【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及對(duì)含有氫氟酸或氟化銨的蝕刻液的耐性優(yōu)異的感光性樹(shù)脂組合物、和利用該感光性樹(shù)脂組合物的蝕刻方法。
技術(shù)介紹
1、對(duì)玻璃基材、硅基板、鈦基板等基材進(jìn)行蝕刻時(shí)，有時(shí)使用含有氫氟酸或氟化銨的蝕刻液。例如，作為在玻璃基材上形成圖案的方法，在玻璃基材上形成感光性樹(shù)脂組合物，接著隔著期望圖案的光掩模實(shí)施曝光，使感光性樹(shù)脂組合物固化。接著，通過(guò)顯影除去非曝光部(非固化部)，在玻璃基材上形成由感光性樹(shù)脂組合物形成的抗蝕劑圖案。接著，對(duì)露出的玻璃基材部吹附含有氫氟酸或氟化銨的蝕刻液從而將玻璃溶解，可以形成圖案。
2、作為在這樣的利用含有氫氟酸或氟化銨的蝕刻液進(jìn)行的蝕刻處理中使用的感光性樹(shù)脂組合物，一直以來(lái)使用負(fù)型的感光性樹(shù)脂組合物。例如，作為難以從玻璃基材剝離的光固化性抗蝕劑材料，公開(kāi)了含有在側(cè)鏈上具有烯屬不飽和雙鍵的丙烯酸樹(shù)脂、聚硅烷和光敏劑的抗蝕劑材料(例如參照專利文獻(xiàn)1)。此外，作為與玻璃基材的密合性優(yōu)異的感光性樹(shù)脂組合物，公開(kāi)了含有特定的含羧基的粘合劑樹(shù)脂、光聚合性單體和引發(fā)劑、以及特定的有機(jī)硅烷化合物的感光性樹(shù)脂組合物(例如參照專利文獻(xiàn)2)。此外，作為玻璃蝕刻用的紫外線固化型抗蝕劑組合物，公開(kāi)了含有不飽和化合物、含酸基的樹(shù)脂、光引發(fā)劑、烷氧基硅烷化合物、無(wú)機(jī)微粉末的抗蝕劑組合物(例如參照專利文獻(xiàn)3)。然而，僅這些成分的情況下，對(duì)含有氫氟酸或氟化銨的蝕刻液的耐久性不充分，浸漬于含有氫氟酸或氟化銨的蝕刻液中時(shí)，存在抗蝕劑圖案從玻璃基材上剝離的問(wèn)題。
3、此外，公開(kāi)了含有堿可溶性樹(shù)脂、具有烯屬不飽和基團(tuán)的光
4、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
5、專利文獻(xiàn)
6、專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2005-164877號(hào)公報(bào)
7、專利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)2007-316247號(hào)公報(bào)
8、專利文獻(xiàn)3：日本特開(kāi)2007-128052號(hào)公報(bào)
9、專利文獻(xiàn)4：日本特開(kāi)2013-117682號(hào)公報(bào)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、專利技術(shù)要解決的課題
2、本專利技術(shù)的課題在于，提供對(duì)含有高濃度的氫氟酸或氟化銨的蝕刻液的耐性優(yōu)異的感光性樹(shù)脂組合物、和利用該感光性樹(shù)脂組合物的蝕刻方法。
3、用于解決課題的手段
4、上述課題可以通過(guò)下述手段來(lái)解決。
5、(1)感光性樹(shù)脂組合物，其是在通過(guò)含有氫氟酸或氟化銨的蝕刻液進(jìn)行蝕刻處理的蝕刻方法中使用的感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，至少包含(a)酸改性環(huán)氧丙烯酸酯、(b)光聚合引發(fā)劑、(c)封端異氰酸酯化合物和(d)填料。
6、(2)根據(jù)上述(1)所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中，(a)酸改性環(huán)氧丙烯酸酯為至少使環(huán)氧樹(shù)脂(a1)、選自丙烯酸和甲基丙烯酸中的至少1種化合物(a2)、與選自含羧酸化合物和含羧酸化合物的酸酐中的至少1種化合物(a3)反應(yīng)而成的化合物，環(huán)氧樹(shù)脂(a1)為雙酚a型環(huán)氧樹(shù)脂。
