速對中功能,不僅使同一機臺能滿足不能尺寸芯片的需求,增加了機臺的兼容性,還降低了不僅的加工精度,降低了導降低了設備的成本。
    附圖說明
    [0018]圖1為本技術立體圖;
    [0019]圖2為本技術結構示意圖;
    [0020]圖3為本技術吸頭光源上蓋仰視圖。
    [0021]圖中標號:1、安裝板;2、旋轉平臺;3、插拔銷;4、氣缸;5、連接板;6、卡塊;7、固定板;8、導軌;9、吸頭光源上蓋;10、導向桿;11、定位座下蓋;12、吸取頭;13、照明燈。
    具體實施方式
    [0022]下面將結合本技術實施例中的附圖,對本技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本技術一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本技術中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本技術保護的范圍。
    [0023]請參閱圖1
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    3,本技術提供一種技術方案:一種用于半導體測試設備的測試頭快換對接機構,包括吸頭光源上蓋9和定位座下蓋11,吸頭光源上蓋9與定位座下蓋11為上下設置,吸頭光源上蓋9上方設有固定板7、導軌8、連接板5、氣缸4、旋轉平臺2;
    [0024]吸頭光源上蓋9底部靠近左右兩側處均固定連接有導向桿10,定位座下蓋11頂部開設有與導向桿10相匹配的導向孔,便于吸頭光源上蓋9與定位座下蓋11之間的對接,導向桿10底端為錐型設置,使導向桿10更容易插接在導向孔內;
    [0025]吸頭光源上蓋9底部開設有若干個第一凹槽,定位座下蓋11頂部開設有若干個與第一凹槽相匹配的第二凹槽,若干個第一凹槽內腔均設有吸取頭12和照明燈13,吸取頭12位于第一凹槽中間處;
    [0026]固定板7固定連接在吸頭光源上蓋9頂部,固定板7上開設有第一開槽,第一開槽左側為封閉設置,且右側為開口設置,固定板7前后兩側靠近底部處均開設有第二開槽;
    [0027]導軌8設有兩個,兩個導軌8分別位于固定板7前后兩側,且兩個導軌8高級固定板7的一側均開設有卡槽,兩個導軌8均與固定板7卡接;
    [0028]連接板5位于導軌8頂部,連接板5底部固定連接有;
    [0029]連接板5頂部靠近左右兩側處均安裝有氣缸4,連接板5上位于氣缸4下方處開設有開孔,氣缸4底端貫穿相鄰的開孔,并延伸至第一開槽內腔,且固定連接有卡塊6,第一開槽的橫截面為倒“V”形,且卡塊6的橫截面也為倒“V”形,使吸頭光源上蓋9自動對中;
    [0030]兩個氣缸4相互靠近的一側均設有兩個插拔銷3,兩個插拔銷3為前后設置,連接板5上開設有與插拔銷3相匹配的穿孔,固定板7上開設有與插拔銷3相匹配的插孔,四個插拔銷3底端分別貫穿相鄰的穿孔,并插接在插拔銷3內腔,便于對吸頭光源上蓋9的安裝和拆卸;
    [0031]連接板5頂部安裝有旋轉平臺2,旋轉平臺2頂部安裝有安裝板1。
    [0032]工作原理:使用時,通過安裝板1將吸頭光源上蓋9與設備安裝對接,根據整個部件的角度,通過旋轉平臺2對吸頭光源上蓋9的位置和方向進行微調,使其在工作之前方向對正,在進行測試時,設備帶動吸頭光源上蓋9下移,使吸頭光源上蓋9與定位座下蓋11對接,同時旋轉平臺2在導向桿10和導向孔的左右下進行導向調節,使吸頭光源上蓋9與定位座下蓋11之間精準對齊,在根據不同的尺寸要求對吸頭本文檔來自技高網
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    【技術保護點】

    【技術特征摘要】
    1.一種用于半導體測試設備的測試頭快換對接機構,包括吸頭光源上蓋(9)和定位座下蓋(11),其特征在于:所述吸頭光源上蓋(9)與定位座下蓋(11)為上下設置,所述吸頭光源上蓋(9)上方設有固定板(7)、導軌(8)、連接板(5)、氣缸(4)、旋轉平臺(2);所述吸頭光源上蓋(9)底部開設有若干個第一凹槽,所述定位座下蓋(11)頂部開設有若干個與第一凹槽相匹配的第二凹槽,若干個所述第一凹槽內腔均設有吸取頭(12)和照明燈(13),所述吸取頭(12)位于第一凹槽中間處;所述固定板(7)固定連接在吸頭光源上蓋(9)頂部,所述固定板(7)上開設有第一開槽,所述第一開槽左側為封閉設置,且右側為開口設置,所述固定板(7)前后兩側靠近底部處均開設有第二開槽;所述導軌(8)設有兩個,兩個所述導軌(8)分別位于固定板(7)前后兩側,且兩個所述導軌(8)高級固定板(7)的一側均開設有卡槽,兩個所述導軌(8)均與固定板(7)卡接;所述連接板(5)位于導軌(8)頂部,所述連接板(5)底部固定連接有;所述連接板(5)頂部靠近左右兩側處均安裝有氣缸(4),所述連接板(5)上位于氣缸(4)下方處開設有開孔,所述...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:韓祿豐王煥龍鄧天橋畢愛榮周少峰
    申請(專利權)人:上海梓一測控技術有限公司
    類型:新型
    國別省市:

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