7、(3)根據(jù)上述(1)或(2)所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中，(a)酸改性環(huán)氧丙烯酸酯為至少使環(huán)氧樹(shù)脂(a1)、選自丙烯酸和甲基丙烯酸中的至少1種化合物(a2)、與選自含羧酸化合物和含羧酸化合物的酸酐中的至少1種化合物(a3)反應(yīng)而成的化合物，化合物(a3)為選自琥珀酸和琥珀酸酐中的至少1種。
8、(4)根據(jù)上述(1)～(3)中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中，(c)封端異氰酸酯化合物為通過(guò)甲乙酮肟封端的1,6-六亞甲基二異氰酸酯。
9、(5)根據(jù)上述(1)～(4)中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中，(d)填料為滑石。
10、(6)蝕刻方法，其特征在于，在基材的至少單面形成含有上述(1)～(5)中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物的感光性樹(shù)脂層，對(duì)感光性樹(shù)脂層進(jìn)行曝光后顯影，加熱感光性樹(shù)脂層后，通過(guò)含有氫氟酸或氟化銨的蝕刻液進(jìn)行蝕刻處理。
11、專利技術(shù)的效果
12、本專利技術(shù)的感光性樹(shù)脂組合物由于含有(a)酸改性環(huán)氧丙烯酸酯(以下有時(shí)表示為“成分(a)”)和(b)光聚合引發(fā)劑(以下有時(shí)表示為“成分(b)”)，因此通過(guò)曝光而以圖案狀形成固化膜。通過(guò)在實(shí)施堿顯影并形成抗蝕劑圖案之后進(jìn)行加熱處理，通過(guò)由(c)封端異氰酸酯化合物(以下有時(shí)表示為“成分(c)”)中的封端異氰酸酯基產(chǎn)生的異氰酸酯基與成分(a)中的羧基和羥基的熱交聯(lián)而形成強(qiáng)固的結(jié)合，對(duì)含有氫氟酸或氟化銨的蝕刻液的耐性大幅提高。(d)填料(以下有時(shí)表示為“成分(d)”)使膜強(qiáng)固，抑制含有氫氟酸或氟化銨的蝕刻液的浸透。
13、并且，本專利技術(shù)的感光性樹(shù)脂組合物通過(guò)含有成分(a)～(d)，對(duì)含有氫氟酸或氟化銨的蝕刻液的耐性優(yōu)異，即使在通過(guò)氫氟酸或氟化銨的濃度為15質(zhì)量％以上那樣的高濃度的蝕刻液進(jìn)行蝕刻時(shí)，也能夠?qū)崿F(xiàn)難以從基材上剝離的效果。
本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.蝕刻方法，其特征在于，在基材的至少單面上形成含有感光性樹(shù)脂組合物的感光性樹(shù)脂層，對(duì)感光性樹(shù)脂層進(jìn)行曝光后顯影，加熱感光性樹(shù)脂層后，通過(guò)含有氫氟酸或氟化銨的蝕刻液進(jìn)行蝕刻處理，
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻方法，其中，(C)封端異氰酸酯化合物為通過(guò)甲乙酮肟封端的1,6-六亞甲基二異氰酸酯。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的蝕刻方法，其中，(D)填料為滑石。
【技術(shù)特征摘要】
1.蝕刻方法，其特征在于，在基材的至少單面上形成含有感光性樹(shù)脂組合物的感光性樹(shù)脂層，對(duì)感光性樹(shù)脂層進(jìn)行曝光后顯影，加熱感光性樹(shù)脂層后，通過(guò)含有氫氟酸或氟化銨的蝕刻液進(jìn)行蝕刻處理，
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：入澤宗利，后閑寬彥，梶谷邦人，豐田裕二，中川邦弘，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：三菱制紙株式會(huì)社，
類(lèi)型：發(fā)明
國(guó)別省市：
還沒(méi)有人留言評(píng)論。發(fā)表了對(duì)其他瀏覽者有用的留言會(huì)獲得科技券。